JPS6090622U - 熱式質量流量計 - Google Patents

熱式質量流量計

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Publication number
JPS6090622U
JPS6090622U JP18281183U JP18281183U JPS6090622U JP S6090622 U JPS6090622 U JP S6090622U JP 18281183 U JP18281183 U JP 18281183U JP 18281183 U JP18281183 U JP 18281183U JP S6090622 U JPS6090622 U JP S6090622U
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JP
Japan
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thermal mass
sensor
heater
thermostatic chamber
mass flow
Prior art date
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Pending
Application number
JP18281183U
Other languages
English (en)
Inventor
淳 宮澤
Original Assignee
株式会社大成電機製作所
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Filing date
Publication date
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Priority to JP18281183U priority Critical patent/JPS6090622U/ja
Publication of JPS6090622U publication Critical patent/JPS6090622U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Details Of Flowmeters (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は夫々熱式質量流量計の基本的な構
成および動作の原理を示す説明図、第３図および第４図
は夫々従来の熱式質量流量計の要部の構成を示す説明図
、第５図は本考案の一実施例の要部を示す概要図である
。 １・・・・・・検知管、２．−３・・・・・・センサコ
イル、４・・・・・・ヒータコイル、５・・・・・・恒
温槽、６・・・・・・断熱槽、７・・・・・・ヒータ、
１０・・・・・・温度センサ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被測定流体の流れる検知管１、該検知管１の上流側およ
    び下流側に夫々付設されたセンサコイル、　２，３およ
    びこれらセンサコイル２，３の間に付設されたヒータコ
    イル４からなるセンサ部Ｓを備えた熱式質量流量計にお
    いて、前記センサ部Ｓを密閉状態で収容する恒温槽５と
    、前記恒温槽５に′　・設けられてその密閉雰囲気を所
    定温度に加熱するようになされたヒータ７と、前記恒温
    槽５内の密閉雰囲気中に設けられて温度検知出力によっ
    て前記ヒータ７への加熱電流を制御するようになされた
    温度センサとを備えていることを特徴とする熱式質量流
    量計。
JP18281183U 1983-11-26 1983-11-26 熱式質量流量計 Pending JPS6090622U (ja)

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JP18281183U JPS6090622U (ja) 1983-11-26 1983-11-26 熱式質量流量計

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JPS6090622U true JPS6090622U (ja) 1985-06-21

Family

ID=30395807

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JP18281183U Pending JPS6090622U (ja) 1983-11-26 1983-11-26 熱式質量流量計

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012208009A (ja) * 2011-03-30 2012-10-25 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 塗布装置
JP2019114342A (ja) * 2017-12-21 2019-07-11 アイシン精機株式会社 燃料電池システム

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5710413A (en) * 1980-06-23 1982-01-20 Toshiba Corp Thermal type flow meter

Patent Citations (1)

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