DE3916754A1 - Verfahren und vorrichtung zum abgleichen einer anordnung zur beruehrungslosen messung der relativlage - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abgleichen einer Anordnung zur berührungslosen Messung der Relativlage zwi­ schen einem kapazitiven und/oder induktiven Fühler und einem metallischen Werkstück gemäß Oberbegriff von Anspruch 1 und eine Abgleichvorrichtung gemäß Oberbegriff von Anspruch 7.

Verfahren und Vorrichtungen zur berührungslosen Abstandsmes­ sung unter Verwendung eines kapazitiven oder induktiven Fühlers sind in Vielzahl bekannt und gebräuchlich. So zeigen z.B. die GB-Al-20 64 135 und die EP-Al-7034 Anordnungen mit kapazitiven Fühlern. Bei derartigen Anordnungen bildet der Fühler mit einem metallischen Werkstück eine Kapazität, die als frequenzbestimmendes Element in einen Schwingkreis ein­ bezogen ist. Der Kapazitätswert des Fühlers ändert sich in Abhängigkeit von Abstandsänderungen zwischen Fühler und Werkstück, wodurch die Schwingkreisfrequenz verstellt wird. Auswertung der Schwingkreisfrequenz erlaubt Messung des Abstands zwischen Fühler und Werkstück.

Die DE-A-27 47 539 und die EP-Al-1 30 940 zeigen Anordnungen zur Abstandsmessung mit einem induktiven Fühler. Dabei ist der Fühler als Spule ausgebildet, dessen Induktivität durch das Werkstück beeinflußt wird. Die Beeinflussung erfolgt vor allem durch Wirbelströme oder Dämpfung. Die Fühler- Induktivität ist frequenzbestimmender Teil eines Schwing­ kreises, insbesondere eines Oszillators. Induktivitätsände­ rungen bewirken Frequenzänderungen, die in bekannten Auswer­ tungsschaltungen, z.B. Bandfiltern und Diskriminatoren, z.B. in Analogsignale umgewandelt werden können. Aus der EP-Al- 1 30 940 ist dabei eine Anordnung zur berührungslosen Abstandsmessung bekannt, die sowohl mit einem induktiven als auch mit einem kapazitiven Fühler arbeitet. Die ermittelten Signale werden dabei sowohl zur Messung des Abstands zwi­ schen dem Fühler und einem Werkstück als auch zur Ermittlung der Relativlage des Fühlers zu Unregelmäßigkeiten der Werk­ stückoberfläche verwendet. Die Abstandsmessung ist dabei also eine Form der Messung der Relativlage.

Wenn aus den Kapazitäts- bzw. Induktivitätsänderungen der Fühler solcher Anordnungen effektiv Signale gewonnen werden sollen, die dem Abstand zwischen Fühler und z.B. einem Werk­ stück entsprechen, muß ersichtlicherweise die vom Fühler beeinflußte Frequenz des nachgeschalteten Schwingkreises zuverlässig dem Abstand zwischen Fühler und Werkstück ent­ sprechen. In der Praxis kann es nun aus unterschiedlichsten Gründen zu Frequenzveränderungen kommen: Dabei ist zunächst an mechanische Beschädigungen, Deformationen etc. der Fühler zu denken. Häufig sind Fühler auch an Halterungen befestigt, deren Lage sich verändern kann. Dann ist in vielen Fällen eine alterungsbedingte Drift elektronischer Bauteile zu beobachten. Z.B. kann sich der Oszillator selbst, dessen Bestandteil ein solcher Fühler sein kann, in seiner Schwing­ frequenz ändern.

Derartige Veränderungen führen dazu, daß die durch den Fühler bestimmte Schwingkreisfrequenz nicht mehr einem vor­ gegebenen Abstand entspricht. Die Abstandsmessung wird damit ungenau. Das System muß abgeglichen werden. Unter Abgleich ist dabei jeder Vorgang zu verstehen, bei dem das aus Füh­ ler, Schwingkreis und Auswertungsschaltung bestehende System so eingestellt wird, daß dem Abstand zwischen Fühler und z.B. einem metallischen Werkstück entsprechende Signale gewonnen werden können. Zum Abgleich kann also z.B. die mechanische Lage des Fühlers verändert werden, es kann der Schwingkreis bzw. der Oszillator nachgestimmt werden, dessen Bestandteil der Fühler ist, oder es kann die Auswertungs­ schaltung (z.B. ein Diskriminator) entsprechend abgeglichen werden.

Ein solcher Abgleich läßt sich z.B. durchführen, wenn der Fühler in einen bestimmten Sollabstand zu einem Werkstück gebracht wurde und dann eine dem Sollabstand entsprechende Sollfrequenz durch Abgleich herbeigeführt wird. Es hat sich gezeigt, daß ein derartiger Abgleich in der Praxis zu unge­ nauen Resultaten führen kann. So kann z.B. durch verschie­ dene Werkstücke oder metallische Gegenstücke zum Fühler oder durch unterschiedliche Dielektrizitätskonstante zwischen Fühler und Werkstück oder durch andere Störsignale ein Abgleichfehler eingeführt werden.

Aufgabe der Erfindung ist es, die Nachteile des Bekannten zu vermeiden, insbesondere also ein Verfahren und eine Vorrich­ tung zum Abgleichen einer solchen Anordnung zu schaffen, welche mit einfachen Mitteln höhere Abgleichgenauigkeit ermöglicht und auch eine Automatisierung des Abgleichvor­ gangs zuläßt.

Erfindungsgemäß wird dies vor allem gemäß Kennzeichen von Anspruch 1 und Anspruch 7 erreicht. Durch die erfindungsge­ mäße Verwendung eines Abgleichelements mit vorbekannter Dielektrizitätskonstante und gegebenenfalls auch vorbekann­ ten magnetischen Eigenschaften wird sichergestellt, daß der Abgleichvorgang nicht durch Umgebungseinflüsse verfälscht wird. Sofern eine Anordnung mit kapazitivem Fühler abgegli­ chen werden soll, ist es vor allem wesentlich, daß das Abgleichelement elektrisch isolierend ist und eine Dielek­ trizitätskonstante aufweist, die konstante Bedingungen für den Kapazitätswert des Fühlers vorgibt. Bei induktiven Füh­ lern ist es vor allem wesentlich, daß das Abgleichelement aus einem paramagnetischen oder diamagnetischen Material besteht, damit die Fühlerinduktivität möglichst wirklich­ keitsgetreu durch das Werkstück oder ein das Werkstück simu­ lierendes metallisches Gegenlager beeinflußt wird.

Um mit einem Abgleichelement sowohl einen induktiven als auch einen kapazitiven Fühler abgleichen zu können, ist es vorteilhaft, wenn das Abgleichelement sowohl elektrisch isolierend als auch paramagnetisch oder diamagnetisch ist.

ln der Praxis hat es sich besonders bewährt, wenn das Abgleichelement aus Glas oder einem keramischen Material besteht. Dadurch lassen sich sowohl brauchbare Dielektrizi­ tätskonstanten als auch gute diamagnetische Eigenschaften bei ausreichender mechanischer Festigkeit erreichen.

Wesentlich ist bei der Erfindung also, daß durch das Abgleichelement sowohl ein vorbestimmter Abstand zwischen dem Fühler und/oder einem Werkzeug, an welchen der Fühler befestigt ist, und einem Werkstück bzw. einer das Werkstück simulierende Gegenelektrode vorgegeben werden kann als auch gleichzeitig das für die Funktion des Fühlers wesentliche elektrische bzw. magnetische Verhalten bestimmt werden kann.

Zweckmäßig ist es dabei, wenn das Abgleichelement unter Vorspannung zwischen den Fühler und das Werkstück bzw. das Gegenlager eingespannt wird, um Abstandsfehler zu vermeiden. Dies läßt sich optimieren, wenn das Abgleichelement vor dem Abgleich um einen vorbestimmbaren Betrag gegen eine federnde Vorspannung verlagert wird, um spielfreies Anliegen des Abgleichelements zu gewährleisten.

Wenn dabei die Strecke der Verlagerung z.B. durch einen elektrischen Weggeber gemessen wird, läßt sich der Vorgang besonders einfach automatisieren, da das Ausgangssignal des Weggebers verwendet werden kann, um einen automatischen Abgleich-Prozeß (z.B. gesteuert durch einen Mikroprozessor) ablaufen zu lassen.

Besonders hohe Genauigkeit läßt sich dabei erreichen, wenn das Abgleichelement direkt am Fühler selbst anliegt.

Wenn der Fühler zur Abstandsmessung an einem Bearbeitungs­ werkzeug befestigt ist, dessen Relativlage zum Werkstück mittels des Fühlers bestimmt werden soll, dann ist es in vielen Fällen vorteilhaft, wenn das Abgleichelement durch das Bearbeitungswerkzeug selbst eingespannt wird und an diesem anliegt. Auf diese Weise werden mechanische Relativ­ lageveränderungen zwischen Fühler und Bearbeitungswerkzeug selbst ebenfalls durch den Abgleich miterfaßt.

Die erfindungsgemäße Abgleichvorrichtung ist besonders zuverlässig und einfach zu handhaben, wenn das Abgleichele­ ment auf einer metallischen Gegenelektrode zur Simulation eines Werkzeugs befestigt ist und mit diesem eine Einheit bildet. Zum Abgleich muß in diesem Fall lediglich die aus Abgleichelement und Gegenelektrode bestehende Abgleichvor­ richtung entsprechend relativ zum Fühler positioniert wer­ den, um den Abgleichvorgang durchführen zu können. Die Relativlage von Abgleichelement und Fühler beim Abgleichvor­ gang läßt sich besonders dann zuverlässig einhalten, wenn das Abgleichelement mittels einer Halterung federnd verla­ gerbar befestigt ist.

Bearbeitungswerkzeuge, die durch kapazitive oder induktive Fühler geregelt werden, sind meist in mehreren Ebenen ver­ fahrbar. Dies trifft z.B. für Koordinatenschneidmaschinen, Brennschneidmaschinen oder Laserschneidanlagen zu. Bei sol­ chen Anlagen ist es wünschenswert, daß nicht nur konstante Abgleichbedingungen bezüglich des Soll-Abstands des Fühlers zu einer Gegenelektrode vorgegeben werden, sondern daß auch sichergestellt wird, daß der Abgleich in einer vorbestimm­ ten Nullposition in einer zweiten Ebene, z.B. parallel zum Werkstück stattfindet. Dies läßt sich erfindungsgemäß besonders einfach dadurch erreichen, daß an der Abgleich­ einrichtung eine zu der dem Werkstück zugewandten Fühler- Oberfläche bzw. zur Werkzeug-Oberfläche komplementäre Zen­ triereinrichtung vorgesehen ist. Wenn im Verlauf des Abgleichs das Abgleichelement z.B. federnd am Fühler oder am Werkzeug anliegt, kann durch die Zentriereinrichtung gleich­ zeitig ein Seitenversatz von Werkzeug und/oder Elektrode ermittelt werden. Dies ist besonders einfach realisierbar, wenn die Zentriereinrichtung einen in eine Vertiefung des Fühlers bzw. der Werkzeugoberfläche eindringenden Stift aufweist oder wenn die Zentriervorrichtung eine Öffnung zur Aufnahme eines am Fühler bzw. am Werkzeug vorgesehenen Zen­ trierstifts beinhaltet.

Die Erfindung ist im folgenden in Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 die schematische Darstellung eines Laser-Schneid­ kopfs mit einer Anordnung zur berührungslosen Messung der Relativlage zu einem Werkstück,

Fig. 2 die Seitenansicht des Laser-Schneidkopfs gemäß Fig. 1 in Verbindung mit einer Abgleichvorrich­ tung,

Fig. 3 ein abgewandeltes Ausführungsbeispiel der Abgleichvorrichtung gemäß Fig. 2,

Fig. 4 eine erfindungsgemäße Abgleichvorrichtung im Zusammenwirken mit einer kapazitiven und einer induktiven Fühleranordnung,

Fig. 5 und 6 ein abgewandeltes Ausführungsbeispiel einer Abgleichvorrichtung gemäß Fig. 3, und

Fig. 7 eine Draufsicht auf das Abgleichelement der Abgleichvorrichtung gemäß Fig. 5 und 6.

Gemäß Fig. 1 weist ein schematisch angedeuteter Laser- Schneidkopf 1 ein keramisches Abschlußteil 2 auf, an wel­ chem eine scheibenförmige kapazitive Fühlerelektrode 3 befe­ stigt ist. Das Abschlußteil 2 und die Fühlerelektrode 3 weisen in bekannter Weise in der Mitte eine Öffnung auf, durch die ein Laserstrahl 4 auf eine Metallplatte 5 gelenkt wird. Die Metallplatte 5 ist an Masse gelegt und bildet zusammen mit der Elektrode 3 eine Kapazität C, deren Kapazi­ tätswert vom Abstand zwischen der Elektrode 3 und der Metallplatte 5 abhängt. Die Elektrode 3 bzw. die durch die Elektrode 3 und die Metallplatte 5 gebildete Kapazität C bildet zusammen mit einer Spule 6 einen Serienschwingkreis, welcher an einem HF-Oszillator 7 liegt, dessen Frequenz er beeinflußt. Durch einen Abgleichwiderstand 8 ist schema­ tisch dargestellt, daß die Frequenz des HF-Oszillators 7 abgeglichen, d.h. justiert werden kann. Der Ausgang des Oszillators 7 ist über ein Koaxialkabel 9 mit einem Frequenz-Analogwandler 10 verbunden, der in bekannter Weise als Diskriminatorschaltung ausgebildet ist. Der Frequenz- Analogwandler 10 weist, wie schematisch durch einen Abgleichwiderstand 11 angedeutet, ebenfalls die Möglichkeit zum Abstimmen auf. Der Ausgang des Frequenz-Analogwandlers 10 ist über eine Verstärkerschaltung 12 an einen Motor 13 gelegt. Der Motor 13 ist in bekannter Weise als Höhenantrieb für den Laser-Schneidkopf 1 eingesetzt. Die Gesamtanordnung ist dabei so ausgelegt, daß bei einem vorbestimmten und durch die Abgleichwiderstände 8 bzw. 11 einstellbaren Abstand zwischen Elektrode 3 und Metallplatte 5 am Ausgang des Frequenz-Analogwandlers kein Signal anliegt, so daß der Laser-Schneidkopf in seiner Position verweilt. Jede Ände­ rung des Abstands zwischen Metallplatte 5 und Elektrode 3 führt zu einer Veränderung der abstandsabhängigen Kapazität C, damit zu einer Veränderung der Frequenz des Oszillators 7 und entsprechenden, proportionalen Signalen am Ausgang des Frequenz-Analogwandlers 10. Diese Ausgangssignale führen, wie bekannt, zu einer entsprechenden positiven oder negati­ ven Ansteuerung von Motor 13, so daß der Sollabstand zwi­ schen Elektrode 3 und der Metallplatte 5 wieder erreicht wird.

Fig. 2 zeigt schematisch, wie der Laser-Schneidkopf gemäß Fig. 1 zum Abgleich auf eine Abgleichvorrichtung 14 gefah­ ren wird. Die Abgleichvorrichtung 14 besteht aus einem Abgleichelement, das als Keramikscheibe 15 ausgebildet ist. Die Keramikscheibe 15 ist auf einem als Metallplatte 16 ausgebildeten Gegenlager 16 befestigt (verklebt). Die Metallplatte 16 liegt - wie schematisch dargestellt - auf Lagern 17, so daß der Laser-Schneidkopf unter Vorspannung gegen die Abgleichvorrichtung 14 gedrückt werden kann. Die Metallplatte 16 ist analog der zu bearbeitenden Metallplatte 5 gemäß Fig. 1 geerdet, so daß sich zwischen der Metall­ platte 16 und der Elektrode 3 aufgrund der dazwischenliegen­ den Keramikscheibe 15 eine feste Kapazität C bildet. Die Abgleichvorrichtung 14 schafft damit absolut konstante Abgleichbedingungen, da sowohl Größe als auch Dielektrizi­ tätskonstante der Keramikscheibe 15 fest vorgegeben und bei jedem Abgleichvorgang reproduzierbar gleich sind. In der dargestellten Abgleichposition läßt sich ein Systemabgleich z.B. dadurch durchführen, daß mittels des Abgleichwider­ stands 8 (Fig. 1) die Frequenz des Oszillators 7 auf eine Sollfrequenz abgestimmt wird. Dies läßt sich manuell oder auch automatisch durchführen.

Fig. 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel, welches besonders einfach den automatisierten Abgleich ermöglicht. Dabei ist die Abgleichvorrichtung 14 ebenfalls mit einer Keramikschei­ be 15 versehen, die auf einer Metallplatte 16 befestigt ist. Die Metallplatte 16 ist ihrerseits auf einer Achse 18 ange­ ordnet, die durch eine schematisch dargestellte Halterung 19 gehalten wird. An der Achse 18 ist ein Widerlager 20 vorge­ sehen, welches gegen eine Feder 21 drückt, sobald der Laser- Schneidkopf 1 nach unten gefahren wird. Die Achse 18 ist in einer bekannte induktiven Wegmeßanordnung 22 angeordnet.

Sobald deshalb zur Durchführung des Abgleichs der Laser- Schneidkopf nach unten gefahren wird und gegen die Keramik­ scheibe 15 drückt, wird diese zusammen mit der Metallplatte 16 und der Achse 18 gegen die Kraft der Feder 21 nach unten gedrückt. Diese Verlagerung der Achse 18 wird durch die Wegmeßanordnung 22 gemessen. Sobald am schematisch angedeu­ teten Ausgang 23 der Wegmeßanordnung 22 angezeigt wird, daß die Achse 18 um einen vorbestimmbaren Betrag nach unten verlagert worden ist, kann der Abgleichvorgang automatisch ausgelöst werden. Jedenfalls ist dann sichergestellt, daß die Keramikscheibe 15 unter Vorspannung fest an der Elektro­ de 3 anliegt und damit konstante Abgleichbedingungen vorlie­ gen.

Fig. 4 zeigt ein abgewandeltes Ausführungsbeispiel, bei welchem an einer Brennschneiddüse 1 a sowohl eine kapazitive Elektrode 3 als auch eine induktive Elektrode 3 a vorgesehen ist. Die kapazitive Elektrode 3 kann dabei in bekannter Weise dazu dienen, die Kante von Werkstücken zu erfassen, wahrend die induktive Elektrode 3 a der Abstandsmessung dient. Ersichtlicherweise ist es wünschenswert, beide Elek­ troden entsprechend abzugleichen. Zur Durchführung des Abgleichvorgangs wird analog dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2 die Brennschneiddüse 1 a unter Vorspannung gegen die Abgleichvorrichtung 14 gedrückt. In dieser Lage gewährlei­ stet die Abgleichvorrichtung sowohl für den induktiven Füh­ ler 3 a als auch für die kapazitive Elektrode 3 konstante Abgleichbedingungen. Dabei wird der Sollabstand zwischen Brennschneiddüse 1 a und der als Gegenlager dienenden Metall­ platte 16 durch die Dimension der Keramikscheibe 15 vorgege­ ben. Die Metallplatte 16 bewirkt dabei eine entsprechende Dämpfung des induktiven Fühlers 3 a im Sollabstand. Gleich­ zeitig bildet die Metallplatte 16 zusammen mit der Elektrode 3 eine Kapazität. Die Auswertung der Kapazitäts- bzw. Induk­ tivitätswerte kann analg dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 oder auf andere bekannte Weise erfolgen.

Fig. 5 bis 7 zeigen ein Ausführungsbeispiel, das der Abgleichvorrichtung gemäß Fig. 3 entspricht. Gleiche Teile sind dabei mit gleichen Bezugszeichen versehen. Abweichend vom Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 ist auf der Keramik­ scheibe 15 ein Zentrierstift 15 a vorgesehen.

Wie durch die Pfeile in Fig. 5 schematisch angedeutet, ist der Laser-Schneidkopf sowohl vertikal als auch horizontal, d.h. in einer parallel zur Keramikscheibe 15 verlaufenden Ebene verlagerbar. Zur Durchführung des Abgleichs wird dabei die Halterung 19 so unter dem Laser-Schneidkopf 1 plaziert, daß die Spitze des Zentrierstifts 15 a den Nullpunkt des horizontalen Auslenkwegs bestimmt. In Fig. 5 ist dabei dargestellt, daß der Laser-Schneidkopf 1 aufgrund einer fehlerhaften Justierung sich nicht in der Null-Lage befin­ det. Dementsprechend kann der Zentrierstift 15 a nicht in die Mittenöffnung der Elektrode 3 eindringen. Dies bedeutet, daß beim Absenken des Laser-Schneidkopfs 1 um einen bestimmten Betrag die Keramikscheibe 15 und damit die Achse 18 tiefer in die Wegmeßanordnung 22 verlagert wird, als wenn der Zentrierstift 15 a in die Öffnung in der Elektrode 3 eindringen kann (Fig. 6). Die Wegmeßanordnung 22 kann also dazu verwendet werden, eine Fehlzentrierung des Laser- Schneidkopfs anzuzeigen. Auch können die unterschiedlichen Ausgangssignale an der Wegmeßanordnung 22 dazu verwendet werden, z.B. nur bei Betätigung der Zentrierung den Abgleichvorgang ablaufen zu lassen.

Fig. 7 zeigt die Draufsicht auf die Keramikscheibe 15, aus welcher die zentrische Anordnung des Zentrierstifts 15 a ersichtlich ist.

Claims (13)

1. Verfahren zum Abgleichen einer Anordnung zur berührungs­ losen Messung der Relativlage zwischen einem kapazitiven und/oder induktiven Fühler (3, 3 a) und einem metalli­ schen Werkstück (5), wobei der Fühler Teil eines Schwingkreises (3, 6) ist, dessen Frequenz er beein­ flußt und wobei der Kapazitätswert bzw. der Induktivi­ tätswert des Fühlers von seiner Relativlage zum Werk­ stück abhängt, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen das Werkstück (5) oder ein das Werkstück simulierendes metallisches Gegenlager (16) ein Abgleichelement (15) aus einem elektrisch isolierenden und/oder aus einem paramagnetischen oder diamagnetischen Material einge­ bracht wird, und daß sodann der Abgleich durchgeführt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Abgleichelement (15) unter Vorspannung zwischen den Fühler (3) und das Werkstück (5) bzw. das Gegenlager (16) eingespannt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Abgleichelement (15) vor dem Abgleich um einen vor­ bestimmbaren Betrag gegen eine federnde Vorspannung verlagert wird, um spielfreies Anliegen des Abgleichele­ ments zu gewährleisten.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Verlagerungsstrecke des Abgleichelements (15) gemes­ sen wird.

5. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Abgleichelement (15) direkt am Fühler (3) selbst anliegt.

6. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche zum Abgleichen einer Anordnung zur berührungslosen Abstands­ messung, bei welcher der Fühler (3, 3 a) an einem Bear­ beitungswerkzeug (1, 1 a) befestigt ist, dessen Relativ­ lage zum Werkstück mittels des Fühlers bestimmt werden soll, dadurch gekennzeichnet, daß das Abgleichelement (15) durch das Bearbeitungswerkzeug (1 a) eingespannt wird und an diesem anliegt.

7. Abgleichvorrichtung zum Abgleichen einer Anordnung zur berührungslosen Abstandsmessung zwischen einem kapaziti­ ven und/oder einem induktiven Fühler (3, 3 a), der Teil eines Schwingkreises (3, 6) ist, dessen Frequenz er beeinflußt und wobei der Kapazitätswert bzw. der Induk­ tivitätswert des Fühlers (3, 3 a) von seiner Relativlage zum Werkstück (5) abhängt, insbesondere zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorangegangenen Ansprüche, gekennzeichnet durch eine metallische Gegenelektrode (16) zur Simulation eines Werkstücks und ein auf dieser befestigtes Abgleichelement (15) aus einem elektrisch isolierenden und/oder einem paramagnetischen oder dia­ magnetischen Material.

8. Abgleichvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Abgleichelement (15) mittels einer Halterung (19) federnd gelagert ist.

9. Abgleichvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß ein Wegmeß-System (22) zur Messung der Verlagerungsstrecke des Abgleichelements (15) relativ zur Halterung (19) vorgesehen ist.

10. Abgleichvorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 9 zum Abgleichen einer Anordnung zur berührungslosen Abstands­ messung, bei welcher der Fühler (3, 3 a) an einem Bear­ beitungswerkzeug (1, 1 a) befestigt ist, das durch Antriebseinrichtungen (13) sowohl in einer senkrecht zu einem Werkstück verlaufenden Ebene als auch in wenig­ stens einer parallel zum Werkstück verlaufenden Ebene verlagerbar ist, und wobei die Abgleichvorrichtung dazu bestimmt ist, den Abgleich in einer vorbestimmten Rela­ tivlage des Werkzeugs (1, 1 a) vorzunehmen, dadurch gekennzeichnet, daß am Abgleichelement (15) eine zu der dem Werkstück (5) zugewandten Fühleroberfläche bzw. zur Werkzeugoberfläche komplementäre Zentriereinrichtung (15 a) vorgesehen ist.

11. Abgleichvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Zentriereinrichtung wenigstens einen in eine Vertiefung des Fühlers (3) bzw. des Werkzeugs (1) eindringenden Zentrierstift (15 a) aufweist.

12. Abgleichvorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Abgleichelement (15) ein Keramikkörper ist.

13. Abgleichvorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Abgleichelement (15) ein Glaskörper ist.