JPS6219968Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はＸ線マイクロアナライザーにおいて、
試料表面の電子線照射部分を肉眼観察するための
光学顕微鏡の視野内に試料から得られるＸ線、電
子線等の信号強度を表示せしめる手段を設置した
装置に関する。

一般にＸ線マイクロアナライザーには光学顕微
鏡が設置され、該光学顕微鏡内には電子線照射位
置を示すマークが設けてあり、このマークにより
試料表面の電子線照射位置を確認できるように構
成されている。一方Ｘ線マイクロアナライザーに
おいては試料中に特定元素がどのように分布して
いるかを調べることがしばしば行なわれる。これ
を行うために従来は光学顕微鏡をのぞくことによ
り所望の測定場所を探した後、その場所に特定の
元素が存在しているか否かを計数率計の表示計を
見て確認し、再び光学顕微鏡をのぞいて次の測定
場所を選定するという二つの動作を繰り返しなが
ら行なわせなければならず、取扱いに煩わしさが
あつた。

本考案は斯様な不都合を解決することを目的と
するもので、以下第１図に示した実施例に基づき
詳説する。

図において１はＸ線マイクロアナライザーの鏡
体、２は該鏡体の上方に設けられた電子銃で、該
電子銃から発生した電子線EBは集束レンズ３に
よつて細く集束されて試料４上に照射される。該
電子線の照射により試料からは特定Ｘ線ｘや２次
電子（反射電子も含む）ｅが発生し、この内Ｘ線
ｘは分光結晶５により分光されてＸ線検出器６に
検出される。該検出器からの出力信号は増巾器７
により増巾された後、波高分析器８と計数率計９
からなるＸ線測定系１０に送られ、特定Ｘ線ｘの
強度が測定される。前記試料４から発生する２次
電子ｅは２次電子検出器１１によつて検出され、
増幅器１２を介して増巾された後、図示外の陰極
線管（CRT）へ供給されて２次電子像を表示す
る。１３は前記試料の上方におかれた光学顕微鏡
で、該光学顕微鏡は光軸上におかれた対物レンズ
１４と大気中におかれた接眼レンズ１５とミラー
１６とこれら部材を収納する外筒１７とから構成
されており、又前記対物レンズ１４及びミラー１
６には電子線EBが通過するための穴１８ａ，１
８ｂが形成してあり、更に外筒１７内の対物レン
ズ１４の結像面には第２図に示すように十字のマ
ーク１９が設置してある。これにより試料４上に
電子線を照射させた状態でこの電子照射部分の位
置をマーク１９によつて観察することができる。
又該光学顕微鏡１３内の対物レンズ１４の結像面
（この結像面の近傍でもよい）には小型の発光ダ
イオード２０がおかれており、該発光ダイオード
には切換スイツチ２１を介して前記波高分析器８
及び計数率計９からの信号が供給されている。
又、発光ダイオード２０と同様にＸ線検出のチヤ
ンネル数だけ、発光ダイオード２０ａ，２０ｂ，
……が配置されており、異なつた元素に対応した
異なつた波長のＸ線検出パルス信号が夫々の発光
ダイオード２０ａ，２０ｂ，……に送られるよう
になつている。尚、発光ダイオードの取り付けは
表面の観察を阻害しないために光学顕微鏡の光軸
外に配置させる。

しかして電子線照射により試料から発生する特
定Ｘ線ｘが分光結晶にて分光されてＸ線検出器６
に検出されると、波高分析器８にて一定波高値を
有するパルス信号に変換された後計数率計９に送
られて単位時間あたりのパルス数をカウントさ
れ、そのＸ線強度が測定される。このとき同様に
波高分析器８及び計数率計９からの出力信号が切
換スイツチ２１を介して発光ダイオード２０に送
られ、ダイオードを発光せしめる。その結果光学
顕微鏡１３をのぞいているときでも、前記ダイオ
ードの発光により、測定すべき特定Ｘ線が試料４
に存在することを知ることができる。又波高分析
器８及び計数率計９からの出力信号はＸ線の強度
（量）に比例するため、その強度を知ることがで
きる。即ち波高分析器８からの出力信号はパルス
であるため、その強度は発光ダイオードの発光の
回数でもつて表わすことができ、又計数率計の出
力信号はパルスの数の計数であるためＸ線の強度
は発光ダイオードの明暗でもつて表わすことがで
きる。

尚該実施例において点線で示すように２次電子
検出器１１からの出力信号を切換スイツチ２１を
介して発光ダイオード２０に供給せしめれば、２
次電子（反射電子）の強弱を知ることができる。

以上詳述したように、本考案においては、光学
顕微鏡内の該対物レンズの結像面又は該結像面の
近傍で該光学顕微鏡の軸から外れた位置に該検出
手段よりの各波長のＸ線検出信号が導入される複
数の表示素子を備えているため、試料を移動させ
る等して光学顕微鏡による観察視野を移動する都
度、各表示素子は各元素に対応したＸ線検出パル
ス数の強度に応じた明るさ（時間間隔）で発光を
する。従つて、光学顕微鏡により試料表面観察を
続行したまま、観察点に存在する元素の種類と量
を知ることができ、Ｘ線微小分析箇所を光学顕微
鏡観察により設定あるいは確認するための作業を
大幅に効率化することができる。

尚前述の説明では光学顕微鏡内に発光ダイオー
ドを組込んだ場合を示したが、これに限定される
ことなくランプ等を使用してもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す概略図、第２
図は本考案に使用される光学顕微鏡の断面図であ
る。 図において、１鏡体、２は電子銃、３は集束レ
ンズ、４は試料、５は分光結晶、６はＸ線検出
器、８は波高分析器、９は計数率計、１３は光学
顕微鏡、２０は発光ダイオード、２１は切換スイ
ツチである。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 鏡体内におかれた試料表面に細く集束された電
   子ビームを照射せしめる手段と、該電子ビームの
   照射により試料から発生するＸ線をその波長に応
   じて弁別して検出する手段と、該検出手段よりの
   パルス信号を異なつた波長毎に計数するための計
   数手段と、対物レンズ及び接眼レンズを有し前記
   試料表面の電子線照射部分を肉眼観察するための
   光学顕微鏡とを備えた装置において、該光学顕微
   鏡内の該対物レンズの結像面又は該結像面の近傍
   で該光学顕微鏡の軸から外れた位置に該検出手段
   よりの各波長のＸ線検出信号が導入される複数の
   表示素子を備えたことを特徴とするＸ線マイクロ
   アナライザー。