JPS62178905A - カラ−フイルタ−の製造方法 - Google Patents
カラ−フイルタ−の製造方法Info
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- JPS62178905A JPS62178905A JP61021388A JP2138886A JPS62178905A JP S62178905 A JPS62178905 A JP S62178905A JP 61021388 A JP61021388 A JP 61021388A JP 2138886 A JP2138886 A JP 2138886A JP S62178905 A JPS62178905 A JP S62178905A
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Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本ＱＥＩＡは、’１’ＦＴ、Ｍ工Ｍ、ハイデユーティ−
等の基板と組み合わせて液晶表示セルに用いられるカー
ｙ−フィルターの製造方法に関するものである。
等の基板と組み合わせて液晶表示セルに用いられるカー
ｙ−フィルターの製造方法に関するものである。
本発明は、ＴＶ’！’、Ｍ工Ｍ、ハイデユーティ−等の
基板と組み合わせて液晶表示セルに用いられるカラーフ
ィルターの遮光部分をガラスの表面にニッケルの無電解
メッキを行ない、これを７オトリソグラフ１イー法によ
りレジスト塗布→露光→現像→エツチングを行なって形
成することを特徴としたカラーフィルターの製造方法で
ある。
基板と組み合わせて液晶表示セルに用いられるカラーフ
ィルターの遮光部分をガラスの表面にニッケルの無電解
メッキを行ない、これを７オトリソグラフ１イー法によ
りレジスト塗布→露光→現像→エツチングを行なって形
成することを特徴としたカラーフィルターの製造方法で
ある。
従来のカーｙ−フィルターに用いられていたブラックス
トライプ（以降ＢＳと呼ぶ）と呼ばれる遮光部分は、基
板上に蒸着法もしくはスパッタリング法等でクロムを成
膜し、これを上記フォトリソ法によりバターニングする
ことで形成していた。
トライプ（以降ＢＳと呼ぶ）と呼ばれる遮光部分は、基
板上に蒸着法もしくはスパッタリング法等でクロムを成
膜し、これを上記フォトリソ法によりバターニングする
ことで形成していた。
このような製造方法によりカラーフィルターのＢＳ部を
製造する場合、クロム膜の成膜により相当なコスト高に
なってしまうという問題°点があった。これはクロム膜
を基板上に付けるためには、真空蒸着機もしくはスパッ
タ装置によらねばならないことによる。装置自身が高価
格であるのに加えて一度に付けられる枚数は真空槽の寸
法で決められてしまうため単位時間の処理数が少ない。
製造する場合、クロム膜の成膜により相当なコスト高に
なってしまうという問題°点があった。これはクロム膜
を基板上に付けるためには、真空蒸着機もしくはスパッ
タ装置によらねばならないことによる。装置自身が高価
格であるのに加えて一度に付けられる枚数は真空槽の寸
法で決められてしまうため単位時間の処理数が少ない。
しかも真空引きから最後まで２０〜３０分も時間がかか
ってしまうといつたためである。またこうして真空装置
によって形成された膜質はピンホール等が多いためけっ
して遮光性が良いとは言えない場合もあった。本発明は
、このような従来のＢＳ形成にあっト問照点を解消し、
安価で高品質なカラーフィルターの製造方法を提供する
ことにある〔問題を解決するための手段〕 上記の間迦を解決するために、本発明はカラーフィルタ
ー基板上にニッケルの無電解メッキを行ない、これをフ
ォトリソグラフィー法によりパターニングすることでＢ
Ｓを形成することを特徴とするものである。
ってしまうといつたためである。またこうして真空装置
によって形成された膜質はピンホール等が多いためけっ
して遮光性が良いとは言えない場合もあった。本発明は
、このような従来のＢＳ形成にあっト問照点を解消し、
安価で高品質なカラーフィルターの製造方法を提供する
ことにある〔問題を解決するための手段〕 上記の間迦を解決するために、本発明はカラーフィルタ
ー基板上にニッケルの無電解メッキを行ない、これをフ
ォトリソグラフィー法によりパターニングすることでＢ
Ｓを形成することを特徴とするものである。
第１図に本発明を実施したカラーフィルターの断面図を
示す。第２図に本発明によるカラーフィルターの製造方
法を示す。まず原料基板となるガラスを洗浄する（第２
図α）。次に２５℃の７ツ酸液に１分もしくは、７５℃
に加温したフッカアンモニウム液と硝酸の混合液に３分
浸漬する（第２図ｂ）。談いて純水流水槽１に１分浸漬
する（第２図Ｃ］。続いて純水流水槽２に１分浸漬する
（第２図ｄ）。続いて純水流水槽３に１分浸漬すす（第
２ ｆｊＪ ｔ ）。次に１ｗｔ％の塩化第一スズと１
ｗｔ％の塩酸の混合液に３分浸漬する（第２図ｆ）。続
いて純水槽１に１分浸漬する（第２図１）。続いて純水
槽２に１分浸鑓する（第２図ｈ）、次に２０ｗｔ％の塩
化バラジューム液に３分間浸漬する（＃ｇ２図ｔ）。続
いて純水槽３に１分間浸漬する（＠２図）゛）。続いて
純水槽４に１分間浸漬する（第２図ｋ）、次にスピンド
ライヤー等にて水切夛をおこなう（第２図り。つづいて
１００℃で５分の乾燥を行なう（第２図７７り。次にニ
ッケル液槽に浸漬する（第２図外）。浴組成ハ、塩化ニ
ッケル、次亜燐酸ソーダ、クエン酸ソーダであるが、実
際には日本カニゼン（株）のシューマーを４５℃に加温
して４分浸漬した。およそ３〜４分で３０００Ｘの膜厚
となる。続いて純水流水槽４に１分浸漬する（第２図０
）。続いて純水流水槽５に１分浸漬する（第２図Ｐ）。
示す。第２図に本発明によるカラーフィルターの製造方
法を示す。まず原料基板となるガラスを洗浄する（第２
図α）。次に２５℃の７ツ酸液に１分もしくは、７５℃
に加温したフッカアンモニウム液と硝酸の混合液に３分
浸漬する（第２図ｂ）。談いて純水流水槽１に１分浸漬
する（第２図Ｃ］。続いて純水流水槽２に１分浸漬する
（第２図ｄ）。続いて純水流水槽３に１分浸漬すす（第
２ ｆｊＪ ｔ ）。次に１ｗｔ％の塩化第一スズと１
ｗｔ％の塩酸の混合液に３分浸漬する（第２図ｆ）。続
いて純水槽１に１分浸漬する（第２図１）。続いて純水
槽２に１分浸鑓する（第２図ｈ）、次に２０ｗｔ％の塩
化バラジューム液に３分間浸漬する（＃ｇ２図ｔ）。続
いて純水槽３に１分間浸漬する（＠２図）゛）。続いて
純水槽４に１分間浸漬する（第２図ｋ）、次にスピンド
ライヤー等にて水切夛をおこなう（第２図り。つづいて
１００℃で５分の乾燥を行なう（第２図７７り。次にニ
ッケル液槽に浸漬する（第２図外）。浴組成ハ、塩化ニ
ッケル、次亜燐酸ソーダ、クエン酸ソーダであるが、実
際には日本カニゼン（株）のシューマーを４５℃に加温
して４分浸漬した。およそ３〜４分で３０００Ｘの膜厚
となる。続いて純水流水槽４に１分浸漬する（第２図０
）。続いて純水流水槽５に１分浸漬する（第２図Ｐ）。
続いて純水流水槽乙に５分浸漬する（第２図ｑ）。次に
スピンドライヤー等にて水切シを行なう（第２図Ｍ）。
スピンドライヤー等にて水切シを行なう（第２図Ｍ）。
続いて１５０℃で１Ｈの乾燥を行なう（第２図Ｓ）。こ
うしてガラス基板上にエラ呪ル膜を形成する。これより
以降は、通常のフォトリソグラフィ一工程を行なってパ
ターニングする（＠３図参照）。フォトリソグラフィ一
工程は、まずポジレジストをスピンコーター、ロールコ
ータ−等にて均一に塗布する（第３図Ａ）。これを乾燥
しく第３図Ｂ）、露光した後（第３図Ｃ）現像してから
（第３図Ｄ）乾燥する（第３図Ｍ）。ニッケルメッキの
エツチング液は、混酸で調合比は純水２０．リン酸３５
．酢酸５．硝酸３５．硫ｍ５の割合で調合されている。
うしてガラス基板上にエラ呪ル膜を形成する。これより
以降は、通常のフォトリソグラフィ一工程を行なってパ
ターニングする（＠３図参照）。フォトリソグラフィ一
工程は、まずポジレジストをスピンコーター、ロールコ
ータ−等にて均一に塗布する（第３図Ａ）。これを乾燥
しく第３図Ｂ）、露光した後（第３図Ｃ）現像してから
（第３図Ｄ）乾燥する（第３図Ｍ）。ニッケルメッキの
エツチング液は、混酸で調合比は純水２０．リン酸３５
．酢酸５．硝酸３５．硫ｍ５の割合で調合されている。
この液中に２０〜２５℃の温度にして約１分間浸漬する
（第３図Ｍ）。
（第３図Ｍ）。
次に純水流水槽７に１分間浸漬する（第３図Ｇ）、次に
純水流水槽８に１分間浸漬する（第３図Ｍ）。次に純水
流水槽９に３分間浸漬する（第３図工）。そしてスピン
ドライヤー等で水切シをする（第３図Ｊ）。続いてレジ
ストを剥離するため１ＫＷの高圧水銀燈によるＵ’Ｖ照
射を約１０秒以上行なう（＃！３図Ｌ）。次に１ｗｔ％
の水酸化カリウム水溶液あるいはアセトンに２分以上浸
漬しレジストを剥離する（第３図Ｍ）。次に純水流水槽
１０に５分浸漬しく第３図Ｎ）水切シを行なう（第３図
０）、最後に２００〜３００℃の焼成を１時間行なって
（第３ＦｊＪＰ）カラーフィルターのＢＳ部を完成させ
た。
純水流水槽８に１分間浸漬する（第３図Ｍ）。次に純水
流水槽９に３分間浸漬する（第３図工）。そしてスピン
ドライヤー等で水切シをする（第３図Ｊ）。続いてレジ
ストを剥離するため１ＫＷの高圧水銀燈によるＵ’Ｖ照
射を約１０秒以上行なう（＃！３図Ｌ）。次に１ｗｔ％
の水酸化カリウム水溶液あるいはアセトンに２分以上浸
漬しレジストを剥離する（第３図Ｍ）。次に純水流水槽
１０に５分浸漬しく第３図Ｎ）水切シを行なう（第３図
０）、最後に２００〜３００℃の焼成を１時間行なって
（第３ＦｊＪＰ）カラーフィルターのＢＳ部を完成させ
た。
このようにニッケルの無電解メッキによるＢＳ部を製造
することで、従来のカラーフィルターと比較して価格を
大幅に下げることが出来るようになった。またビンホー
ル不良を減少させる事が出来、遮光性の良いカラーフィ
ルターを供給することが出来るようになった。
することで、従来のカラーフィルターと比較して価格を
大幅に下げることが出来るようになった。またビンホー
ル不良を減少させる事が出来、遮光性の良いカラーフィ
ルターを供給することが出来るようになった。
第１図は、本発明によるカラーフィルターの断面図。
１・・・・・・ガラス基板
２・・・・・・染色基質
３・・・・・・ニッケルによるＢＳ
第２図は、ニッケル膜の成膜工程図。
第３図は、ＢＳ部バターニング工程図。
以 上
出願人 セイコーエプソン株式会社
藻 １ 凹
皐 λ 図
第 ３ 図
Claims (1)
- カラー画像表示用液晶表示体のＴＦＴ、ＭＩＭ、ハイデ
ューティー等の基板と組合わされるカラーフィルターに
於て、ブラックストライプと呼ばれる遮光部分をニッケ
ルの無電解メッキを直接ガラス上に形成し、これをパタ
ーン形成して作ることを特徴とするカラーフィルターの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61021388A JPS62178905A (ja) | 1986-02-03 | 1986-02-03 | カラ−フイルタ−の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61021388A JPS62178905A (ja) | 1986-02-03 | 1986-02-03 | カラ−フイルタ−の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62178905A true JPS62178905A (ja) | 1987-08-06 |
Family
ID=12053689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61021388A Pending JPS62178905A (ja) | 1986-02-03 | 1986-02-03 | カラ−フイルタ−の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62178905A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0264524A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Sharp Corp | カラー表示装置 |
| JPH02271302A (ja) * | 1989-04-12 | 1990-11-06 | Sanyo Electric Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
| US7123320B2 (en) * | 1992-03-04 | 2006-10-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electro-optical device |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55166607A (en) * | 1979-06-15 | 1980-12-25 | Canon Inc | Color filter |
| JPS60205502A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-17 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子用色分解フイルタ−の製造方法 |
-
1986
- 1986-02-03 JP JP61021388A patent/JPS62178905A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55166607A (en) * | 1979-06-15 | 1980-12-25 | Canon Inc | Color filter |
| JPS60205502A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-17 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子用色分解フイルタ−の製造方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0264524A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Sharp Corp | カラー表示装置 |
| JPH02271302A (ja) * | 1989-04-12 | 1990-11-06 | Sanyo Electric Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
| US7123320B2 (en) * | 1992-03-04 | 2006-10-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electro-optical device |
| US8035773B2 (en) | 1992-03-04 | 2011-10-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electro-optical device |
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