JPS62194220A - 回折格子型光結合装置 - Google Patents
回折格子型光結合装置Info
- Publication number
- JPS62194220A JPS62194220A JP3700186A JP3700186A JPS62194220A JP S62194220 A JPS62194220 A JP S62194220A JP 3700186 A JP3700186 A JP 3700186A JP 3700186 A JP3700186 A JP 3700186A JP S62194220 A JPS62194220 A JP S62194220A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffraction grating
- optical waveguide
- waveguide
- diffraction
- coupling device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 29
- 230000008878 coupling Effects 0.000 title claims abstract description 9
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000000382 optic material Substances 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 229910012463 LiTaO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は回折格子型光結合装置に関する。
従来、回折格子型光結合装置においては、光導波路上に
設けられた回折格子面に一定の角度で光ビームを入射さ
せ、所定の導波モードを光導波路に誘起させていた。
設けられた回折格子面に一定の角度で光ビームを入射さ
せ、所定の導波モードを光導波路に誘起させていた。
上述した従来の回折格子型光結合装置は原理的に受動装
置であり、導波モードの誘起を断続させる場合には回折
格子に入射する光を機械的に断続させるか、あるいは入
射角度を変化させて誘起を断続させるようにしていた。
置であり、導波モードの誘起を断続させる場合には回折
格子に入射する光を機械的に断続させるか、あるいは入
射角度を変化させて誘起を断続させるようにしていた。
このため導波モードの断続が高速にできないという問題
点があった。
点があった。
本発明の目的は、導波モードの断続が高速にできる回折
格子型光結合装置を提供することにある。
格子型光結合装置を提供することにある。
本発明の回折格子型光結合装置は、半導体基板上に形成
された透明薄膜からなる光導波路と、この光導波路上に
形成された電気光学材料からなる回折格子とこの回折格
子上に形成された透明電極とを含んで構成される。
された透明薄膜からなる光導波路と、この光導波路上に
形成された電気光学材料からなる回折格子とこの回折格
子上に形成された透明電極とを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図（ａ）、（ｂ）は本発明の一実施例の平面図及び
Ａ−Ａ’線断面図である。
Ａ−Ａ’線断面図である。
第１図（ａ）、（ｂ）において、シリコン基板１上には
ＬｉＴａＯ３等の透明薄膜からなる光導波路２が形成さ
れており、この光導波路２上にはニオブ酸リチウム（Ｌ
ｉＮｂ０３）等のポッケルス定数の大きな電気光学材料
からなる回折格子３が形成されており、この回折格子３
の溝には光導波路２と同程度の回折率を有する透明部材
４が設けられている。そしてこの回折格子３及び透明部
材４上にはＩｎとＳｎの酸化物からなる透明電極５が形
成されている。
ＬｉＴａＯ３等の透明薄膜からなる光導波路２が形成さ
れており、この光導波路２上にはニオブ酸リチウム（Ｌ
ｉＮｂ０３）等のポッケルス定数の大きな電気光学材料
からなる回折格子３が形成されており、この回折格子３
の溝には光導波路２と同程度の回折率を有する透明部材
４が設けられている。そしてこの回折格子３及び透明部
材４上にはＩｎとＳｎの酸化物からなる透明電極５が形
成されている。
このように構成された本実施例において、適切な入射角
で光ビーム１０を入射させると光導波路２内へ導波モー
ドを誘起することができる。
で光ビーム１０を入射させると光導波路２内へ導波モー
ドを誘起することができる。
そしてこの状態からシリコン基板１と透明電極５間に電
圧を印加すると、回折格子３を構成する電気光学材料の
屈折率が線形に変化する。これにより、回折格子間にお
ける光ビーム１０の回折が変化するので光導波路２内へ
導波モードを誘起できなくなる。従って、透明電極５と
シリコン基板１間に印加する電圧を断続すれば光導波路
へ誘起される導波モードを任意に断続できる。電気光学
材料の屈折率変化は電場で制御できるので導波モードの
高速な断続が可能となる。
圧を印加すると、回折格子３を構成する電気光学材料の
屈折率が線形に変化する。これにより、回折格子間にお
ける光ビーム１０の回折が変化するので光導波路２内へ
導波モードを誘起できなくなる。従って、透明電極５と
シリコン基板１間に印加する電圧を断続すれば光導波路
へ誘起される導波モードを任意に断続できる。電気光学
材料の屈折率変化は電場で制御できるので導波モードの
高速な断続が可能となる。
尚、上記実施例では回折格子３の溝に透明部材４を設は
回折格子面を平坦化し、その上に透明電極５を形成した
場合について説明したが、透明部材は無くてもよい。
回折格子面を平坦化し、その上に透明電極５を形成した
場合について説明したが、透明部材は無くてもよい。
以上説明したように本発明は、光導波路上に電気光学材
料からなる回折格子を設けることにより導波モードの断
続が高速にできる回折格子型光結合装置が得られる効果
がある。
料からなる回折格子を設けることにより導波モードの断
続が高速にできる回折格子型光結合装置が得られる効果
がある。
第１図（ａ）、（ｂ）は本発明の一実施例の平面図及び
Ａ−Ａ’線断面図である。 １・・・シリコン基板、２・・・光導波路、３・・・回
折格子、４・・・透明部材、５・・・透明電極、１０・
・・光ビーム。
Ａ−Ａ’線断面図である。 １・・・シリコン基板、２・・・光導波路、３・・・回
折格子、４・・・透明部材、５・・・透明電極、１０・
・・光ビーム。
Claims (1)
- 半導体基板上に形成された透明薄膜からなる光導波路と
、該光導波路上に形成された電気光学材料からなる回折
格子と該回折格子上に形成された透明電極とを含む事を
特徴とする回折格子型光結合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3700186A JPS62194220A (ja) | 1986-02-20 | 1986-02-20 | 回折格子型光結合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3700186A JPS62194220A (ja) | 1986-02-20 | 1986-02-20 | 回折格子型光結合装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62194220A true JPS62194220A (ja) | 1987-08-26 |
Family
ID=12485476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3700186A Pending JPS62194220A (ja) | 1986-02-20 | 1986-02-20 | 回折格子型光結合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62194220A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6865310B2 (en) | 2002-08-09 | 2005-03-08 | Fujitsu Limited | Multi-layer thin film optical waveguide switch |
-
1986
- 1986-02-20 JP JP3700186A patent/JPS62194220A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6865310B2 (en) | 2002-08-09 | 2005-03-08 | Fujitsu Limited | Multi-layer thin film optical waveguide switch |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4054362A (en) | Device for modulating light | |
| EP0165555B1 (en) | Method for modulating a carrier wave | |
| JPS62194220A (ja) | 回折格子型光結合装置 | |
| JPS5987B2 (ja) | 電気光学的スイツチおよび変調器 | |
| JPS6147929A (ja) | 光電圧センサ | |
| JPS62194219A (ja) | プログラマブル光ｉｃ | |
| JPS62187310A (ja) | 回折格子型光結合装置の製造方法 | |
| JPS61238018A (ja) | 電界制御型光導波路レンズ | |
| JPS6167838A (ja) | 導波路型光スイツチ | |
| JPH02226102A (ja) | 光学レンズ | |
| JPH063507B2 (ja) | 導波路型光スイツチ | |
| JPH019933Y2 (ja) | ||
| JPS6279418A (ja) | 光シヤツタアレイおよびその製造方法 | |
| JPH0827447B2 (ja) | 光導波路デバイス | |
| JPS61231522A (ja) | 光制御型光スイツチ装置 | |
| JPS63221306A (ja) | 導波型光制御デバイス | |
| JPH0361932B2 (ja) | ||
| JPS6038689B2 (ja) | 導波形電気光学光変調器の製造方法 | |
| JPH0222621A (ja) | 光学素子およびそれを用いた光部品 | |
| JPH0352612B2 (ja) | ||
| JPS63124022A (ja) | 光制御デバイス | |
| JPS63200119A (ja) | 光スイツチ | |
| JPH01128037A (ja) | 光スイッチ・変調器 | |
| JPS57161830A (en) | Optical changeover switch | |
| JPS56123519A (en) | Optical scanner |