JPS62200781A - レ−ザ装置 - Google Patents
レ−ザ装置Info
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- JPS62200781A JPS62200781A JP4190686A JP4190686A JPS62200781A JP S62200781 A JPS62200781 A JP S62200781A JP 4190686 A JP4190686 A JP 4190686A JP 4190686 A JP4190686 A JP 4190686A JP S62200781 A JPS62200781 A JP S62200781A
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- laser
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
- H01S3/2308—Amplifier arrangements, e.g. MOPA
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/0602—Crystal lasers or glass lasers
-
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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- H01S3/2383—Parallel arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は増幅装置を備えたＶ−ザ装置に関する。
（従来の技術）
この植のレーザ装置は従来では第３図に示すような固体
レーザの構成が知られている。すなわち、 Ｎｄ ；
ＹＡＧ等の結晶からなるレーザ物質（１）とこれを励起
する励起ランプ（２ａ）、 （２ｂ）とこれらレーザ物
質（１）および励起ランプ（２ａ）、 （２ｂ）を包囲
する楕円反射面をもつ集光反射鏡（３）とレーザ物’Ｊ
ｔ （１）の両端近傍に配置された全反射鏡（４）およ
び出力鏡（５）からなる光共振器とを主要素として構成
され、冷却水等尋こよる冷却手段（図示せず）を付加し
た固体レーザ発振器（６）と、レーザ物質（１）と同様
のレーザ物質（力とこれを励起する励起ランプ（８ａ）
、 （８ｂ）およびこれらを包囲した集光反射鏡（９）
とを主要素として構成され冷却水等による冷却手段（図
示せず）を付加した増幅器Ｑ樟とを有し、レーザ発振器
（６）と増幅器Ｑｌとを互いのレーザ物質（１）、（力
が同軸に位置するようにして配置した構成になっている
。
レーザの構成が知られている。すなわち、 Ｎｄ ；
ＹＡＧ等の結晶からなるレーザ物質（１）とこれを励起
する励起ランプ（２ａ）、 （２ｂ）とこれらレーザ物
質（１）および励起ランプ（２ａ）、 （２ｂ）を包囲
する楕円反射面をもつ集光反射鏡（３）とレーザ物’Ｊ
ｔ （１）の両端近傍に配置された全反射鏡（４）およ
び出力鏡（５）からなる光共振器とを主要素として構成
され、冷却水等尋こよる冷却手段（図示せず）を付加し
た固体レーザ発振器（６）と、レーザ物質（１）と同様
のレーザ物質（力とこれを励起する励起ランプ（８ａ）
、 （８ｂ）およびこれらを包囲した集光反射鏡（９）
とを主要素として構成され冷却水等による冷却手段（図
示せず）を付加した増幅器Ｑ樟とを有し、レーザ発振器
（６）と増幅器Ｑｌとを互いのレーザ物質（１）、（力
が同軸に位置するようにして配置した構成になっている
。
この構成において、レーザ発掘器（６）から出射したレ
ーザ光（１）はレーザ物質（力を通過する段階で出力が
増幅され出力の増加した増幅光（Ｌ）がレーザ物質（７
）から出射する。ところで′ａ数のｊｉｉ幅光が必要な
場合は上記の構成になる装置全体を必侠数用意しなけれ
ばならない。しかし、各増幅器毎１こ電気配線や冷却の
ための配管が必要となるため、システム全体が大形化、
複雑化してしまう問題があった。
ーザ光（１）はレーザ物質（力を通過する段階で出力が
増幅され出力の増加した増幅光（Ｌ）がレーザ物質（７
）から出射する。ところで′ａ数のｊｉｉ幅光が必要な
場合は上記の構成になる装置全体を必侠数用意しなけれ
ばならない。しかし、各増幅器毎１こ電気配線や冷却の
ための配管が必要となるため、システム全体が大形化、
複雑化してしまう問題があった。
（発明が解決しようとする問題点）
複数の増幅光を得ようとすれば複数の増幅器を必要する
従来の問題点を単体の増幅器の構成で解決し、装置全体
が簡略になるレーザ装置を提供しようとするものである
。
従来の問題点を単体の増幅器の構成で解決し、装置全体
が簡略になるレーザ装置を提供しようとするものである
。
（問題点を解決するための手段と作用）複数のレーザ光
の光路を形成する手段と、単体のスラブ形レーザ活性物
質を有しこのスラブ形レーザ物質に上記複数のレーザ光
を入光して増幅する増幅？ｃ匁とを備え複数のレーザ光
を単一の増幅装置で増幅するようにしたものである。
の光路を形成する手段と、単体のスラブ形レーザ活性物
質を有しこのスラブ形レーザ物質に上記複数のレーザ光
を入光して増幅する増幅？ｃ匁とを備え複数のレーザ光
を単一の増幅装置で増幅するようにしたものである。
（実施例）
以下、実施例を示す図面に基いて本発明を説明する。
第１図において、 （２０ａ）、（２０ｂ）、（２０
Ｃ）、（２０ｄ）はＮｄ ； ＹＡＧ等のレーザ活性物
質を有し、複数のレーザ光（Ｊ−８）、 （’−ｂ）、
（−’Ｃ）、 （Ｊ−ｄ）を出射する投光手段として
の固体レーザ発振器、 ＣＨＩ）は増幅装置で増幅用と
してＮｄ ；ＹＡＧ、 Ｎｄ ；ＧＧＧ（Ｇｄ、Ｇａ、
０□、）、 Ｎｄ ；ＧＳＧＧ（Ｇｄ、（Ｇａ、 ８ｃ
）ｔＧａ、０１りその他の結晶体からなるスラブ形レー
ザ活性物質器を備えている。このスラブ形し−ザ活性物
質四の両端面は（ハ）、（２導プリー−スタ角に形成さ
れた光学面となっていて、広面積になる上・下面（ハ）
、（至）は互いに平行な光学平面に形成されている。ま
た、スラブ形レーザ活性物質（ハ）は第２図に示すよう
に上記上・下面に近接し。
Ｃ）、（２０ｄ）はＮｄ ； ＹＡＧ等のレーザ活性物
質を有し、複数のレーザ光（Ｊ−８）、 （’−ｂ）、
（−’Ｃ）、 （Ｊ−ｄ）を出射する投光手段として
の固体レーザ発振器、 ＣＨＩ）は増幅装置で増幅用と
してＮｄ ；ＹＡＧ、 Ｎｄ ；ＧＧＧ（Ｇｄ、Ｇａ、
０□、）、 Ｎｄ ；ＧＳＧＧ（Ｇｄ、（Ｇａ、 ８ｃ
）ｔＧａ、０１りその他の結晶体からなるスラブ形レー
ザ活性物質器を備えている。このスラブ形し−ザ活性物
質四の両端面は（ハ）、（２導プリー−スタ角に形成さ
れた光学面となっていて、広面積になる上・下面（ハ）
、（至）は互いに平行な光学平面に形成されている。ま
た、スラブ形レーザ活性物質（ハ）は第２図に示すよう
に上記上・下面に近接し。
それぞれの面側で等間隔に配置された複数の励起ランプ
罰によって均等に励起される構成になっている。各レー
ザ光（Ｊａ）、 （１ｂ）、 （Ｊ−Ｃ）、 （−’ｄ
）はそれぞれ偏向用の反射鏡（至）、Ｃ優を介し上・下
面Ｑω、四に平行で互いに平行となってほぼ等間隔で一
方の端面＠に入党するように構成されている。
罰によって均等に励起される構成になっている。各レー
ザ光（Ｊａ）、 （１ｂ）、 （Ｊ−Ｃ）、 （−’ｄ
）はそれぞれ偏向用の反射鏡（至）、Ｃ優を介し上・下
面Ｑω、四に平行で互いに平行となってほぼ等間隔で一
方の端面＠に入党するように構成されている。
上記の構成で各固体レーザ光ＣＪ−８）、 （Ｊ−ｂ）
、 （’Ｃ）。
、 （’Ｃ）。
（−’ｄ）は上・下面（ハ）、（ハ）で反射しながらス
ラブ形し−ザ活性物質ａ３中をジグザグに進み増幅され
て。
ラブ形し−ザ活性物質ａ３中をジグザグに進み増幅され
て。
他方の端面から増幅光（Ｌａ ）、 （Ｌｂ ）、 （
Ｌｃ ）、 （Ｌｄ）として出射する。この場合、増幅
はシングルパス増幅となっているが２以上のマルチパス
増幅器こしてもよい。
Ｌｃ ）、 （Ｌｄ）として出射する。この場合、増幅
はシングルパス増幅となっているが２以上のマルチパス
増幅器こしてもよい。
なお上記実施例では、投光手段に固体レーザ発振器を複
数台用いた構成にしたが１台の発振器からのレーザ光を
複数に分岐して増幅器に入光させる構成にしてもよい。
数台用いた構成にしたが１台の発振器からのレーザ光を
複数に分岐して増幅器に入光させる構成にしてもよい。
また、レーザ発振器を同種類としたが、異なった固体レ
ーザ発振器を混在させた構成にしてもよい。また、スラ
ブ形レーザ活性物質は両端面をブリ為−スメ角をこした
が直方体の形状でもよい。ただし直方体の場合にはレー
ザ光をブリュースタ角にして入光することが望ましい。
ーザ発振器を混在させた構成にしてもよい。また、スラ
ブ形レーザ活性物質は両端面をブリ為−スメ角をこした
が直方体の形状でもよい。ただし直方体の場合にはレー
ザ光をブリュースタ角にして入光することが望ましい。
さらｌこ、各レーザ光を互いに平行にして入光させるよ
うにしたが、各レーザ光の発振タイミングを調整すれば
交差する方向に入光させるようにしてもよい。
うにしたが、各レーザ光の発振タイミングを調整すれば
交差する方向に入光させるようにしてもよい。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は部分
側面図、第３図は従来例を示す概略構成図である。 （２０ａ）〜（２０ｄ）・・・レーザ発振器（投光手段
）（２１）・・・増幅装置 （２２）・・・スラブ形レーザ活性物質代理人 弁理士
則 近 憲 借 問 竹 花 喜久男
側面図、第３図は従来例を示す概略構成図である。 （２０ａ）〜（２０ｄ）・・・レーザ発振器（投光手段
）（２１）・・・増幅装置 （２２）・・・スラブ形レーザ活性物質代理人 弁理士
則 近 憲 借 問 竹 花 喜久男
Claims (2)
- （１）一以上の固体レーザ発振器を有して複数のレーザ
光を形成する投光手段と、上記複数のレーザ光を透過し
て同時に増幅可能な単体のスラブ形レーザ活性物質を有
した増幅装置とを備えたことを特徴とするレーザ装置。 - （２）スラブ形レーザ活性物質はレーザ光の通過する両
端面がブリュースタ角に形成されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4190686A JPS62200781A (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4190686A JPS62200781A (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62200781A true JPS62200781A (ja) | 1987-09-04 |
Family
ID=12621329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4190686A Pending JPS62200781A (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62200781A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008186911A (ja) * | 2007-01-29 | 2008-08-14 | Komatsu Ltd | 露光装置用狭帯域レーザ装置 |
| WO2015029285A1 (ja) * | 2013-09-02 | 2015-03-05 | 三菱電機株式会社 | レーザ増幅装置 |
-
1986
- 1986-02-28 JP JP4190686A patent/JPS62200781A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008186911A (ja) * | 2007-01-29 | 2008-08-14 | Komatsu Ltd | 露光装置用狭帯域レーザ装置 |
| WO2015029285A1 (ja) * | 2013-09-02 | 2015-03-05 | 三菱電機株式会社 | レーザ増幅装置 |
| CN105531888A (zh) * | 2013-09-02 | 2016-04-27 | 三菱电机株式会社 | 激光放大装置 |
| US20160197450A1 (en) * | 2013-09-02 | 2016-07-07 | Mitsubishi Electric Corporation | Laser amplification device |
| JPWO2015029285A1 (ja) * | 2013-09-02 | 2017-03-02 | 三菱電機株式会社 | レーザ増幅装置 |
| US9698556B2 (en) | 2013-09-02 | 2017-07-04 | Mitsubishi Electric Corporation | Laser amplification device |
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