JPS6218708U - - Google Patents

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JPS6218708U
JPS6218708U JP11056785U JP11056785U JPS6218708U JP S6218708 U JPS6218708 U JP S6218708U JP 11056785 U JP11056785 U JP 11056785U JP 11056785 U JP11056785 U JP 11056785U JP S6218708 U JPS6218708 U JP S6218708U
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deviation signal
deviation
mass flow
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JP11056785U
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  • Flow Control (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案になる熱式質量流量制御装置の
一実施例を説明するための概略構成図、第２図は
折線回路とＶ―Ｆコンバータの一実施例の回路系
統図、第３図は折線回路の入力電圧とＶ―Ｆコン
バータの出力パルス数との関係を示す図である。 １…バイパス流路、３…センサ流路、４，５…
自己加熱抵抗体、６…流路、７…制御弁、８…ス
テツピングモータ、１１…比較制御回路、１２ａ
…Ｖ―Ｆコンバータ、１２ｂ…折線回路、１４…
演算増幅器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被測流体を加熱し２点間の温度差を検出する温
    度差検出手段により流路を流れる被測流体の質量
    流量を計測する流量計測部からの信号と、予め設
    定された設定信号との偏差に基づいて弁部の弁体
    を変位させ流量を制御する熱式質量流量制御装置
    において、前記弁体を変位させるように設けられ
    たステツピングモータと、該ステツピングモータ
    へパルスを出力するように設けられ偏差信号の変
    化が第１の領域では偏差信号が大きく変化しても
    生成されるパルス列の変化は小とし、偏差信号の
    変化が第２の領域では偏差信号が大きく変化する
    と生成されるパルス列の変化も大となるようなパ
    ルス発生器を設けてなる熱式質量流量制御装置。
JP11056785U 1985-07-19 1985-07-19 Pending JPS6218708U (ja)

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