JPS62176130U - - Google Patents

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JPS62176130U
JPS62176130U JP6541586U JP6541586U JPS62176130U JP S62176130 U JPS62176130 U JP S62176130U JP 6541586 U JP6541586 U JP 6541586U JP 6541586 U JP6541586 U JP 6541586U JP S62176130 U JPS62176130 U JP S62176130U
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  • Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例に係るレーザ加工機
の基板供排装置の斜視図、第２図は同装置の動作
を説明するための図である。 １：未処理の基板、２：供給マガジン、３：吸
着リツプ、４：ワイパー型供給用アーム、５：治
具シリンダ、６：ロータリシリンダ、７：載物台
、８：処理済の基板、９：吸着リツプ、１０：ワ
イパー型収納用アーム、１１：シリンダ、１２：
治具シリンダ、１３：ロータリシリンダ、１４：
収納マガジン。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 未処理の基板が収納される供給マガジンと、処
    理後の基板が載置される載置台と、前記処理後の
    基板が収納される収納マガジンと、前記供納マガ
    ジン内の前記未処理の基板を保持する吸着リツプ
    を有し、前記未処理の基板を前記載物台上に移動
    せしめ載置させるワイパー型の供給用アームと、
    前記供給用アームを上下及び水平方向に駆動させ
    る第１の駆動手段と、前記載物台上の前記処理後
    の基板を保持する吸着リツプを有し、前記処理後
    の基板を前記収納マガジン内に移動せしめ収納さ
    せるワイパー型の収納用アームと、前記収納用ア
    ームを上下及び水平方向に駆動させる第２の駆動
    手段とを具備したことを特徴とする基板供排装置
    。
JP1986065415U 1986-04-30 1986-04-30 基板供排装置 Expired - Lifetime JP2508709Y2 (ja)

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JPS62176130U true JPS62176130U (ja) 1987-11-09
JP2508709Y2 JP2508709Y2 (ja) 1996-08-28

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010103829A1 (ja) * 2009-03-11 2010-09-16 パナソニック株式会社 基板搬送処理システムおよび基板搬送処理方法、ならびに部品実装装置および方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS496657A (ja) * 1972-05-08 1974-01-21
JPS5431682U (ja) * 1977-08-03 1979-03-01
JPS5810478A (ja) * 1981-07-06 1983-01-21 株式会社日本製鋼所 プレス用ロボツト

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Publication number Publication date
JP2508709Y2 (ja) 1996-08-28

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