JPS6219943B2 - - Google Patents
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- JPS6219943B2 JPS6219943B2 JP54083877A JP8387779A JPS6219943B2 JP S6219943 B2 JPS6219943 B2 JP S6219943B2 JP 54083877 A JP54083877 A JP 54083877A JP 8387779 A JP8387779 A JP 8387779A JP S6219943 B2 JPS6219943 B2 JP S6219943B2
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Classifications
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
- B23K26/046—Automatically focusing the laser beam
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- B23K26/048—Automatically focusing the laser beam by controlling the distance between laser head and workpiece
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23K7/10—Auxiliary devices, e.g. for guiding or supporting the torch
- B23K7/102—Auxiliary devices, e.g. for guiding or supporting the torch for controlling the spacial relationship between the workpieces and the gas torch
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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- G—PHYSICS
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- G—PHYSICS
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- G01D5/241—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes
- G01D5/2417—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying separation
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Description
本発明は加工工具に、加工される被加工材の表
面に向く少なくとも1つのキヤパシタンス型及
び/又はインダクタンス型フイーラー装置が配置
され、これの電気的特性が被加工材に対する間隔
の減小又は増大によつて影響を受けるようになつ
ていて、このフイーラー装置がこれの電気的特性
の変化を評価する電気回路に接続されているよう
な金属被加工材とこれに対して相対的に動かされ
る加工工具との間の間隔を測定する為、特にガス
接断機、プラズマ接断機及びレーザー接断機の間
隔調整の為の装置に関する。 このような装置は古くから公知であり、常用さ
れていた。この場合、フイーラー装置としては対
向電極として利用される被加工材と協働してその
間の間隔に逆比例するキヤパシタンスを生ずる電
極が利用される。これと共に又金属の被加工材に
よつて間隔に比例してインダクタンス値が変化さ
れるコイルを有するインダクタンス型フイーラー
装置も公知である。このような装置は例えば英国
特許第840275号明細書(ブリテイツシユ・オキシ
ジエン・カンパニー・リミテツド)、米国特許第
3153109号明細書(シー・エフ・ステヴエント
ン)、米国特許第3217204号明細書(エツチ・エ
ム・ナンス)、米国特許第3596050号明細書(ジヨ
ージ・エツチ・テイキジアン)、並びに西独国特
許公告公報第1941728号(メツサー・グリースハ
イム・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクタ
ー・ハフツンクに記載されている。 この場合利用されるフイーラー装置のキヤパシ
タンス或いはインダクタンスの、間隔に比例する
変化の評価は一般的にフイーラー装置が周波数を
決定する素子として共振回路に接続されるように
して行われる。これによつて夫々の間隔の変化が
共振回路の離調を生じさせるのである。このよう
な周波数の変化は容易に公知の方法で例えば弁別
装置によつて直流信号に変換され、この信号が指
示及び/或いは間隔調整に利用されることが出来
るのである。 上述のような公知の装置の重大な欠点は、第1
にフイーラー装置が被加工材に対して加工方向に
て生ずる間隔変化によつて影響を受けるのみなら
ず、被加工材の側方部分への接近もフイーラー装
置のキヤパシタンス又はインダクタンスに影響を
与えることである。これに対応して間隔測定の為
の公知の装置は第1に金属板の接断装置に対して
用いられている。これに反して強い波形の表面を
有する被加工材の加工は公知の装置によつては不
可能である。何故ならばこの場合、被加工材の突
部に基づく加工工具の運動に平行な方向のフイー
ラー装置に対する干渉作用は、加工工具が被加工
材に対して接近していると記録し、これによつて
実際にはフイーラー装置或いは工具の下方に直接
接近する範囲で被加工材に対する間隔変化がない
のに加工工具が被加工材から離隔されるようにな
されるのである。 本発明は、公知の装置の欠点を排除し、特に冒
頭に述べた間隔測定装置を、不規則な表面及び特
に工具の軌道に平行に位置する側方の突部を有す
る被加工材をも自由に良好な精度で加工出来るよ
うに改良された装置装置を提供することを目的と
する。 本発明により、上述の目的は、先ずフイーラー
装置に対して附加的に補正フイーラー装置が設け
られ、この補正フイーラー装置が工具の運動方向
に平行に位置を占める被加工材の側方の突部によ
つて影響を受けるように工具に対して側方に配置
され、又前記フイーラー装置及び補正フイーラー
装置が少なくとも夫々被加工材によつて影響を受
けるリアクタンスを有し、その際にこれらのリア
クタンスの一方がインダクタンス型となされ、他
方がキヤパシタンス型となされ、更に又電極に対
する被加工材の予め定められた側方からの接近
が、前記インダクタンス型或いはキヤパシタンス
型のリアクタンスの量的には大体等しいが電気的
には反対方向に向く変化によつて補償され得るよ
うに、これらのリアクタンスの値が定められ、且
つ電気的に反対方向に接続されるように構成する
ことによつて達成されるのである。 従つて、この場合キヤパシタンス型の測定装置
に於てはインダクタンス型の補正フイーラー装置
が設けられるのである。インダクタンス値の測定
は明らかに判るように工具に対するフイーラー装
置の配置及びこれの寸法決めに関係する。この寸
法決めは個々の場合に於て比較的簡単に、被加工
材に対するフイーラー装置の間隔が一定の場合に
被加工材の側方の接近が近似(simulieren)され
て、この場合フイーラー装置のリアクタンスの変
化或いは共振回路の周波数の変化が測定されるこ
とによつて経験的に見出だされるのである。補正
フイーラー装置のリアクタンス値の決定は、側方
の接近によつて得られる誤差信号が再び補正され
るようにして決定されるのである。補正フイーラ
ー装置がキヤパシタンス型の間隔測定の為の電極
に直列に接続されるインダクタンスである限り、
側方への接近はキヤパシタンスの増加を生じさせ
る。併し同時に補正フイーラー装置のインダクタ
ンス値は減少される。何故ならば補正フイーラー
装置は側方に接近する被加工材によつて順次逆方
向の渦流作用の影響を受けるからである。 従つてキヤパシタンスの増加と共に同時にイン
ダクタンスの比例的な増加を生じ、被加工材に対
する側方への接近の影響が補償されるのである。
従つて、式
面に向く少なくとも1つのキヤパシタンス型及
び/又はインダクタンス型フイーラー装置が配置
され、これの電気的特性が被加工材に対する間隔
の減小又は増大によつて影響を受けるようになつ
ていて、このフイーラー装置がこれの電気的特性
の変化を評価する電気回路に接続されているよう
な金属被加工材とこれに対して相対的に動かされ
る加工工具との間の間隔を測定する為、特にガス
接断機、プラズマ接断機及びレーザー接断機の間
隔調整の為の装置に関する。 このような装置は古くから公知であり、常用さ
れていた。この場合、フイーラー装置としては対
向電極として利用される被加工材と協働してその
間の間隔に逆比例するキヤパシタンスを生ずる電
極が利用される。これと共に又金属の被加工材に
よつて間隔に比例してインダクタンス値が変化さ
れるコイルを有するインダクタンス型フイーラー
装置も公知である。このような装置は例えば英国
特許第840275号明細書(ブリテイツシユ・オキシ
ジエン・カンパニー・リミテツド)、米国特許第
3153109号明細書(シー・エフ・ステヴエント
ン)、米国特許第3217204号明細書(エツチ・エ
ム・ナンス)、米国特許第3596050号明細書(ジヨ
ージ・エツチ・テイキジアン)、並びに西独国特
許公告公報第1941728号(メツサー・グリースハ
イム・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクタ
ー・ハフツンクに記載されている。 この場合利用されるフイーラー装置のキヤパシ
タンス或いはインダクタンスの、間隔に比例する
変化の評価は一般的にフイーラー装置が周波数を
決定する素子として共振回路に接続されるように
して行われる。これによつて夫々の間隔の変化が
共振回路の離調を生じさせるのである。このよう
な周波数の変化は容易に公知の方法で例えば弁別
装置によつて直流信号に変換され、この信号が指
示及び/或いは間隔調整に利用されることが出来
るのである。 上述のような公知の装置の重大な欠点は、第1
にフイーラー装置が被加工材に対して加工方向に
て生ずる間隔変化によつて影響を受けるのみなら
ず、被加工材の側方部分への接近もフイーラー装
置のキヤパシタンス又はインダクタンスに影響を
与えることである。これに対応して間隔測定の為
の公知の装置は第1に金属板の接断装置に対して
用いられている。これに反して強い波形の表面を
有する被加工材の加工は公知の装置によつては不
可能である。何故ならばこの場合、被加工材の突
部に基づく加工工具の運動に平行な方向のフイー
ラー装置に対する干渉作用は、加工工具が被加工
材に対して接近していると記録し、これによつて
実際にはフイーラー装置或いは工具の下方に直接
接近する範囲で被加工材に対する間隔変化がない
のに加工工具が被加工材から離隔されるようにな
されるのである。 本発明は、公知の装置の欠点を排除し、特に冒
頭に述べた間隔測定装置を、不規則な表面及び特
に工具の軌道に平行に位置する側方の突部を有す
る被加工材をも自由に良好な精度で加工出来るよ
うに改良された装置装置を提供することを目的と
する。 本発明により、上述の目的は、先ずフイーラー
装置に対して附加的に補正フイーラー装置が設け
られ、この補正フイーラー装置が工具の運動方向
に平行に位置を占める被加工材の側方の突部によ
つて影響を受けるように工具に対して側方に配置
され、又前記フイーラー装置及び補正フイーラー
装置が少なくとも夫々被加工材によつて影響を受
けるリアクタンスを有し、その際にこれらのリア
クタンスの一方がインダクタンス型となされ、他
方がキヤパシタンス型となされ、更に又電極に対
する被加工材の予め定められた側方からの接近
が、前記インダクタンス型或いはキヤパシタンス
型のリアクタンスの量的には大体等しいが電気的
には反対方向に向く変化によつて補償され得るよ
うに、これらのリアクタンスの値が定められ、且
つ電気的に反対方向に接続されるように構成する
ことによつて達成されるのである。 従つて、この場合キヤパシタンス型の測定装置
に於てはインダクタンス型の補正フイーラー装置
が設けられるのである。インダクタンス値の測定
は明らかに判るように工具に対するフイーラー装
置の配置及びこれの寸法決めに関係する。この寸
法決めは個々の場合に於て比較的簡単に、被加工
材に対するフイーラー装置の間隔が一定の場合に
被加工材の側方の接近が近似(simulieren)され
て、この場合フイーラー装置のリアクタンスの変
化或いは共振回路の周波数の変化が測定されるこ
とによつて経験的に見出だされるのである。補正
フイーラー装置のリアクタンス値の決定は、側方
の接近によつて得られる誤差信号が再び補正され
るようにして決定されるのである。補正フイーラ
ー装置がキヤパシタンス型の間隔測定の為の電極
に直列に接続されるインダクタンスである限り、
側方への接近はキヤパシタンスの増加を生じさせ
る。併し同時に補正フイーラー装置のインダクタ
ンス値は減少される。何故ならば補正フイーラー
装置は側方に接近する被加工材によつて順次逆方
向の渦流作用の影響を受けるからである。 従つてキヤパシタンスの増加と共に同時にイン
ダクタンスの比例的な増加を生じ、被加工材に対
する側方への接近の影響が補償されるのである。
従つて、式
【式】から、L及びC即ちイ
ンダクタンス及びキヤパシタンスの比例的な特性
の為に、被加工材に対する側方の接近の間のキヤ
パシタンス値の増加がインダクタンス値の量的に
等しい減少によつて補償される時に製置の共振周
波数が一定に留まることが判る。同じことが夫々
のインダクタンス或いはキヤパシタンスのリアク
タンスに当てはまり、共振回路にフイーラー装置
或いは補正フイーラー装置を組込む場合のみなら
ず、測定の比較例えばそれ自体公知の測定ブリツ
ジ回路にて測定の比較を行う際に誤差信号の補正
が側方の接近によつて達成可能となされるのであ
る。 フイーラー装置に対する側方の接近の影響は、
明らかに判るように一般的に正しく規定され、予
見されることは出来ない。従つて例えばキヤパシ
タンス型の間隔電極の場合に影響力は決定的に工
具に対する電極の配置並びに被加工材に直接に向
く電極の作動表面並びに側方に作用可能になされ
た面の間の比率に関係する。側方の面に対比して
工具の下方にある被加工材の表面に向く電極の表
面が大きくなるにつれて妨害の影響力は小さくな
る。他方に於て工具に対して引込まされて電極上
に配置されるコイルは又被加工材に対して「通
常」の接近を行う場合に更に小さい影響しか受け
ないのである。 併し、何れの場合にも一方ではフイーラー装置
の幾何学的な配置により、又他方では補正フイー
ラー装置の幾何学的な配置によつて、「通常」の
工具前進方向の接近がフイーラー装置の比例的以
上の変化、従つて評価可能の間隔変化に比例的な
信号の発信を行い、又多面に於て側方の接近がフ
イーラー装置及び補正フイーラー装置に大体比例
的な影響を与え、これによつて全体として補償が
得られるのである。 実際上本発明は、キヤパシタンス型の間隔測定
の為の電極が大体円環状の円板として構成され、
この円板が大体被加工材に平行に配置され、トー
チノズルが電極の下端を同心的に包囲し、又イン
ダクタンスが同様にトーチノズルに同心的にその
下端に配置されるコイルにより測定され、その際
にコイルが被加工材から見て電極の後方に配置さ
れる場合にガス接断機(例えばプラズマ又はレー
ザー)に特に有利に実施されることが出来る。こ
れによつて電極は実際上コイルを被加工材に対す
る垂直の接近の際の過大な影響から遮断するので
ある。併し、側方の接近の際にはコイルは完全に
被加工材によつて影響を受け、一方円板状の電極
は被加工材に対して側方に向く比較的小さい表面
しか有せず、従つて補正されるキヤパシタンスの
変化は比較的小さいのである。 実際上このような装置は、トーチノズルに絶縁
材料より成る環状体特にセラミツクより成る環状
体が設けられ、この環状体に対して被加工材に向
く電極が同心的に配置される場合に特に有利に実
施されることが出来る。このようにしてインダク
タンス及びキヤパシタンスが簡単に製造可能な、
相対的配置が安定化された構造ユニツトを形成
し、このユニツトが又作動に際して頑丈で、信頼
性を有して組込まれることが出来るのである。フ
イーラー装置並びに補正フイーラー装置の為、即
ちこれによつてキヤパシタンス及びインダクタン
スの為の担体としてセラミツク材料を利用するこ
とは、このような構造ユニツトをトーチノズルの
範囲に配置することを可能になし、これによつて
高い測定精度が得られるようになすのである。 上述を要約すると、本発明は最も簡単で、数の
少ない機素を利用して経済的に且つ頑丈に製造可
能の装置を提供するもので、このような装置は容
易に種々の電極形状評価装置、工具形状及び同様
のものに適応されることが出来るのである。 本願対象の技術的進歩性及び発明的な内容は、
この場合上述の個々の特徴によるのみならず、明
らかなように特に利用される特徴の組合せ及び副
組合せによつて保証されるのである。 本発明は以下に添付図面を参照して実施例につ
き詳述される。 第1図に於て、発振装置1は入力側にて周波数
を決定する為のコイル2、補正コイル3及び電極
及び被加工材により形成されるキヤパシタンス4
に接続されている。キヤパシタンス4は工具5
(第2図)に配置される環状電極8及び加工され
る被加工材6の互いに対向する面によつて形成さ
れている。工具5及び被加工材6の間の夫々の垂
直の間隔変化はキヤパシタンス4の変化を生じさ
せ、これによつて発振装置1の周波数が変化され
るようになつている。発振装置1の出力は弁別装
置回路7に接続され、この回路内で周波数変動が
調節信号に変換されるのである。この調節信号は
両方の出力7a及び7bに接続され、公知の方法
で発振装置1の周波数変動或いは間隔に比例する
キヤパシタンス4の変化に関係して被加工材6か
らの間隔工具5の再調整を行う。 被加工材の側面6aに対する工具5の側方の接
近はキヤパシタンス4に対して附加的に妨害キヤ
パシタンス4aが形成されるようになし、この妨
害キヤパシタンス4aの変化、従つて工具5と被
加工材6との間の間隔に比例しない周波数変動を
生じさせるのである。 第2図は金属被加工材6の加工の為の工具とし
てのトーチノズル5を示している。この場合妨害
キヤパシタンス4aは特に被加工材の側面6a及
び被加工材6の対向する部分と共にキヤパシタン
ス4を形成する環状電極8の側縁の間に形成され
る。補正コイル3は明らかに判るように環状電極
8と共にセラミツク体9の上に配置され、このセ
ラミツク体9がトーチノズル5を包囲している。
従つて被加工材の側面6aに対する夫々の側方の
接近は妨害キヤパシタンス4aの増加のみなら
ず、同時に補正コイル3のインダクタンスに影響
を与えるのである。この実施例に於ては、キヤパ
シタンス4は1mmの基準間隔にて約1PFとなさ
れ、補正コイル3のインダクタンスは約5μHと
なされ、コイル2のインダクタンスは約30μHと
なされ、又発振装置1の周波数は約7乃至8MHz
となされるのである。明らかに判るように被加工
材の側面6aによる夫々の側方の影響力は妨害キ
ヤパシタンス4aの増加及び同時に補正コイル3
のインダクタンスの逆に作用する減少を生じさせ
るのである。これによつて妨害キヤパシタンス4
aの妨害作用は完全に補償されるのである。 コイル2は、高温のトーチノズル10の直接の
影響範囲から離脱される為にトーチノズルに対し
て或る間隔をおいて配置される。補正コイル3の
保護の為にこの補正コイル3はセラミツク体9の
ねじ状に配置された凹部内に配置され、絶縁材料
によつて外部に対して遮断されている。 自明のように環状電極8及び補正コイル3の幾
何学的構成は要求条件に対応して個々の場合に変
化されることが出来る。従つて補正コイル3は例
えばトーチノズル5の単に片側にだけ配置される
か、又は一般に公知の通常使用されているような
別々に保持される環状電極8が使用されることが
出来る。 フイーラー装置及び補正フイーラー装置より成
る上述の実施例に示された直列接続の代りに自明
のようにフイーラー装置は公知の方法でインダク
タンス型として形成され、これに対応して補正キ
ヤパシタンスが配置されることが出来る。当業者
には上述のような処置は容易になし得ることであ
る。更に、さして重要でない僅かな更に他の妨害
キヤパシタンス又は円環状インダクタンスはよく
判るところであつて、こゝでは説明されていな
い。このようにして例えば円環状の電極は僅かな
回路のインダクタンスの妨害作用を生じ、又補正
コイルの個々の巻回部及び被加工材の側面6aの
間に小さい散乱キヤパシタンスが生ずるが、これ
は測定結果には極めて僅かな影響しか与えない。
又導線及びコイル内のオーム抵抗も第1図による
接続回路には考慮されていない。併し、このよう
なものは本発明の装置に影響を与えない。
の為に、被加工材に対する側方の接近の間のキヤ
パシタンス値の増加がインダクタンス値の量的に
等しい減少によつて補償される時に製置の共振周
波数が一定に留まることが判る。同じことが夫々
のインダクタンス或いはキヤパシタンスのリアク
タンスに当てはまり、共振回路にフイーラー装置
或いは補正フイーラー装置を組込む場合のみなら
ず、測定の比較例えばそれ自体公知の測定ブリツ
ジ回路にて測定の比較を行う際に誤差信号の補正
が側方の接近によつて達成可能となされるのであ
る。 フイーラー装置に対する側方の接近の影響は、
明らかに判るように一般的に正しく規定され、予
見されることは出来ない。従つて例えばキヤパシ
タンス型の間隔電極の場合に影響力は決定的に工
具に対する電極の配置並びに被加工材に直接に向
く電極の作動表面並びに側方に作用可能になされ
た面の間の比率に関係する。側方の面に対比して
工具の下方にある被加工材の表面に向く電極の表
面が大きくなるにつれて妨害の影響力は小さくな
る。他方に於て工具に対して引込まされて電極上
に配置されるコイルは又被加工材に対して「通
常」の接近を行う場合に更に小さい影響しか受け
ないのである。 併し、何れの場合にも一方ではフイーラー装置
の幾何学的な配置により、又他方では補正フイー
ラー装置の幾何学的な配置によつて、「通常」の
工具前進方向の接近がフイーラー装置の比例的以
上の変化、従つて評価可能の間隔変化に比例的な
信号の発信を行い、又多面に於て側方の接近がフ
イーラー装置及び補正フイーラー装置に大体比例
的な影響を与え、これによつて全体として補償が
得られるのである。 実際上本発明は、キヤパシタンス型の間隔測定
の為の電極が大体円環状の円板として構成され、
この円板が大体被加工材に平行に配置され、トー
チノズルが電極の下端を同心的に包囲し、又イン
ダクタンスが同様にトーチノズルに同心的にその
下端に配置されるコイルにより測定され、その際
にコイルが被加工材から見て電極の後方に配置さ
れる場合にガス接断機(例えばプラズマ又はレー
ザー)に特に有利に実施されることが出来る。こ
れによつて電極は実際上コイルを被加工材に対す
る垂直の接近の際の過大な影響から遮断するので
ある。併し、側方の接近の際にはコイルは完全に
被加工材によつて影響を受け、一方円板状の電極
は被加工材に対して側方に向く比較的小さい表面
しか有せず、従つて補正されるキヤパシタンスの
変化は比較的小さいのである。 実際上このような装置は、トーチノズルに絶縁
材料より成る環状体特にセラミツクより成る環状
体が設けられ、この環状体に対して被加工材に向
く電極が同心的に配置される場合に特に有利に実
施されることが出来る。このようにしてインダク
タンス及びキヤパシタンスが簡単に製造可能な、
相対的配置が安定化された構造ユニツトを形成
し、このユニツトが又作動に際して頑丈で、信頼
性を有して組込まれることが出来るのである。フ
イーラー装置並びに補正フイーラー装置の為、即
ちこれによつてキヤパシタンス及びインダクタン
スの為の担体としてセラミツク材料を利用するこ
とは、このような構造ユニツトをトーチノズルの
範囲に配置することを可能になし、これによつて
高い測定精度が得られるようになすのである。 上述を要約すると、本発明は最も簡単で、数の
少ない機素を利用して経済的に且つ頑丈に製造可
能の装置を提供するもので、このような装置は容
易に種々の電極形状評価装置、工具形状及び同様
のものに適応されることが出来るのである。 本願対象の技術的進歩性及び発明的な内容は、
この場合上述の個々の特徴によるのみならず、明
らかなように特に利用される特徴の組合せ及び副
組合せによつて保証されるのである。 本発明は以下に添付図面を参照して実施例につ
き詳述される。 第1図に於て、発振装置1は入力側にて周波数
を決定する為のコイル2、補正コイル3及び電極
及び被加工材により形成されるキヤパシタンス4
に接続されている。キヤパシタンス4は工具5
(第2図)に配置される環状電極8及び加工され
る被加工材6の互いに対向する面によつて形成さ
れている。工具5及び被加工材6の間の夫々の垂
直の間隔変化はキヤパシタンス4の変化を生じさ
せ、これによつて発振装置1の周波数が変化され
るようになつている。発振装置1の出力は弁別装
置回路7に接続され、この回路内で周波数変動が
調節信号に変換されるのである。この調節信号は
両方の出力7a及び7bに接続され、公知の方法
で発振装置1の周波数変動或いは間隔に比例する
キヤパシタンス4の変化に関係して被加工材6か
らの間隔工具5の再調整を行う。 被加工材の側面6aに対する工具5の側方の接
近はキヤパシタンス4に対して附加的に妨害キヤ
パシタンス4aが形成されるようになし、この妨
害キヤパシタンス4aの変化、従つて工具5と被
加工材6との間の間隔に比例しない周波数変動を
生じさせるのである。 第2図は金属被加工材6の加工の為の工具とし
てのトーチノズル5を示している。この場合妨害
キヤパシタンス4aは特に被加工材の側面6a及
び被加工材6の対向する部分と共にキヤパシタン
ス4を形成する環状電極8の側縁の間に形成され
る。補正コイル3は明らかに判るように環状電極
8と共にセラミツク体9の上に配置され、このセ
ラミツク体9がトーチノズル5を包囲している。
従つて被加工材の側面6aに対する夫々の側方の
接近は妨害キヤパシタンス4aの増加のみなら
ず、同時に補正コイル3のインダクタンスに影響
を与えるのである。この実施例に於ては、キヤパ
シタンス4は1mmの基準間隔にて約1PFとなさ
れ、補正コイル3のインダクタンスは約5μHと
なされ、コイル2のインダクタンスは約30μHと
なされ、又発振装置1の周波数は約7乃至8MHz
となされるのである。明らかに判るように被加工
材の側面6aによる夫々の側方の影響力は妨害キ
ヤパシタンス4aの増加及び同時に補正コイル3
のインダクタンスの逆に作用する減少を生じさせ
るのである。これによつて妨害キヤパシタンス4
aの妨害作用は完全に補償されるのである。 コイル2は、高温のトーチノズル10の直接の
影響範囲から離脱される為にトーチノズルに対し
て或る間隔をおいて配置される。補正コイル3の
保護の為にこの補正コイル3はセラミツク体9の
ねじ状に配置された凹部内に配置され、絶縁材料
によつて外部に対して遮断されている。 自明のように環状電極8及び補正コイル3の幾
何学的構成は要求条件に対応して個々の場合に変
化されることが出来る。従つて補正コイル3は例
えばトーチノズル5の単に片側にだけ配置される
か、又は一般に公知の通常使用されているような
別々に保持される環状電極8が使用されることが
出来る。 フイーラー装置及び補正フイーラー装置より成
る上述の実施例に示された直列接続の代りに自明
のようにフイーラー装置は公知の方法でインダク
タンス型として形成され、これに対応して補正キ
ヤパシタンスが配置されることが出来る。当業者
には上述のような処置は容易になし得ることであ
る。更に、さして重要でない僅かな更に他の妨害
キヤパシタンス又は円環状インダクタンスはよく
判るところであつて、こゝでは説明されていな
い。このようにして例えば円環状の電極は僅かな
回路のインダクタンスの妨害作用を生じ、又補正
コイルの個々の巻回部及び被加工材の側面6aの
間に小さい散乱キヤパシタンスが生ずるが、これ
は測定結果には極めて僅かな影響しか与えない。
又導線及びコイル内のオーム抵抗も第1図による
接続回路には考慮されていない。併し、このよう
なものは本発明の装置に影響を与えない。
第1図は本発明の特徴を有する装置の概略的接
続回路を示す回路図。第2図は第1図による装置
を有するトーチノズルの概略的側面図。 1……発振装置、2……コイル、3……補正コ
イル、4……キヤパシタンス、4a……妨害キヤ
パシタンス、5……加工工具、6……被加工材、
6a……被加工材の側面、7……弁別装置回路、
8……電極、9……セラミツク体、10……トー
チノズル。
続回路を示す回路図。第2図は第1図による装置
を有するトーチノズルの概略的側面図。 1……発振装置、2……コイル、3……補正コ
イル、4……キヤパシタンス、4a……妨害キヤ
パシタンス、5……加工工具、6……被加工材、
6a……被加工材の側面、7……弁別装置回路、
8……電極、9……セラミツク体、10……トー
チノズル。
Claims (1)
- 1 加工工具に、加工される被加工材の表面に向
く少なくとも1つのキヤパシタンス型及び/或い
はインダクタンス型フイーラー装置が配置され、
これの電気的特性が被加工材に対する間隔の減小
或いは増大によつて影響を受け、その際にこのフ
イーラー装置が更にこれの電気的特性の変化を評
価する電気回路に接続されているような金属被加
工材とこれに対して相対的に動かされる加工工具
との間の間隔を測定する為、特にガス接断機、プ
ラズマ接断機及びレーザー接断機の間隔調整の為
の装置に於て、前記フイーラー装置に対して更に
附加的に補正フイーラー装置が設けられ、これが
工具の運動方向に平行に位置を占める被加工材の
突部によつて影響を受けるように工具に対して側
方に配置され、又前記フイーラー装置及び補正フ
イーラー装置が少なくとも夫々被加工材によつて
影響を受けるリアクタンスを有し、その際にこれ
らのリアクタンスの一方がインダクタンス型とな
され、他方がキヤパシタンス型となされていて、
更に又前記リアクタンスは、電極或いは工具に対
する被加工材の予め定められた側方への接近が前
記インダクタンス型又はキヤパシタンス型のリア
クタンスの、量的には大体等しいが電気的には逆
方向の変化によつて補償可能となされるように定
められて互いに電気的に接続されていることを特
徴とする装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19782829851 DE2829851A1 (de) | 1978-07-07 | 1978-07-07 | Anordnung zur messung des abstands zwischen einem metallischen werkstueck und einem bearbeitungswerkzeug |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5514195A JPS5514195A (en) | 1980-01-31 |
JPS6219943B2 true JPS6219943B2 (ja) | 1987-05-01 |
Family
ID=6043769
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8387779A Granted JPS5514195A (en) | 1978-07-07 | 1979-07-02 | Device for measuring distance between workpiece metal and tool |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4298784A (ja) |
EP (1) | EP0007034B1 (ja) |
JP (1) | JPS5514195A (ja) |
DE (1) | DE2829851A1 (ja) |
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-
1979
- 1979-06-27 EP EP79102129A patent/EP0007034B1/de not_active Expired
- 1979-06-29 US US06/053,255 patent/US4298784A/en not_active Expired - Lifetime
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