JPS62180945U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62180945U JPS62180945U JP6089687U JP6089687U JPS62180945U JP S62180945 U JPS62180945 U JP S62180945U JP 6089687 U JP6089687 U JP 6089687U JP 6089687 U JP6089687 U JP 6089687U JP S62180945 U JPS62180945 U JP S62180945U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating substrate
- probe device
- lead
- electrodes
- probing probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は従来使用されているウエハプロービン
グ用の探針ユニツトを上から見た図であり、第２
図は第１図に示す探針ユニツトの断面図、第３図
は本考案に係る探針ユニツトを上から見た図、第
４図は第３図に示す探針ユニツトの断面図、第５
図は第３図に示す探針ユニツトの探針部分の拡大
図である。
グ用の探針ユニツトを上から見た図であり、第２
図は第１図に示す探針ユニツトの断面図、第３図
は本考案に係る探針ユニツトを上から見た図、第
４図は第３図に示す探針ユニツトの断面図、第５
図は第３図に示す探針ユニツトの探針部分の拡大
図である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体素子の電極列を包囲する如き開口を
有しこの開口に上記電極列方向に突出し各電極上
まで延長した構造の絶縁基板と、この絶縁基板の
上記突出部に上記各電極上方まで延長して夫々絶
縁して被着された複数の引出し線と、この各引出
し線の上記電極上方に対応した上記各引出し線部
に電気的な接続状態で固定された探針とを具備し
てなることを特徴とするプロービング用探針装置
。 (2) 絶縁基板はガラス板、石英板、水晶板の少
なくとも１種で構成されたものであることを特徴
とする実用新案登録請求の範囲第１項記載のプロ
ービング用探針装置。 (3) 絶縁基板は引出し線の一端部がリード状凸
起を形成する如く抜き去られた構造であることを
特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の
プロービング用探針装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6089687U JPS6311725Y2 (ja) | 1987-04-21 | 1987-04-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6089687U JPS6311725Y2 (ja) | 1987-04-21 | 1987-04-21 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62180945U true JPS62180945U (ja) | 1987-11-17 |
| JPS6311725Y2 JPS6311725Y2 (ja) | 1988-04-05 |
Family
ID=30893729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6089687U Expired JPS6311725Y2 (ja) | 1987-04-21 | 1987-04-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6311725Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-04-21 JP JP6089687U patent/JPS6311725Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6311725Y2 (ja) | 1988-04-05 |
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