JPS62176712U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62176712U JPS62176712U JP6450886U JP6450886U JPS62176712U JP S62176712 U JPS62176712 U JP S62176712U JP 6450886 U JP6450886 U JP 6450886U JP 6450886 U JP6450886 U JP 6450886U JP S62176712 U JPS62176712 U JP S62176712U
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- JP
- Japan
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- optical
- optical device
- divided
- summed values
- calculator
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る表面形状測定
装置に用いられる受光素子の形状を示す図、第２
図は同受光素子の出力信号の処理回路、第３図は
本考案の他の実施例に係る受光素子の形状を示す
図、第４図乃至第６図はそれぞれ本考案に係わる
パターンの投影方法を説明するための図である。 １０……点光源、１１ａ，１１ｂ……格子、１
２ａ，１２ｂ……レンズ、１３……物体、２０ａ
〜２０ｄ……信号増幅器、２１ａ〜２１ｄ……記
憶ユニツト、２２ａ〜２２ｄ……差分器、２３…
…形状評価演算器。
装置に用いられる受光素子の形状を示す図、第２
図は同受光素子の出力信号の処理回路、第３図は
本考案の他の実施例に係る受光素子の形状を示す
図、第４図乃至第６図はそれぞれ本考案に係わる
パターンの投影方法を説明するための図である。 １０……点光源、１１ａ，１１ｂ……格子、１
２ａ，１２ｂ……レンズ、１３……物体、２０ａ
〜２０ｄ……信号増幅器、２１ａ〜２１ｄ……記
憶ユニツト、２２ａ〜２２ｄ……差分器、２３…
…形状評価演算器。
Claims (1)
- 規則的な光学的パターンを被検査物の表面に投
影する光学装置と、該投影パターンを前記光学装
置の光軸と異なる角度より見込み、光検出素子上
に結像させる光学装置により構成される表面形状
測定装置において、前記光検出素子は複数の検出
画素に分割され、かつ、それらをいくつかのグル
ープに分けそれぞれのグループの加算値を出力し
、これら複数の加算値の互いの比を演算器から演
算出力させることを特徴とする表面形状検出装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6450886U JPS62176712U (ja) | 1986-04-28 | 1986-04-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6450886U JPS62176712U (ja) | 1986-04-28 | 1986-04-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62176712U true JPS62176712U (ja) | 1987-11-10 |
Family
ID=30900728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6450886U Pending JPS62176712U (ja) | 1986-04-28 | 1986-04-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62176712U (ja) |
-
1986
- 1986-04-28 JP JP6450886U patent/JPS62176712U/ja active Pending
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