JPS62181285A - 二官能性アシルシラン光架橋剤、該架橋剤含有架橋性組成物および該架橋剤を使用する光架橋方法 - Google Patents

二官能性アシルシラン光架橋剤、該架橋剤含有架橋性組成物および該架橋剤を使用する光架橋方法

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JPS62181285A
JPS62181285A JP61285993A JP28599386A JPS62181285A JP S62181285 A JPS62181285 A JP S62181285A JP 61285993 A JP61285993 A JP 61285993A JP 28599386 A JP28599386 A JP 28599386A JP S62181285 A JPS62181285 A JP S62181285A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、新規多官能性アシルシラン光架橋剤、該架橋
剤を含有する光架橋性組成物および該架橋剤を使用する
光架橋法に関するものである。
（従来技術とその問題点） 本発明の多官能性アシルシラン類を開示し、あるいはこ
れ等を使用した光架橋性組成物を示唆する従来技術は知
られていない。
その最も近領した従来技術を記載したものとしてＳａｇ
ｕｒａ等の米国特許第２，９４０，８５３号があるが、
これは重合体の光架橋にビスアジド類を光架橋剤として
使用することを開示している。
又、Ｒｏｏｓの米国特許第３，７５８，３０６号は、オ
ルガノシラン類を含有する光重合性組成物および成分を
記載している。
Ｂｏａｒｄｍａｎ等の米国特許第３，９２４．５２０号
は、加水分解性シラン基含有ビニル単量体を利用した平
版印刷板の製造に関するものである。　旧ｙａｎｏの米
国特許第３，９５３，２１２号は、支持体および感光性
材料とシリコーンゴムどの混合物の被覆層から成るＰＳ
平版印刷版を記載している。
Ｂｏｃｋ等の米国特許第４，２４５，０５６号は、高密
度ポリエチレンと過酸化（−オクチル硅素との架橋性組
成物を記載している。
（問題点を解決するための手段） 本発明は、重合体の光架橋用の高感度光架橋剤として特
に有効である新規な多官能性アシルシラン類を提供する
ものである。
本発明は又、光架橋性重合体系および該重合体系を光架
橋する方法を提供するものである。
本発明の主目的は、新規光架橋剤、該架橋剤含有重合体
系および該架橋剤を使用する光架橋法を提供することに
ある。
本発明の新規多官能性アシルシラン類は、二官能性、三
官能性又は四官能性アシルシラン類である。そして二官
能性アシルシラン類が好ましい。
従って該アシルシラン類は、分子中に１個より多くのア
シルシラン基を有している。
これらは下記式で表わすことができる。
前記式中、Ａは−０−Ｒ−０−又は−ＮＨ−Ｒ−ＮＨ−
であり、Ａは式中の２個の置換フェニル基に結合してい
る。
基Ａの中で、Ｒは−（ＣＨＩ）、、−であり、ｎは１〜
１２、好ましくは１〜１０、最も好ましくは１〜６であ
るか、あるいは下記式（２）で表わされる基である。
ここで、Ｒ２は水素原子、アルキル基、ハロゲン原子、
アルコキシ基又は下記式（３）で表わされる基である。
ここでＲ１およびＲ４はＣＩ””　Ｃｈのアルキル基又
は水素原子であって、但し、Ｒ１とＲ１とが同時に水素
原子であることはない。
Ｒ２として好ましいアルキル基は、Ｃ１〜Ｃ６のアルキ
ル基であり、Ｒ２として好ましいハロゲン原子は塩素原
子、ふっ素原子、臭素原子およびよう素原子であり、そ
してＲ２として好ましいアルコキシ基は、Ｃ＋　”　Ｃ
ｂのアルコキシ基である。
Ｒｈ＜Ｒｚで置換されたフェニレン基であってその一０
一原子あるいは−ＮＨ−基との結合が互いにパラ−位置
である場合が最も好ましく、その結合が互いにメタ−位
置である場合は中程度の効果があり又その結合が互いに
オルソ−位置である場合の効果は低い。
各フェニル基上の基（Ｒ１）３Ｓ　ｉ　−Ｃ−は互いに
同一であっても又異なっていても良い。そしてこれらは
互いに同一である場合が好ましい。これらはフェニル基
の基Ａとの結合に関してオルソ−、メタ−又はパラ−位
置に置換することができる。
分子の立体的および電子的効果および光照射に対する感
度の観点からみて、前記の置換はパラ−位置であるのが
最も好ましく、メタ−位置の場合は中程度の効果であり
そしてオルソ−位置の場合は効果が低い。パラ−位置置
換の場合は他のメタ−やオルソ−位置置換に比べてはる
かに効果的である。
Ｒ２は電子供与性であっても又電子受容性であっても良
く、そのＲ２の性質自体はたいして重要でない。
本発明の多官能性アシルシラン類が二官能性である場合
には、これらは２個の重合体鎖を光架橋することができ
、三官能性である場合には３個の重合体鎖を光架橋する
ことができ、そして四官能性である場合には４個の重合
体鎖を光架橋することができる。
Ｒ１は非置換アルキル基又はアリール基である。
好ましくは、Ｒ１は１〜６個の炭素原子を有するアルキ
ル基又はフェニル基又はナフチル基である。
更に好ましくはＲ１はメチル基である。好ましい基はＭ
ｅ３Ｓｉ、ｔ−ＢｕＭｅｚＳｉ、ｐｈ３ｓｉおよびｔ−
ＢｕＰｈ２Ｓｉであって、ここにＭｅはメチル基を、ｔ
　−Ｂ　ｕはｔ−ブチル基を、そしてＰ　ｈはフェニル
基をそれぞれ意味する。
本発明で最も好ましい多官能性アシルシランは下記のビ
スアシルシランである。
それが好ましいという主な理由は、重合体マトリックス
例えばヒドロキシエチルメタクリレート／ｎ−ブチルメ
タクリレート共重合体マトリックス（ＨＥＭＡ／ブチル
メタクリレート共重合体）との相容性が非常に良いとい
うことである。
例えばＣＨ，の代わりに（ＣＨｚ）ｉの様なより長いス
ペーサー基を有する他のアシルシラン類は、上記のビス
アシルシランの様な良好な品質の膜を形成しなかった。
本発明の新規多官能性アシルシラン類を使用して、ホモ
重合体、共重合体およびグラフト重合体を架橋すること
ができる。光架橋される重合体については、それがＯＨ
および（または）ＮＨ，基を有する限りその性質はたい
して重要ではない。
重合体の例としては例えば、ビニルアルコール、ヒドロ
キシスチレン、アクリル酸、メタクリル酸、ヒドロキシ
アルキルアクリレート、ヒドロキシアルキルメタクリレ
ート、アクリルアミドヒドロキシフェニル（メタ）アク
リルアミドおよびビニルアミン類から作られた重合体を
挙げることができる。これら化合物はもちろん置換され
ていても良い。例えば代表的な置換単量体としては、ポ
リ−α−アルキルアクリル酸を挙げることができる。
ここでアルキル基は好ましくは１〜６個の炭素原子を有
する。共単量体又はグラフト共単量体の性質はそれほど
重要ではないが、但し、反応性官能基ＯＨおよび（また
は）ＮＨ，を含む共単量体は共重合体又はグラフト共重
合体の少（とも約１０モル％でなくてはならない。ホモ
重合体、共重合体および（または）グラフト共重合体の
混合物も又もちろん使用することができる。
ホモ重合体にあっては、各反復単位は必要な反応性官能
基ＯＨおよび（または）ＮＨ２を含有するのは当然であ
る。但し共重合体又はグラフト共重合体に関しては全て
が必ずしもそうではなくて、両方の共単量体がいずれも
反応性官能基ＯＨおよび（または）ＮＨ，を有している
場合であれば各反復単位がその官能基を含有することに
なる。共重合体又はグラフト共重合体の場合においては
、４個の共単量体単位の内の少くとも１個が反応性官能
基ＯＨおよび（または）ＮＨ，を含有するのが好ましく
、かつ３個の共単量体単位の内の少くとも１個が反応性
官能基ＯＨおよび（または）ＮＨ，を含有するのが最も
好ましい。
通常最大の反応効果（最大架橋性）を達成するのが望ま
しいことであるので、そのためにはＯＨおよび（または
）ＮＨ，基を含有する単量体単位の量が多ければ多い程
良い。例えば後記する実施例１においてはＨＥＭＡ／ブ
チルメタクリレート共重合体を使用しているが、この場
合その共重合体は８１．４％−ＨＥＭＡ／１８．６％−
ｎ−ブチルメタクリレート単量体単位から成っている。
事実、本発明者等のこれまでの研究によれば、最終生成
物である共重合体あるいはグラフト共重合体が反応性官
能基ＯＨおよび（または）　Ｎ　Ｈ２を含有する共単量
体を少くとも約１０モル％含有している限りにおいては
、いかなる共単量体やグラフト共単量体も使用可能であ
ることが確認されたのである。
グラフト共重体が反応性官能基ＯＨおよび（または）Ｎ
Ｈｚを含有しない主鎖から成る場合でも、その主鎖重合
体に反応性官能基ＯＨおよび（または）ＮＨ，を含有す
る共単量体をグラフトさせれば良い。この様な共重合体
あるいはグラフト共重合体の製造方法は当業者に周知で
あり、本文においてはこれを詳しく記載することは省い
た。ポリアルケン類およびポリアルケンオキシド類がグ
ラフト共重合体製造に最も有用であり、例えば、ポリエ
チレンおよびポリプロピレンオキシドの様な化合物が極
めて効果的に使用できる。もちろん２個より多くの共単
量体を使用して共重合体やグラフト共重合体を作っても
良い。
最良の効果を得るためには、本発明の新規多官能性アシ
ルシラン類を使用して光架橋した重合体が高分子量（本
文においては特記しない限り分子量は平均分子量を意味
する）、特に好ましくは少くとも約２０，０００から１
００，０００までの分子量を有することである。
約１００，０００より多い分子量を有する様な重合体に
ついては、それを流し込み成型してフィルム状物を形成
し得る限りにおいては使用可能である。分子量が増加す
れば感光性も増大し、従って高分子量重合体の使用が好
ましい最大の理由はここにある。
反応性官能基ＯＨおよび（または”）ＮＨ，は、直接重
合体の主鎖に結合しているよりもむしろ主鎖から出来る
だけ離れて結合している方が好ましい点に留意すべきで
ある。例えば、ＨＥＭＡが好ましく、これはその反応性
官能基ＯＨが主鎖から離れて結合しており、このＨＥＭ
Ａを使用することによりポリビニルアルコールを使用し
た場合に比べてより高い感光性が達成される。
前記した反応性官能基ＯＨおよび（または）ＮＨ２を含
有する重合体からもわかる様に、これらの中でも比較的
炭素数の少ないビニル重合体を反応性官能基ＯＨおよび
（または）ＮＨｚを含有する共単量体として使用するの
が最も好ましい。
フィルム成型および画像現像用に使用可能な溶媒として
は、エーテル類例えばＴＨＦ、ジオキサン等、低級アル
コール類例えばエタノール、イソプロパツール、プロパ
ツール、ブタノール等、ケトン類例えばアセトン、メチ
ルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキ
サノン等、エステル類例えば酢酸エチル、セロソルブ等
、アミド類例えばジメチルホルムアミド、ジメチルアセ
トアミド等ならびにハロゲン化炭化水素類例えばジクロ
ルメタン、クロロホルム、クロルヘンゼン等が挙げられ
る。
通常、溶媒の混合物を使用する。例えば代表的な例は、
系の比較的良溶媒と系の比較的貧溶媒とを組合わせた混
合物である。適当な溶媒混合物あるいは適当な溶媒を選
択する場合の基準としては、全部の成分がその溶媒に可
溶であること、その冷媒が余りに早く蒸発しすぎること
な（使用が容易であること、添加後の系がその系を更に
処理する工程、例えば吐出工程等に適用するのに適した
粘度を有すること、ならびにその系が良好なフィルム形
成性を有することを確認することである。
本発明の多官能性アシルシラン類は、反応性基ＯＨ又は
ＮＨ２又はそれらの両方を含有する重合体をこれに光照
射して光架橋するのに使用することができる。光照射と
しては紫外線照射が好ましいが、電子線照射、Ｘ線照射
やガンマ線照射によっても同様な効果が得られる。
架橋は約１０〜約１００ｍＪ／ｃｍ”の強度で最も効果
的に行われるが、これは決して限定的なものではない。
１０ｍＪ／ｃｍ”よりもかなり低い場合でも感光性が損
なわれることはないものと思われる。
本発明の新規光架橋性系は従来光架橋性重合体が使用さ
れて来たいかなる環境下でも使用可能である。そして特
に集積回路の製造の際のネガフォトレジストとしての使
用に適している。
使用にあたり、重合体と適当な溶媒と本発明の新規多官
能性アシルシラン光架橋剤を混合するが、この際最終製
品である光架橋生成物を安定化させるために微量のピリ
ジンを加えるのが最も好ましい。通常、使用した溶媒の
重量に対して約２重量％までの微量の安定剤、例えばピ
リジンを使用する。
増感剤の使用は任意であり、この使用により実質的に感
度が増加する。本発明者らのこれまでの研究によると、
ミヒラーケトンが最も効果的であった。
本発明の多官能性アシルシラン類はフィルムから晶出し
やすい傾向にあるため、溶媒を除去した後の全組成物の
重量に対して、約５〜約２５重量％、より好ましくは約
１０〜約１５重量％の１種又はそれ以上の多官能性アシ
ルシランを使用することが好ましい。（本文において特
記しない限り、パーセント（％）は溶媒を除去した後の
全組成物の重量に対する重量パーセント（％）を意味す
る。ノ実際目的として増感剤は通常感度増大のために使
用されるのであるが、その場合、全組成物の約１０〜約
２０重量％の星の増感剤を使用するのが普通である。当
業者には良く知られた事であるが、もし増感剤の使用量
が多すぎると、フィルムの性質が劣化する。例えば、増
感剤の使用量が２０重四％であって多官能性アシルシラ
ンの量が１０重量％である場合に比べて、増悪剤の使用
量を１０重１％に減らして一方多官能性アシルシランの
盪を２０重１％に増やした場合の方がより優れた結果が
得られる。
本発明の最終製品中に安定剤を存在させるべき理由は、
本発明により製造した光架橋フィルムはその中に多官能
性アシルシランを含有しているために、第３７シンの不
在下では加水分解してしまう傾向にあるからである。
本発明者らのこれまでの研究によれば、一般に脂肪族又
は芳香族第３アミンが有用である。アミンの使用量につ
いてはその微量が製品中に存在すれば良いのであって、
特に重要な意義はない。ピリジンの他に本発明において
安定化の機能を達成し得る他の通常入手可能な第３アミ
ン類としてはキノリンおよびトリエチルアミンを挙げる
ことができる。他の第３アミンももちろん使用すること
ができる。
本発明の系を、例えばスピナーで塗布した後に（もちろ
ん、その他のいかなる塗布方法も可能であるが）これを
次に例えば真空下して８０℃で約３０分間前焼成してガ
ス状溶媒を除去する。
この系はもっばら当分野において一般的な厚さの乾燥レ
ジスト層形成のために使用され、その厚さは用途に応じ
て実質的に変えることが可能である。この技術は当業者
に自明である。
次にこの系は、通常前記した程度の紫外線を使用して光
照射および光架橋が行なわれる。
この照射後の光架橋系は次に適当な溶媒例えばエタノー
ル（１容量部）：アセトン（５容量部）中で室温で１〜
２分間現像される。
通常衣に例えば８０℃で適当な時間、後焼成を行って残
留溶媒を除去する。この場合１時間も行えば乾燥残留溶
媒を除去するのに充分である。
使用後に、必要ならば、この光架橋生成物は純テトラヒ
ドロフラン、純エタノール等を使用してひきはがすこと
ができる。
先に例示したフィルム成型および画像現像のための適当
な溶媒を選択することによって本発明の系の感度が１１
ｍＪ／ｃｍ”にまで増加した。この感度は酸素プラズマ
エツチング耐性のネガレジスト組成物にとっては非常に
高いものである。これは架橋剤中に珪素を含有する唯一
のネガレジスト（中葉外線感光性の）である。
従って、使用する多官能性アシルシランの量は従来のビ
スアジド類の場合よりも多量であるべきであり、これに
より形成された画像層は、所望により行なわれる酸素プ
ラズマエツチングの際に充分耐性であり得る量の珪素含
有量を有することになる。これはビスアジドレジストの
場合には見られない効果である。
本発明の他官能性アシルシラン類は次の様な作用効果を
有する。
一般に、従来ビスアジド基材レジストと実質的に同様の
方法で、該ビスアジド基材レジストの使用されている分
野に適用可能である。
酸素プラズマエツチングに対して固有の耐性を有するの
で、ビスアジドレジストには備わっていなかった作用効
果をも有する。
本発明の化合物の合成法の代表的な例を下記に模式的に
示し更にこれらについて説明する。
２−（４−ヒドロキシフェニル）−１，３−ジチアン溶
液から再結晶した４−ヒドロキシベンズアルデヒド（４
６ｇ、０．３７７モル）と１．３−プロパンジチオール
（４５ｍｌ、　０．４４９モル）とを乾燥クロロホルム
に加えた。反応混合物を０℃で攪拌し、そしてＭＣＩガ
スをその溶液中に泡立たせながら１０分間導入した。
発熱反応が停止した後、溶液を１０時間還流した。
白色結晶が生成した。これをろ去し、そのクロロホルム
溶液を３回水洗し、乾燥（Ｍ　ｇ　Ｓ　Ｏａで）し、減
圧下に蒸発させて明黄色の固体を得た。これをクロロホ
ルムから再結晶して白色針状晶が得られた。融点１５１
〜１５２℃。一方、先の白色結晶を同様にクロロホルム
から再結晶して、融点１５１〜１５２℃を有する白色針
状晶を得た。ＩＲスペクトルおよびＮＭＲスペクトルの
結晶両者は同一化合物であることが確認された。再結晶
後の全収率は９９％であった。
ＮＭＲ（ＣＤＣＩ＞ニア、２６（ｄ）、６．８６（ｄ）
、５．２２（Ｓ）　、２．８６　　（ｍ）　、２．０１
　　（ｍ）　　、ＩＲ（ＫＢｒ）：３３００ｃｍ−’　
　（ＯＨ）　、９１０ｃｍ−１（ジチアン環）、２７０
０ｃｍ情および２８ＱＱｃ＋ｙｒ’におけるアルデヒド
ピークと２６７０ｃｍ−１におけるカルボニルピークは
消失した。
前記化合物（２）の１０　ｇ　（４７ｍｍｏ　Ｉ）を亜
硫酸テトラブチルアンモニウム（２ｇ）と−緒に、Ｎ　
ａ　ＯＨ水溶液に溶かした。ベンゼンに溶かしたジブロ
ムメタン（４，１ｇ、２４ｍｍｏ　Ｉ）を加え、この２
相系溶液を還流下に８時間機械的に攪拌した。反応系を
室温にまで冷却し、相分離したベンゼン相を水、１０％
ＫＯＨおよび水で洗い。
次にＭｇ５Ｏ，上で乾燥した。減圧下に蒸発すると白色
固体が得られ、これをシリカゲルＥで溶離剤としてＣＨ
Ｃｌ３を使用してフラッシュクロマトグラフ処理した。
融点７１〜１７２℃。１９７．４％ＭＭＲ（ＣＤＣ１３
）　７７．３５　（ｄ）、７．０９（ｄ）、５．６８　
（ｓ）　、５．１１（ｓ）　、２．９１　　（ｍ）　、
２．０７（ｍ）　、ＩＲ（ＫＢ、）：　３３００ｃｍ−
１のピークは消失した。
還流コンデンサーと２個の３斗と磁性撹拌棒とを備えた
乾燥三ロフラスコを乾燥アルゴンガスでフラッシング処
理する。その２個の３斗を隔膜で密閉してコンデンサー
をアルゴン容器にとり付ける。乾燥ＴＨＦに溶かしたジ
チアン（１モル）をその３斗の１方からスポイトを使っ
て加える。フラスコを一３０℃に冷却してジチアン溶液
をフラスコに加える。３斗をＴＨＦで洗って溶液が完全
に容器中に入った事を確認する。次にｎ−ＢｕＬｉ（１
，６Ｍ−ヘキサン溶液、２モル）をもう一方の３斗から
加える。添加後は暗赤色となる。この溶液を一３０℃で
２時間撹拌する。
代表的なシリル化工程について次に説明する。
蒸留したばかりのクロルシラン（２モル）を−３０℃で
滴下する。この添加後に先の暗赤色は直ちに透明となる
。この反応溶液を室温に戻すと白色沈澱（Ｌ　ｉ　Ｃｌ
）が生成し、これをさらに４時間攪拌し続ける。この反
応を注意深く水で急冷する。溶媒のかたまりを減圧下に
除去して、残留物をＣＨ２Ｃｌ２中に採る。このＣＨｚ
ＣＩｚを水と１０％−ＫＯＨと水とで洗い、Ｎａ２５ｏ
ｎ上で乾燥し、そして減圧下に蒸発すると薄黄色の固体
が得られる。これをＣＨｇＣ１ｚから再結晶すると、白
色固体が得られる。
ＮＭＲ（ＣＤＣｌｄ　　：　７．７８　（ｄ）、７．１
８（ｄ）、５．７６　（ｓ）　、２．４８　（ｍ）　、
１．９７　　（ｍ）　、０゜１　　（Ｓ）　、ＩＲ（Ｋ
Ｂ、）：　１２４０ｃｍ〜１および８４０ｃｍ−’のピ
ーク　（トリメチルシリル基に相応する） 前記シリルジチアンの９０％メタノール水？８液を、同
じ溶媒混合物（２５ｍＡり中の塩化第２水恨（４，４モ
ル）の攪拌溶液中に２５℃で加える。
酸化第２水銀（２，２モル）を緩衝剤としてこの反応混
合物に加える。ジチアン／塩化第２水銀鎖化合物が柔毛
の様な白色沈澱として分離した。この混合物を８〜１０
時間アルゴン雰囲気下で攪拌し還流する。次に混合物を
冷却しろ過する。
ろ過ケーキをクロロホルムで洗ってその有機相を水、酢
酸アンモニウム、水およびブラインで洗い、硫酸ナトリ
ウム上で乾燥する。溶媒を蒸発すると、粘性のある黄色
固体が得られ、これをフランシュクロマトグラフィー処
理すると、黄色固体が得られる。
塩化玉±Ｚ悲火法 珪素原子上の置換基が芳香族基の場合には、この方法に
よると最良の結果が得られる。ジクロルメタン中の塩化
スルフリル（２，４モル）の溶液を、ジクロルメタン中
のシリルジチアン（１モル）と湿ったシリカゲル（０，
５ｇ）とを含む攪拌溶液に室温で滴下する。
室温で４〜５時間攪拌後、炭酸カリウム粉末をその反応
混合物に加え、３０分間攪拌を続ける。減圧下でろ過し
蒸発すると、粘性のある黄色固体が得られ、これをフラ
ッシュクロマトグラフィー処理すると黄色固体が得られ
る。
他の多官能性アシルシラン類も、出発物質を変えて同様
にして得ることができ、これは当業者に容易になし得る
ものである。
以上本発明の詳細な説明したが、次に実施例を挙げてこ
れを更に詳しく説明する。
実施例 下記表に記載の成分を良く混合して４種の光架橋性組成
物を得た。この混合工程は何ら特別なものではなく、全
成分を単にＤＭＦに溶かすことにより行ったものである
。
この系を次に通常の方法により透明基材上にスピナー塗
布して、電子回路製造において通常である様な厚さの被
膜を形成した。
塗布に続いて、これを真空下に８０℃で３０分間予備焼
成して溶媒を除去した。
これら４種の系のそれぞれを次に紫外線を使用手続（重
工−＃ 昭和６２年７月２１日

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼（１） （式中、Ａは−Ｏ−Ｒ−Ｏ又は−ＮＨ−Ｒ−ＮＨ−を表
    わし、Ｒは−（ＣＨ＿２）ｎ−であってｎが１〜１２で
    あるか、あるいは式 ▲数式、化学式、表等があります▼（２） で表わされる基であり、Ｒ＿２は水素原子、アルキル基
    、パゲン原子、アルコキシ基又は式 ▲数式、化学式、表等があります▼（３） で表わされる基であり、ここにＲ＿３およびＲ＿４はＣ
    ＿１〜Ｃ＿６のアルキル基又は水素原子であるが、但し
    、Ｒ＿３とＲ＿４とが同時に水素原子であってはならな
    いものとし、Ｒ＿１は非置換アルキル基又はアリール基
    である）で表わされる多官能性アシルシラン類。
  2. （２）前記式（１）において、Ｒ＿２か水素原子、Ｃ＿
    １〜Ｃ＿６のアルキル基、塩素原子、ふっ素原子、臭素
    原子、よう素原子又はＣ＿１〜Ｃ＿６のアルコキシ基で
    ある。前記特許請求の範囲第（１）項記載の多官能性ア
    シルシラン類。
  3. （３）二官能性である、前記特許請求の範囲第（１）項
    記載のアシルシラン類。
  4. （４）前記式（１）において、両方の（Ｒ＿１）＿３Ｓ
    ｉ−基が同一である、前記特許請求の範囲第（１）項記
    載の多官能性アシルシラン類。
  5. （５）前記式（１）において、（Ｒ＿１）＿３Ｓｉ−Ｃ
    −基が両方とも基Ａに対してパラ−位置に置換している
    、前記特許請求の範囲第（１）項記載の多官能性アシル
    シラン類。
  6. （６）前記式（１）において、両方のＲ＿１が同一であ
    ってメチル基である、前記特許請求の範囲第（１）項記
    載の多官能性アシルシラン類。
  7. （７）該アシルシランが下記式 ▲数式、化学式、表等があります▼ で表わされる化合物である、前記特許請求の範囲第（１
    ）項記載の多官能性アシルシラン類。
  8. （８）（１）一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼（１） （式中、Ａは−Ｏ−Ｒ−Ｏ又は−ＮＨ−Ｒ−ＮＨ−を表
    わし、Ｒは−（ＣＨ＿２）ｎ−であってｎが１〜１２で
    あるか、あるいは式 ▲数式、化学式、表等があります▼（２） で表わされる基であり、Ｒ＿２は水素原子、アルキル基
    、パゲン原子、アルコキシ基又は式 ▲数式、化学式、表等があります▼（３） で表わされる基であり、ここにＲ＿３およびＲ＿４はＣ
    ＿１〜Ｃ＿６のアルキル基又は水素原子であるが、但し
    、Ｒ＿３とＲ＿４とが同時に水素原子であってはならな
    いものとし、Ｒ＿１は非置換アルキル基又はアリール基
    である）で表わされる多官能性アシルシラン類の少くと
    も１種と、反応性官能基ＯＨおよび（または）ＮＨ＿２
    を含有する単量体を少くとも約１０モル％含有して成る
    重合体とを組合わせて成る、光架橋性組成物。
  9. （９）反応性官能基としてＯＨおよび（または）ＮＨ＿
    ２を含有して成る重合体を光架橋するにあたり、（１）
    一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼（１） ３式中、Ａは−Ｏ−Ｒ−Ｏ又は−ＮＨ−Ｒ−ＮＨ−を表
    わし、Ｒ＿は−（ＣＨ＿２）ｎ−であってｎが１〜１２
    であるか、あるいは式 ▲数式、化学式、表等があります▼（２） で表わされる基であり、Ｒ＿２は水素原子、アルキル基
    、パゲン原子、アルコキシ基又は式 ▲数式、化学式、表等があります▼（３） で表わされる基であり、ここにＲ＿３およびＲ＿４はＣ
    ＿１〜Ｃ＿６のアルキル基又は水素原子であるが、但し
    、Ｒ＿３とＲ＿４とが同時に水素原子であってはならな
    いものとし、Ｒ＿１は非置換アルキル基又はアリール基
    である）で表わされる多官能性アシルシラン類の少くと
    も１種を使用して行うことを特徴とする、該重合体の光
    架橋法。
JP61285993A 1985-12-06 1986-12-02 二官能性アシルシラン光架橋剤、該架橋剤含有架橋性組成物および該架橋剤を使用する光架橋方法 Granted JPS62181285A (ja)

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