JPS62190449A - 部品実装基板検査装置 - Google Patents

部品実装基板検査装置

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JPS62190449A
JPS62190449A JP61032372A JP3237286A JPS62190449A JP S62190449 A JPS62190449 A JP S62190449A JP 61032372 A JP61032372 A JP 61032372A JP 3237286 A JP3237286 A JP 3237286A JP S62190449 A JPS62190449 A JP S62190449A
Authority
JP
Japan
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color
board
printed circuit
circuit board
image
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Pending
Application number
JP61032372A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeki Kobayashi
茂樹 小林
Toshio Yagawa
矢川 利夫
Shigeru Tanimura
茂 谷村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Tateisi Electronics Co
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、部品が実装された被検査基板をIi像して得
られる像を処理して前記基板上の部品の有無1位置ずれ
等を検査する部品実装基板検査装置に関する。
(従来の技術) プリント基板に抵抗器や半導体素子等の各種チップ部品
をマウントするときにおいて自動マウント装置を用いた
場合、マウント後においてマウントデータどうりに部品
がマウントされていないことがある。
このため、このような自動マウント装置等を用いる場合
には、マウント後にプリント基板をチェックして、この
プリント基板上の正規の位置に正当なチップ部品が正し
い姿勢(位置、方向)でマウントされているかどうか、
また脱落がないかどうかを検査する必要がある。
しかしこのような検査を従来と同じように人手による目
視検査で行なっていたのでは、検査ミスの発生を完全に
無くすことができず、また検査速度を高めることができ
ないという問題がある。
そこで、近年、この種の検査を自動的に行なうことがで
きるプリント基板の自動検査装置が各メーカから種々提
案されている。
第7図は、このような自動検査装置の一例を示すブロッ
ク図である。
この図に示す自動検査装置は、部品1が実装された被検
査プリント基板2−2亡検査基準となる基準プリント基
板2−1を撮像するカラーTVカメラ3と、このカラー
TVカメラ3によって1lllIlされた前記基準プリ
ント基板2−1のカラー画像(基準カラー画像)を記憶
する記憶部4と、この記憶部4に記憶されている基準カ
ラー画像と前記カラーTVカメラ3から供給される前記
被検査プリント基板2−2のカラー画像(被検査カラー
画像)とを比較して前記被検査プリント塁板2−2上に
全ての部品1が有るかどうか、またこれらの部品1が位
置ずれ等を起こしているかどうかを判定する判定回路5
と、この判定回路5の判定結果を表示する表示器6とを
備えて構成されている。
(発明が解決しようとする問題点) しかしながらこのような従来の自動検査装置においては
、カラーTVカメラを用いた分だけ装置全体のコストが
高くなってしまうという問題があった。
また、この種のカラーTVカメラは光画像を電気画像に
変換する速度を速くするのが難しいため、装置全体の処
1!!装置を速くすることが難しいという問題があった
本発明は上記の事情に篤み、高価なカラーTVカメラを
用いることなく、基板のカラー画像を得ることができ、
これによって装置自体の低コスト化、高速化、高感度化
を達成することができる部品実装基板検査装置を提供す
ることを目的としている。
(問題点を解決するための手段) 上記問題点を解決するため本発明による部品実装基板検
査装置においては、部品が実装された基板を撮像して得
られる複数色のカラー画像信号間に比較演算を施して前
記基板上の部品を検査する部品実装基板検査装置であっ
て、白色ビーム光をスキャンさせて前記基板を照明する
照明部と、相異なる色画像をi徴する複数台の光電変換
器とを備えたことを特徴としている。
(実施例) まず、この発明の詳細な説明に先立って、この実施例で
用いられている部品の検査方法について説明する。
まず、一般的に色彩といわれているものは色相と、明度
と、彩度とに区分される。
そして、従来の検査方法のように被検査プリント基板を
カラーTVカメラによって撮影し、そのとき得られるR
原色信号、G原色信号1巳原色信号のうちの1つ、例え
ばR原色信号のみを用いるものでは、背景素基板の色が
、例えば赤色領域のうちの1つの値を取る赤色であって
も、部品の色がこの赤色の明度と同じ明度の無彩色であ
れば、第5図に示すマンセル色票系から明らかなように
、これらが同じ明度になるので、例え部品の色が灰色(
自から黒までの明度のみの無彩色の1つ)をしていても
、カラーTVカメラが出力するR原色信号中の前記背慎
素基板部分のレベルと前記部品部分のレベルとが同一に
なり、これらを区別することができない。
そこで、この実施例では、次に述べるようにして基板上
にマウントされた部品の色と素基板の色とが似ていても
、この部品の有無1位置ずれ等を検出し得るようにして
いる。
まず、第6図に示すようにXYZ表色系をX−Y表示し
た色度図において、X−Y−にという関数を表わせば、
これはY軸(G原色信号に対応する軸)の値にの点を通
り、かつX軸(R原色信号に対応する軸)と45度の角
度を持って、スペクトル軌跡13と交差する直線になる
したがって、カラーTVカメラが出力するR原色信号、
G原色信号、3原色信号のうち、R11(色信号からG
原色信号を減算した信号、つまりR−Gの減算ビデオ信
号を求めて、これを定数Kによって2値化すれば、スペ
クトル軌跡13のうち前記X−Y=にという関数より上
にある部分と、下にある部分とをレベルKを中心として
2値化することができる。
すなわちこの実施例においては、刺激純度が適宜な値と
なる緑色に塗装された基板を用い、部品が緑色でなけれ
ば、これが無彩色であっても、R原色信号からG原色信
号を減算したR−Gの減紳ビデオ信号またはG原色信号
からR原色信号を減算したG−Rの減算ビデオ信号を用
いることによリ、部品画像を抽出することができること
を利用している。
同様な理由により、黄色系に塗装された基板に対してG
−BまたはB−Gなる減算ビデオ信号を求めれば、黄色
系以外のいかなる色の部品についても選択抽出が可能で
あることが確認されている。
なお、これらの演算式以外の演算式によっても色彩の選
択識別が可能である。
そしてこの実施例においては、白色ビーム光によって基
板をスポット照明しながら、この白色ビーム光をX−Y
走査させる照明部と、各々のレンズ前面に相異なる色の
光学フィルタが設けられた光電変換器とを用いることに
よって、カラーTVカメラを用いることなく、基板のカ
ラー画像を得るようにしている。
次に、上述した部品検出方法を用いたこの発明による部
品実装基板検査装置について具体的に説明する。
第1図は、この発明による部品実装基板検査装置の一実
施例を示すブロック図である。
この図に示す部品実装基板検査装置は、照明部10から
出射される1本の白色ビーム光Pによって基準プリント
基板25−1 (または被検査プリント基板25−2)
をX−Y走査させながら0色(グリーン邑)の光を検出
する0色検出器7と、8色(ブルー色)の光を検出する
8色検出器8とによって黄色系に塗装された素基板27
を有する基準プリント基板25−1、被検査プリント基
板25−2をIll’&し、これによって得られるG原
色信号と、B原色信号とからG−8の減算ビデオ信号(
またはB−Gの減算ビデオ信号)を求めて、黄色系以外
のいかなる色の部品について部品画像を抽出できるよう
にしたものであり、照明部10と、X−Yテーブル部1
5と、搬像部16と、処理部17と、判定結果出力部1
8と、情報入力部19と、テーブルコントローラ20と
、amコントローラ21とを備えて構成されている。
照明部10は白色光を発生する光源と、この白色光を1
本のビーム光(白色ビーム光P)にして、これをX−Y
走査させる光学系とを備えており、前記撮像コントロー
ラ21から供給される制御信号に基づいて前記光源と光
学系とを制御して、白色ビーム光Pを出射しながら、こ
れをX−Y走査させて前記テーブル部15上にある基準
プリント基板25−1 (または被検査プリント基板2
5−2)をスポット照明する。
X−Yテーブル部15は、テーブルコントローラ20に
よって制御される2つのパルスモータ22.23と、こ
れらの各パルスモータ22.23によってX軸方向およ
びY軸方向に駆動されるテーブル24と、このテーブル
24上に載せられた基準プリント基板25−1や被検査
プリント基板25−2を固定するチャック機構26とを
備えて構成されるものであり、前記テーブル24上に載
せられた基準プリント基板25−1 (また被検査プリ
ント基板25−2)は前記チャック機構26によって固
定された後、前記各パルスモータ22.23によってX
軸方向およびY軸方向の位置が決められ、l1il像部
16によって撮像される。
この場合、基準プリント基板25−1は、第2図に示す
如く黄色に彩色された素基板27を備えており、この素
基板27上には黄色以外の色や無彩色の色をした部品2
8−1〜28−〇が正しい位置で、かつ正しい姿勢で載
せらている。
また、前記被検査プリント基板25−2は、前記基準プ
リント基板25−1を構成する素基板27と同じく彩色
された素基板27上に前記基準プリント基板25−1上
の部品28−1〜28−nと同じくなるように、部品2
8−1〜28−nが配置された量産基板であり、検査時
において前記基準プリント基板25−1と比較され、そ
の良否が判別される。
また111&部16は、前記X−Yテーブル部15の上
方に配置され、前記搬像コントローラ21が出力する制
御信号によって感度等が制御される0色検出57および
8色検出器8と、前記基準プリント基板25−1 (ま
たは被検査プリント基板25−2)からの光を2つに分
けて前記[1117。
8に各々供給する光分配器9とを備えて構成されている
この場合、光分配器9は前記基準プリント基板25−1
 (または被検査プリンl−基板25−2)からの光を
半分だけ透過させて前記0色検出器7へ供給するハーフ
ミラ−と、このハーフミラ−によって反射された光を前
記8色検出器8へ供給するミラーとを備えている。
また、0色検出器7は光電増幅器を有するホトトランジ
スタ42と、このホトトランジスタ42の光入射口側に
設けられる0色フィルタ44とを備えており、前記光分
配器9を介して供給される基準プリント基板25−1 
(または被検査プリント基板25−2)からの光からG
eの光を抽出して、これを光/電変換し、これによって
得られた信号をG原色信号として前記処理部17へ供給
する。
また、前記8色検出器8は前記ホトトランジスタ42と
同様に構成されるホトトランジスタ43と、このホトト
ランジスタ43の光入射口側に設けられる8色フィルタ
45とを備えており、前記光分配器9を介して供給され
る基準プリント基板25−1 (または被検査プリント
基板25−2)からの光から8色の光を抽出して得られ
た信号をB原色信号として前記処理部17へ供給する。
この場合、この基準プリント基板25−1 (または被
検査プリント基板25−2)は前記照明部10が出力す
る白色ビーム光Pによってスボッi・照明されながら、
この白色ビーム光Pによってその部品搭載面がスキャン
されるので、前記撮像部16から出力されるG原色信号
、B原色信号を各々処理すれば、前記基準プリント基板
25−1(または被検査プリント基板25−2)のG原
色カラー画像と、3原色カラー画像とを各々再生するこ
とができる。
さらにこの場合、前記白色ビーム光Pは角度θだけ傾い
ているので、基準プリント基板25−1(または被検査
プリント基板25−2)の立体的なG原色カラー画像と
、B原色カラー画像とを得ることができる。
また処理部17は、ティーチングモードのときに、前記
撮像部16から供給されるG原色信号。
8原色信号(IyI記基準基準プリント基板25のカラ
ー画像)からG−8の減算ビデオ信号を作成し、このG
−8の減算ビデオ信号に基づいて部品28−1〜28−
nの特徴パラメータ(基準パラメータ)を抽出して記憶
し、検査モードのときには、前記Ia像部16から供給
されるG原色信号9臼原色信号(前記被検査プリント基
板25−2のカラー画像)からG−3の減算ビデオ信号
を作成し、このG−Bの減算ビデオ信号に基づいて部品
28−1〜28−〇の特徴パラメータ(被検査パラメー
タ)を抽出した後、この被検査パラメータと前記基準パ
ラメータとを比較して、この比較結果から前記被検査プ
リント基板25−2の良否を判定するものであり、画像
入力部32と、画像処理部33と、メモリ34と、判定
部35と、制御部36とを備えて構成されている。
画像入力部32は、前記囮像部16から供給されたG原
色信号、B原色信号をA/D変換したり、各種の補正処
理(例えば、シェーディング補正など)をしたりして、
航記基準プリント基板25−1(または、被検査プリン
ト基板25−2)のGB原色カラー画像データを作成す
るものであり、ここで得られた前記基準プリント基板2
5−1(または、被検査プリント基板25−2)に関す
るG3原色カラー画像データは前記制御部36などへ供
給される。
また、画像処理部33は前記制御部36を介して供給さ
れるG3原色カラー画像データからG−Bの減算ビデオ
信号を作成するとともに、このG−Bの減算ビデオ信号
をO〜256レベルに正規化して、部品28−1〜28
−nの色と、素基板27の色とを識別し、これら部品2
8−1〜28−nの特徴パラメータ(基準パラメータま
たは被検査パラメータ)を抽出するものであり、ここで
得られた前記基準プリント基板25−1 (または、被
検査プリント基板25−2)に関する特徴パラメータは
画像制御部36などへ供給される。
この場合、特徴パラメータとしては、前記各部品28−
1〜28−n毎に設けられるウィンド(データの取込み
窓)によって前記G−Bの減算ビデオ信号を切り出して
得られた部品画像を処理手順どうりに処理して得られる
各画素の総和算値、この総和算値を前記画素の数で割っ
た平均値などのように、部品の有無1位置ずれなどを判
定するのに必要なパラメータが用いられる。
また、メモリ34は前記制御部36から前記基準プリン
ト基板25−1上にある各部品28−1〜28−〇に関
する特徴パラメータ(基準パラメータ)のファイルやウ
ィンド情報、処理手順ファイルなどを供給されたときに
、これを記憶するものであり、前記制m部28から転送
要求があったときに、これら基準パラメーター処理手順
ファイル等を前記判定部35や画像処理部33などへ供
給する。
判定部35は、検査モードのときに前記メモリ34が出
力する前記基準パラメータと、前記制御部36を介して
供給される画像処理部33で得られた被検査パラメータ
とを比較して、前記被検査プリント基板25−2の部品
28−1〜28−nが脱落しているかどうか、およびこ
れらの部品28−1〜28−nが姿勢ずれを起こしてい
るかどうかなどを判定するものであり、この判定結果は
前記制御部36などへ供給される。
制御部36は、情報入力部19から入力された部品28
−1〜28−nに関する位置データ、形状データ等から
ウィンド40−1〜40−n (第4図参照)を作成し
たり、前記画像入力部32と、画像処理部33と、メモ
リ34と、判定部35とを制御してこれらをティーチン
グモードで動作させたり、検査モードで動作させたりす
る。
また、判定結束出力部18はCRT (ブラウン管表示
器)やプリンタなどを備えて構成されるものであり、前
記制御部28から基準パラメータや被検査パラメータを
供給されたり、前記基準プリント基板25−1 (また
は、被検査プリント基板25−2>のGB原色カラー画
像データを供給されたり、判定結果を供給されたりした
ときに、これを表示したり、プリントアウトしたりする
また、情報入力部19は、基準プリント基板25−1の
種類(例えば、基板ナンバ等)およびこの基準プリント
基板16−1に載っている部品28−1〜28−nの種
類1位置、形状等に関するデータや処理手順等の操作情
報などを入力するためのキーボードやマウス、および入
力したデータや操作情報などを確認するためのモニタ、
プリンタ等を備えて構成されるものであり、ここから入
力されたデータや操作情報などは制御部36へ供給され
る。
また、テーブルコントローラ20は前記制御部36と前
記X−Yテーブル部15とを接続するインターフェース
等を備えて構成されるものであり。
+’+ff記X−Yテーブル部15で得られたデータを
前記制御部36へ供給したり、前記制御部36から供給
される制御信号に基づいて前記X−Yテーブル部15を
制御したり享る。
また、蹟像コントローラ21は前記制御部36と前記照
明部io、県像部16とを接続するインターフェース等
を備えて構成されるものであり、前記制御部36から供
給される制御信号に基づいて前記照明部10と撤像部1
6とを制御する。
次に、この実施例の動作をティーチングモードと、検査
モードとに分けて説明する。
まず、ティーチングモードにおいては、第3図(A)に
示すフローチャートのステップST1において、制御部
36が装置各部をティーチングモードにする。
次いで、制御部36はステップST2で前記情報入力部
19を介して入力される基準プリント基板25−1の種
類およびこの基準プリント基板25・−1に載っている
部品28−1〜28−nの種類9位置、形状、処理手順
等に関するデータを取り込み、ステップST3でこれら
位置、形状等に圓するデータに基づいて、各部品28−
1〜28−nのエツジに外接するウィンド40−1〜4
0−n (第4図参照)を作成し、これをウィンド情報
として前記基準プリント基板25−1の種類1部品28
−1〜28−〇の種類、処理手順等に関するデータと共
にメモリ34に記憶させる。
この後、X−Yテーブル部15のテーブル24上に基準
プリント基板25−1が載せられれば、制御部36はス
テップST4でヂャツク機構26にJ:つてこの基準プ
リント基板25−1を固定させ、次いで各パルスモータ
22.23を制御して、基準プリント基板25−1のX
軸方向位置およびX軸方向位置を決めるとともに、撮像
部16の撮像条件を調整する。
次いで、制御部36はステップST5で前記照明部10
を制御して、基準プリント基板25−1上を白色ビーム
光PによってX−Y走査照明させながら、この基準プリ
ント基板25−1によって反射される光を前記ホトトラ
ンジスタ42.43で電気信号に変換させるとともに、
この変換動作によって得られた前記基準プリント基板2
5−100原色信号、3原色信号を画像入力部32に取
り込ませてGB原色カラー画像データを作成させる。
次いで、制御部36はステップST6で前記メモリ34
から画像処理部33にウィンド情報、処理手順等に関す
るデータを転送させるとともに、前記画像入力部32で
得られたG3原色カラー画像データを画像処理部33に
転送させて、前記ウィンド情報で示される各ウィンド4
0−1〜40−nを用いてG3原色カラー画像データか
ら各部品28−1〜28−nのGB原色カラー画像を各
々切り出させて、カラーの部品像を抽出させる。
この後、制御部36はステップST7で画像処理部33
に、前記カラーの部品像を構成しているG原色信号から
3原色信号を減算させて、G−8の減算ビデオ信号を作
成させる。
次いで、制御部36はステップST8で画像処理手順に
基づいて前記画像処理部33に、前記G−8の減算ビデ
オ信号中の部品28−1〜28−nの色と、素基板27
の色とを識別させて、これら部品28−1〜28−nの
特徴パラメータ(基準パラメータ)を抽出させ、ステッ
プST9でこれら特徴パラメータの値と、その種類とを
記した基準パラメータファイルを作成させて、これをメ
モリ24に記憶させる。
また、検査モードにおいては第3、図(B)示すフロー
チャートのステップS : 、I Oにおいて、制御部
36が装置各部を検査モードにし、この後、ステップ5
T11でメモリ34に記憶されている基準パラメータフ
ァイル内にある各特徴パラメータの種類と、処理手順に
関するデータと、ウィンド情報等を画像処理部33に転
送させるとともに、前記基準パラメータファイル内にあ
る各特徴パラメータの値を判定部35に転送させる。
次いで、X−Yテーブル部15のテーブル24上に被検
査プリント基板25−2が載せられれば、制御部3Gは
ステップST12でチャック磯構26によってこの被検
査プリント基板25−2を固定させ、次いで各パルスモ
ータ22.23を制御して、被検査プリン1一基板25
−2のX軸方向位置およびY軸方向位置を決めるととも
に、ill像部16の撮像条件を調整する。
次いで、制御部36はステップ5T13で前記照明部1
0をオンさせて、被検査プリント基板25−2上を白色
ビーム光PによってX−Y走査照明させながら、この被
検査プリント基板25−2によって反射される光を前記
ホトトランジスタ42.43で電気信号に変換させると
ともに、この変換動作によって得られた前記被検査プリ
ント基板25−2のG原色信号、B原色信号を画像入力
部32に取り込ませてGB原色カラー画像データを作成
させる。
次いで、制御部36はステップ5T14で前記画像入力
部32で得られたG3原色hラ−画像データを画像処理
部33に転送させるとともに、ウィンド情報で示される
各ウィンド40−1〜40−nを用いてG3原色カラー
画像データから各部品28−1〜28−nのGB原色カ
ラー画像を各々切り出させて、部品のカラー画像を抽出
さゼる。
この後、制御部36はステップ5T15で画像処理部3
3に、前記カラーの部品像を構成しているG原色信号か
ら8原色信号を減算させて、G−Bの減算ビデオ信号を
作成させる。
次いで、制御部36はステップ5T16で前記画像処理
部33に、前記G−8の減算ビデオ信号中の部品28−
1〜28−nの色と、素基板27の色とを識別させると
ともに、処理手順と、各特徴パラメータの種類とに基づ
いてこれら部品28−1〜28−nの特徴パラメータ(
被検査パラメータ)を抽出させ、これを判定部35に供
給させて、面像基準パラメータと比較させる。
そして、この比較結果から判定部35は、部品28−1
〜28−〇が全て有るかどうか、また位置ずれ等を起し
ているかどうかをヂエツクし、このチェック結果を判定
結果出力部18に供給し、これを表示させたり、プリン
トアウトさせたりする。
このようにこの実施例においては、白色ビーム光PをX
−Y走査させることによって基準プリント基板25−1
 (または被検査プリント基板25−2)をスポット照
明して、この部品で反射される光をホトトランジスタ4
2.43で電気信号に変換しているので、これら基準プ
リント基板25−1.被検査プリント基板25−2のG
原色カラー画像と、3原色カラー画像とを高速で、かつ
高感度で得ることができる。
またこの実施例においては、ホトトランジスタ42.4
3部分に光電増幅器を設けているので、基準プリント基
板25−1 (または被検査プリント基板25−2)か
らの光が弱い場合にも、高感度でこれを検出することが
できる。ただしこの場合、基準プリント基板25−1 
(または被検査プリント基板25−2)からの光が強い
ときにはこの光電増幅器を省いても良い。
また上述した各実施例においては、デジタル処理によっ
てG−8の減筒ビデオ信号を作成しているが、アナログ
処理によってG−8の減算ビデオ信号を作成するように
しても良い。
また上述した実施例においては、情報入力部19から部
品28−1〜28−〇の位置、形状に関するデータを入
力するようにしているが、これらのデータは素基板が黒
に、部品28−1〜28−nが白に塗装されたティーチ
ング用の基板をホトトランジスタ42.43に搬像させ
て入力するようにしても良い。
また上述した実施例においては、ティーチング時におい
て基準プリント基板25−1から特徴パラメータを直接
抽出するようにしているが、部品28−1〜28−〇が
実装される前の素基板27と、口れらの部品28−1〜
28−nが実装された基準プリント基板25−1とをホ
トトランジスタ42.43に撮像させて得られる各G−
8の減算ビデオ信号を比較しながら各部品28−1〜2
8−n毎に有効な特徴パラメータを見出して、これを抽
出させるようにしても良い。
この場合、各特徴パラメータの見出し処理を階層化構造
にして、各部品28−1〜28−n毎に有効な特徴パラ
メータが〒く、かつ効率良く見つかるJ:うにしても良
い。
また上述した実施例においては、素基板21の色を黄色
にしているが、この素基板27上に塗布されるプリフラ
ックス、ハンダクリーム等に蛍光剤を混ぎたときには、
この蛍光剤が発する光の色と、各部品28−1〜28−
nの色とを識別できれば良いので、この場合に関しては
前記素基板27の色が何であっても良い。
また上述した実施例においては、素基板27の色を黄色
にしているが、部品28−1〜28−nを黄色にしても
良い。また黄色に代えて、緑色を用いたとぎも同様な効
果を得ることができる。
(発明の効果) 以上説明したように本発明によれば、高価なカラーTV
カメラを用いることなく、基板のカラー画像を得ること
ができ、これによって装置自体の低コスト化、高速化、
高感度化を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明による部品実装基板検査装置の一実施
例を示すブロック図、第2図はこの実施例で用いられる
基準プリント基板の一例を示す平面図、第3図(A)は
この実施例のティーチング動作例を示すフローチャート
、第3図(B)はこの実施例の検査動作例を示すフロー
チャート、第4図はこの実施例で用いられろウィンドの
一例を示す模式図、第5図は従来の部品検出原理を説明
するために用いたマンセル色票系の模式図、第6図はこ
の実施例の部品検出原理を説明するために用いたX−Y
表示の色度図、第7図は従来の自動検査装置の一例を示
すブロック図である。 10・・・照明部、16・・・搬像部、17・・・処理
部、25−1・・・基準基板(基準プリント基板)、2
5−2・・・被検査基板(被検査プリント基板)、27
・・・素基板、28−1〜28−n・・・部品、42.
43・・・光電変換器。 特許出願人   立石Ti機株式会社 代理人 弁理士 岩倉哲二(他1名) 第3図 (B) y=kx 手続、i?iIT正書 田イ和62年4月30日

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  部品が実装された基板を撮像して得られる複数色のカ
    ラー画像信号間に比較演算を施して前記基板上の部品を
    検査する部品実装基板検査装置であつて、白色ビーム光
    をスキャンさせて前記基板を照明する照明部と、相異な
    る色画像を撮像する複数台の光電変換器とを備えたこと
    を特徴とする部品実装基板検査装置。
JP61032372A 1986-02-17 1986-02-17 部品実装基板検査装置 Pending JPS62190449A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006506079A (ja) * 2002-11-19 2006-02-23 テッド マーチルドン, 植物栽培装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006506079A (ja) * 2002-11-19 2006-02-23 テッド マーチルドン, 植物栽培装置
US8104226B2 (en) 2002-11-19 2012-01-31 Betty Storey Plant growing apparatus
US8359789B2 (en) 2002-11-19 2013-01-29 Betty Storey Plant growing apparatus and method

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