JPH0794964B2 - 容量形測定装置及び方法 - Google Patents

容量形測定装置及び方法

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JPH0794964B2
JPH0794964B2 JP1324183A JP32418389A JPH0794964B2 JP H0794964 B2 JPH0794964 B2 JP H0794964B2 JP 1324183 A JP1324183 A JP 1324183A JP 32418389 A JP32418389 A JP 32418389A JP H0794964 B2 JPH0794964 B2 JP H0794964B2
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    • G01R1/07—Non contact-making probes
    • G—PHYSICS
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Description

【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ この発明は容量形測定装置及び方法に関し、特に浮遊容
量（Stray Capacitance）及びフリンジキャパシタンス
（Fringe Capacitance）或は非理想効果による回路的な
限界から自由な装置及び方法に関するものである。
＜従来の技術及びその問題点＞ 容量形プローブを利用してプローブと被測定対象物との
近接距離を測定する種々のシステムが提供されている。
これらのシステムにおいては、容量形プローブに生ずる
測定電圧と対象物との距離との関係により所望の近接の
測定が行われる。この関係は理想的には、測定電圧の変
化がプローブと対象物の表面との物理的な距離の単純な
数学的な関係の変化を表わすような関係である。しか
し、実際の容量形測定システムにおいては、浮遊容量や
フリンジキャパシタンス或は非理想回路により単純な関
係からの乖離が生じ、得られるデータの精度に悪影響を
与える問題があった。
ここでフリンジキャパシタンスとは、容量型プローブに
おける、測定プレートの端部に生ずる電界の乱れにより
発生する容量誤差の原因となるキャパシタンスのことで
ある。即ち測定プレートの端部では電気力線が広がった
り、拡散したりする現象があり、これが測定される容量
の誤差として表われる。この磁界の乱れにより生ずる誤
差容量をフリンジキャパシタンスと呼んでいる。
＜発明の概要＞ 本発明は上記した従来の問題点を改善するためになされ
たもので、浮遊容量やフリンジキャパシタンス或は非理
想回路に影響されることなく、近接距離に比例した出力
を得ることのできるAC容量形測定装置を提供することを
目的とするものである。
本発明は回路の非理想性や容量形プローブ内に発生する
浮遊容量もフリンジキャパシタンスも共に距離と出力電
圧の理想関係に対する付加的な要因として存在するとい
う認識に基づくものである。このため本発明ではこの付
加的要因と精密に等しい補償信号をプローブ信号からリ
アルタイムで差し引くための回路手段を備えている。こ
れにより距離と出力電圧の理想関係が実現され、データ
精度の向上が図れる。
本発明の好ましい実施例においては、オペアンプが前記
浮遊容量、フリンジキャパシタンス或は回路の非理想性
に起因する付加的な要因を高精度にキャンセルする負帰
還信号を提供する。
本発明の容量形プローブはACで動作し、電流及び位相の
両方において比較的制御が容易である。このプローブは
回りに同心ガードを備えた中央容量センサエレメントを
有する。該ガードと容量センサエレメントはAC同電圧、
同位相で回路の異なる位置から駆動される。出力は典型
的にはガード電圧において得られる。
＜実施例＞ 上記した又はその他の本発明の目的や概略及び利点は、
下記説明のためにのみ用いられる詳細な説明及び図面を
参照して本発明を理解することにより明らかになる。
第１図において10は本発明のAC容量形プローブシステム
を示している。このシステム10はＶINで示されるACドラ
イバ12を有しており、このACドライバ12はトランス14の
１次コイルに結合されている。トランス14の２次コイル
は３プレート入力のプレート11と帰還キャパシタを駆動
し、またプレート11とプレート15から形成されるCFで示
すキャパシタを通して入力を供給する。
オペアンプ16はキャパシタCFのプレート15に接続するＡ
で示す反転入力を有している。容量的に測定されるべき
エレメント17はグラウンドに、即ちオペアンプ16の出力
に接続されている。18で総括的に示す容量形プローブは
オペアンプ16の反転入力に接続する中央容量プレート20
を有している。ガードプレート22はオペアンプ16の非反
転入力に接続されている。該非反転入力は事実上反転入
力と同一電圧になっている。
容量形プローブ18は第２図に示すようにエレメント17に
近接される。このエレメント17は典型的には半導体ウエ
ファである。容量形プローブ18はこの実施例において第
３図に示すように中央容量プレート20とこれを同心に取
り囲むガードプレート22とを有している。中央容量プレ
ート20は適用箇所に応じて所望するどのような形状に形
成してもよく、例えば正方形や長方形等とすることがで
きる。同心に取り囲むガードプレート22は中央容量プレ
ート20におけるフィールドライン（field line）を形成
し、且つ前記したようにガードプレート22と中央容量プ
レート20は同電圧で駆動されるため、中央容量プレート
20の端部に発生する前記フリンジキャパシタンスは抑制
され、最小化される。そして中央容量プレート20とエレ
メント17との測定されるべき距離と間隔によりCSで示す
キャパシタンスが形成される。
なお、前記ガードプレート22と中央容量プレート20はプ
リント基板に形成してユニタリエレメントとしてもよ
く、或はプローブハウジング内の個々の部材として構成
してもよい。
負帰還抵抗30を有するオペアンプ24は第１のオペアンプ
16と可変抵抗32を介して接地する回路に接続する反転入
力を有する。またオペアンプ24の出力はオペアンプ16の
反転入力にキャパシタCCを介して帰還している。このキ
ャパシタCCは３プレートキャパシタのプレート13とプレ
ート15から構成されている。
適正な動作を確実にするためにキャパシタCFとCCは安定
で且つ精密なものである必要がある。そのために第４図
に示すようにこのキャパシタCFとCCをクォーツやプラス
ティックのような単一の誘電体26に形成することも可能
である。第４図の例ではこの誘導体26の表面には金属性
の電極が配設されプレート11とプレート13及びプレート
15を形成し、キャパシタCFとCCを形成している。
このシステムの出力はオペアンプ16の非反転入力とグラ
ンドとの間から得られる。
次に動作を説明する。
入力電圧ＶINとキャパシタンスCFとの積は出力電圧ＶOU
T（オペアンプ16の非反転入力における）と中央容量プ
レート20とエレメント17間のキャパシタンスCSとの積か
ら該出力とオペアンプ24のゲインＧ及び帰還キャパシタ
ンスCCとの積を引いたものに等しい。これを式で表わせ
ば次の通りである。
ＶIN CF＝ＶOUT CS−ＶOUT（Ｇ）（CC） ……式Ａ 上式Ａの導出過程を示せば次の通りである。
いま各キャパシタンスCF、CC、CSにおける電流ＩCF、Ｉ
CC、ＩCSは、夫々次のように表わせる。
ＩCF＝（ＶIN＋ＶOUT−ＶS）ｊωCF ＩCC＝（gVOUT−ＶS）ｊωCC ＩCS＝（ＶS−０）ｊωCS 但し ＶIN：入力電圧 ＶOUT：出力電圧 ＶS：オペアンプ16の反転入力側の電圧 ｊωCF:キャパシタCFのインピーダンス ｊωCC:キャパシタCCのインピーダンス ｊωCS:キャパシタCSのインピーダンス g:オペアンプ24のゲイン ここで、ＩCF＋ＩCC＝ＩCSであるから、 （ＶIN＋ＶOUT−ＶS）ｊωCF＋（gVOUT−ＶS）ｊωCC ＝（ＶS−０）ｊωCS ここで周波数ωは全て同一であるからｊωを消去すれ
ば、以下のようになる。
ＶINCF＋ＶOUTCF−ＶSCF＋gVOUTCC−ＶSCC＝ＶSCS 前記したようにＶS＝ＶOUTであるから、 ＶINCF＋gVOUTCC−ＶOUTCC＝ＶOUTCS これを移項して調整すると、 ＶINCF＝ＶOUTCS−ＶOUTCC（ｇ−１） Ｇ＝ｇ−１とおけば ＶIN・CF＝ＶOUT・CS−ＶOUT・Ｇ・CCが得られる。
ここでプローブのキャパシタンスCSは中央容量プレート
20の面積Ｓと定数εｏをプレート間の距離ｄで割ったも
のからC0を足したものに等しい。このC0はオペアンプ16
の無限ゲインの理想値からのズレ及び浮遊容量とフリン
ジキャパシタンスを表わす値である。従って、CSは CS＝Ｓεo/d＋Co ……式Ｂ で表わされる。
そして、上式Ｂを上式Ａに代入してＶOUTについて整理
すると、 ＶOUT＝（ＶIN CF）／（（εoS/d） ＋Co−（Ｇ）（CC）） ……式Ｃ オペアンプ24のゲインＧはＧ＝（R32＋R30）/R30（但
し、R32:抵抗32の抵抗値、R30:抵抗30の抵抗値）で表わ
せるから、可変抵抗32により負帰還信号（Ｇ）（CC）を
Co項に丁度等しくなるように設定すれば、距離関係によ
り精密に比例する電圧がリアルタイムに得られ、データ
の精度が向上する。キャパシタンスCCとゲインＧの積と
Coを等しくするために、最善のエラーキャンセルが生じ
るまで、可変抵抗32を変化させる。これは一般的な較正
技術に基づいて１または１以上の既知の被測定値を有す
る較正用のリファレンスを用いて行われる。
次に他の実施例を第５図に示す。
この実施例では入力と予めトランスと３プレートキャパ
シタにより得られた帰還とを合計するためのオペアンプ
が用いられている。この第５図の回路によっても実際の
部品から生じる誤差成分の補償が得られる。
この測定プローブ50は接地され、またオペアンプ54の出
力側に接続しているエレメント52に近接している。測定
プローブ50の中央電極56はオペアンプ54の反転入力に接
続し、またガード電極58は非反転入力に接続している。
AC励振の電源60は抵抗64を介してグラウンドとオペアン
プ62の反転入力の間に接続されている。オペアンプ62は
負帰還抵抗66をその出力と反転入力の間に有している。
オペアンプ62の出力はレファレンスキャパシタ68を通し
てオペアンプ54の反転入力に結合している。オペアンプ
62の非反転入力は抵抗70を介してグラウンドに接続し、
また可変抵抗72を介してオペアンプ54の非反転入力に接
続している。
上記した数式は第５図の回路にも適用でき、可変抵抗72
を調整することにより誤差成分を補償する。
この発明の他の変形例は当業者にとって本発明の要旨か
ら逸脱することなく明らかである。
＜発明の効果＞ 以上説明したように本発明によれば、実際の回路の誤差
や測定プローブの浮遊容量或はフリンジキャパシタンス
等の誤差成分を効果的に補償し、精度の高い測定が可能
になる等の効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す回路図、第２図は半導
体ウエファ等の被測定対象物とプローブを示す概略図、
第３図は第２図における３−３線に沿う平面図、第４図
は入力及び帰還カップリングキャパシタの斜視図、第５
図は他の実施例の回路図である。 11:プレート、12:ACドライバ、13:プレート、14:トラン
ス、15:プレート、16:オペアンプ、17:エレメント、18:
容量形プローブ、20:中央容量プレート、22:ガードプレ
ート、24:オペアンプ、30:負帰還抵抗、32:可変抵抗、5
0:測定プローブ、52:エレメント、54:オペアンプ、56:
中央電極、58:ガード電極、60:電源、62:オペアンプ、6
4:抵抗、66:抵抗、68:レファレンスキャパシタ、70:抵
抗、72:可変抵抗。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】オペアンプ16と； 測定プレート20を有し、容量的に測定されるべき対象物
    17と共に前記オペアンプ16の出力と反転入力との間の帰
    還通路を形成するプローブ18と； 前記測定プレート20がガードプレート22を有し； 前記ガードプレート22を前記オペアンプ16による前記測
    定プレート20の電圧に維持された電圧で駆動するための
    第１の手段と； 前記オペアンプ16をその反転入力において所定の入力信
    号で駆動するための第２の手段と； 前記オペアンプ16の出力側に接続された入力と、前記ガ
    ードプレート22に関する帰還回路において前記オペアン
    プ16の入力に接続する出力とを備え、 更に該帰還回路に接続された可変インピーダンス32を有
    するオペアンプ24と、 前記オペアンプ24の出力を前記入力信号に結合するため
    の手段と；を有し、 前記可変インピーダンス32を調節して、前記測定プレー
    ト20の浮遊容量とオペアンプ16の公差の両方を補償する
    ようにオペアンンプ24の出力を調整する、 ことを有することを特徴とする容量形測定装置。
  2. 【請求項２】前記結合する手段と前記第２の手段が３プ
    レート結合キャパシタの中の異なる分離プレートを夫々
    含む請求項第１項の容量形測定装置。
  3. 【請求項３】オペアンプ54と； 測定プレート56を有し、容量的に測定されるべき対象物
    52と共に前記オペアンプ54の出力と反転入力との間の帰
    還通路を形成するプローブ50と； 前記測定プレート56がガードプレート58を有し； 前記ガードプレート58を前記オペアンプ54による前記測
    定プレートの電圧に維持された電圧で駆動するための第
    １の手段と； 前記オペアンプ54をその反転入力において入力信号で駆
    動するための第２の手段と； 前記入力信号を入力側で入力し、その出力側が前記オペ
    アンプ54の入力側に接続し、前記オペアンプ62を通るガ
    ード電極58に関する帰還回路を可変インピーダンス72を
    介して形成するオペアンプ62と；を有し、 前記可変インピーダンス72を調節して、前記測定プレー
    ト56の浮遊容量とオペアンプ54の公差の両方を補償する
    ようにオペアンプ62の出力を調整する、 ことを特徴とする容量形測定装置。
JP1324183A 1989-03-07 1989-12-15 容量形測定装置及び方法 Expired - Lifetime JPH0794964B2 (ja)

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JPH02254302A JPH02254302A (ja) 1990-10-15
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Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2647898A1 (fr) * 1989-05-31 1990-12-07 Jaeger Dispositif de mesure de niveau et/ou volume d'un liquide a sonde capacitive
US5101165A (en) * 1990-05-29 1992-03-31 General Electric Company Electrical capacitance clearanceometer
US5625292A (en) * 1990-12-20 1997-04-29 Hewlett-Packard Company System for measuring the integrity of an electrical contact
US5557209A (en) * 1990-12-20 1996-09-17 Hewlett-Packard Company Identification of pin-open faults by capacitive coupling through the integrated circuit package
US5696451A (en) * 1992-03-10 1997-12-09 Hewlett-Packard Co. Identification of pin-open faults by capacitive coupling
US5315259A (en) * 1992-05-26 1994-05-24 Universities Research Association, Inc. Omnidirectional capacitive probe for gauge of having a sensing tip formed as a substantially complete sphere
US5214388A (en) * 1992-05-28 1993-05-25 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Phase discriminating capacitive array sensor system
DE4222930A1 (de) * 1992-07-11 1994-01-13 Vdo Schindling Schaltungsanordnung zur Messung von Kapazitäten
US5420500A (en) * 1992-11-25 1995-05-30 Hewlett-Packard Company Pacitive electrode system for detecting open solder joints in printed circuit assemblies
US5557267A (en) * 1993-04-23 1996-09-17 Ade Corporation Apparatus and methods for measurement system calibration
US5539323A (en) * 1993-05-07 1996-07-23 Brooks Automation, Inc. Sensor for articles such as wafers on end effector
GB9512322D0 (en) * 1995-06-16 1995-08-16 Process Tomography Ltd A flexible field excitation and measurement technique for electrical capacitance tomography systems
US5708368A (en) * 1996-03-07 1998-01-13 Ade Corporation Method and apparatus for emulation of a linear variable differential transducer by a capacitive gaging system
WO1999038020A1 (en) 1998-01-23 1999-07-29 Sumitomo Metal Industries, Ltd. Impedance-to-voltage converter
IL132097A0 (en) 1998-02-05 2001-03-19 Sumitomo Metal Ind Impedance-to-voltage converter and converting method
TW526327B (en) 1998-02-19 2003-04-01 Sumitomo Metal Ind Detection apparatus and method of physical variable
US6828806B1 (en) * 1999-07-22 2004-12-07 Sumitomo Metal Industries, Ltd. Electrostatic capacitance sensor, electrostatic capacitance sensor component, object mounting body and object mounting apparatus
US6476621B1 (en) 2001-06-29 2002-11-05 Ade Corporation Self-bootstrapping transducer interface
TWI221196B (en) * 2001-09-06 2004-09-21 Tokyo Electron Ltd Impedance measuring circuit, its method, and electrostatic capacitance measuring circuit
TWI221195B (en) * 2001-09-06 2004-09-21 Tokyo Electron Ltd Electrostatic capacitance measuring circuit, electrostatic capacitance measuring instrument, and microphone device
ATE475102T1 (de) * 2001-09-06 2010-08-15 Tokyo Electron Ltd Kapazitätsmessschaltung, kapazitätsmessinstrument und mikrofoneinrichtung
US6717418B2 (en) 2001-11-16 2004-04-06 General Electric Company Method and apparatus for measuring turbine blade tip clearance
JP2005516225A (ja) * 2002-01-30 2005-06-02 エーディーイー コーポレーション 接続状態が不良である測定対象物の高精度で非接触型の静電容量変位測定方法
JP2005156492A (ja) * 2003-11-28 2005-06-16 Agilent Technol Inc 可動機構、測定装置、静電容量式距離測定装置、および、位置決め装置
DE102005041111A1 (de) * 2005-08-30 2007-03-01 BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH Kapazitiver Annäherungsschalter und Haushaltsgerät mit einem solchen

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3048775A (en) * 1958-01-10 1962-08-07 Wayne Kerr Lab Ltd Apparatus for measuring small distances
US3387208A (en) * 1964-03-16 1968-06-04 Gen Electric Impedance compensated high precision electrical capacitance measuring bridge
US3626287A (en) * 1969-02-10 1971-12-07 C G I Corp System for responding to changes in capacitance of a sensing capacitor
US3805150A (en) * 1970-08-17 1974-04-16 Ade Corp Environment immune high precision capacitive gauging system
US3706919A (en) * 1970-08-17 1972-12-19 Ade Corp Capacitive gauge
US3694741A (en) * 1970-10-28 1972-09-26 Ade Corp Coupled inductance impedance measuring circuit with increased sensitivity and frequency independence
US3775679A (en) * 1971-12-09 1973-11-27 Ade Corp Apparatus and method for direct readout of capacitively gauged dimensions
US3775678A (en) * 1971-12-09 1973-11-27 Ade Corp Impedance comparing circuit with ground referenced readout and stray capacitance insensitivity
US3771051A (en) * 1972-06-14 1973-11-06 Ade Corp Apparatus and method for indicating surface roughness
US3815111A (en) * 1972-07-28 1974-06-04 Ade Corp Apparatus for indicating an object reversal of direction
US3812424A (en) * 1972-09-27 1974-05-21 Ade Corp Capacitive wire gauge
US3990005A (en) * 1974-09-03 1976-11-02 Ade Corporation Capacitive thickness gauging for ungrounded elements
US3986109A (en) * 1975-01-29 1976-10-12 Ade Corporation Self-calibrating dimension gauge
US4067225A (en) * 1977-03-21 1978-01-10 Mechanical Technology Incorporated Capacitance type non-contact displacement and vibration measuring device and method of maintaining calibration
US4158171A (en) * 1977-09-14 1979-06-12 Ade Corporation Wafer edge detection system
US4228392A (en) * 1977-10-11 1980-10-14 Ade Corporation Second order correction in linearized proximity probe
US4217542A (en) * 1978-02-13 1980-08-12 Ade Corporation Self inverting gauging system
US4457664A (en) * 1982-03-22 1984-07-03 Ade Corporation Wafer alignment station
US4646009A (en) * 1982-05-18 1987-02-24 Ade Corporation Contacts for conductivity-type sensors
US4692695A (en) * 1982-05-18 1987-09-08 Ade Corporation Conductivity-type sensor
DK4383A (da) * 1983-01-07 1984-07-08 Nils Aage Juul Eilersen Oscillatorkobling
US4750141A (en) * 1985-11-26 1988-06-07 Ade Corporation Method and apparatus for separating fixture-induced error from measured object characteristics and for compensating the measured object characteristic with the error, and a bow/warp station implementing same
JPH0321828Y2 (ja) * 1985-12-28 1991-05-13

Also Published As

Publication number Publication date
JPH02254302A (ja) 1990-10-15
US4918376A (en) 1990-04-17

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