JPS62176039A - コントラスト調整方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、主として電子ビームなどの励起源を試料面上
を走査しつつ、該試料から得られる情報信号に基づく画
像をモニタに表示し、この表示された情報信号の画像を
写真撮影する場合のコントラストの調整方法に関する。

（ロ）従来技術とその問題点 一般に、走査形電子顕微鏡やＥ　Ｐ　Ｍ　Ａ　（Ｅ　１
ｅｃｔｒｏｎ　Ｐｒｏｂｅ　Ｍｉｃｒｏ　Ａｎａｌｙｚ
ｅｒ）などにおいては、電子ビームを試料面上を二次元
走査しつつ、試料から励起されて放射される二次電子を
検出し、この検出信号をＣＲＴモニタに輝度変調信号と
して与えることにより、試料面の二次電子像（ＳＥＭ像
）を画像表示できるようにしている。

そして、このような二次電子像は写真撮影してデータと
して記録しておくことがしばしば必要となる。その際の
コントラストの調整は、従来、次のようにして行なイつ
れている。すなわち、第３図に示すように、電子ビーム
を試料面上を走査すると、試料面の凹凸等の形状に伴な
い信号強度の異なる二次電子の情報信号が得られるので
、試料面上の電子ビームの走査位置を横軸に、情報信号
の強度の大きさを縦軸としたプロファイルＰを表示する
とともに、このプロファイルＰの高さの指標となる目盛
りを同一画面上に表示する。そして、以前の撮影条件な
どを参照して、表示されたプロファイルＰの最大高さが
目盛の所定の位置にくるように情報信号のゲインを調整
する。ゲイン調整後は二次電子像の表示モードに戻して
写真撮影を行なう。

ところで、フィルム感度を変更した場合には、コントラ
ストを再調整する必要があるが、従来は、前記目盛りの
表示位置がフィルム感度によらず一定であるために、プ
ロファイルの最大高さを目盛りのどの位置に設定すれば
良いのか直ぐに判断できなくなってコントラストの調整
をしばしば誤ることがあった。コントラストの調整を誤
らないためには、予め、各フィルム感度の下でプロファ
イルの高さを変えて試し撮りをして、そのときのプロフ
ァイルの高さを目盛りの位置で知り、これらのデータを
集めて最適のコントラストの条件を見い出ださねばなら
ないｆこめ、写真撮影操作が煩雑となっていた。

本発明は、このような事情に鑑みてなされた乙のであっ
て、フィルム感度を変更した場合でも、写真撮影時のコ
ントラストの調整が容易に誤りなく行なえるようにする
ことを目的とする。

（ハ）問題点を解決するための手段 本発明は、上記の目的を達成するために、電子ビームな
どの励起源を試料面上で走査しつつ、該試料から得られ
る情報信号に基づく画像をＣＲＴモニタに表示し、この
表示画像を写真撮影するに際して、予め、前記ＣＲＴモ
ニタ画面上に励起源の走査に伴なう前記情報信号の強度
変化をプロファイルで表示するとともに、このプロファ
イルの高さの指標となる目盛りを前記プロファイルに重
ねて表示し、プロファイルの高さを変化させて画像のコ
ントラストを調整する方法であって、画像撮影用のフィ
ルムの感度を変更する際に、フィルム感度の設定スイッ
チの切り換え操作に連動して前記目盛りの表示位置ある
いは前記情報信号に対するゲインを変更するようにして
いる。

（ニ）実施例 第１図は、本発明方法を適用するためのＥＰＭＡの概略
構成図である。同図において、ｌはＥＰＭＡ、２は分析
対象となる試料、４は電子ビーム発生部、６は二次電子
の検出器、８は検出器６から出力される情報信号を増幅
する増幅器、１０は二次電子像を表示するための二次電
子像表示モードと、試料面上の電子ビームの走査位置を
横軸に、情報信号の強度の大きさを縦軸にしたプロファ
イルを表示するためのプロファイル表示モードとを選択
ずろための表示モード切り換えスイッチ、１２は増幅器
８を通った情報信号を輝度変調信号に変換する輝度信号
変換回路、１４はＣＲＴモニタ、１６は電子ビーム発生
部４とＣＩ’（ＴモニタＩ４の偏向コイルとに互いに同
期した走査信号を与える走査電源である。

したがって、電子ビーム発生部４から発生された電子ビ
ームを試料２に照射しつつ、走査電源１６によってこの
電子ビームを試料２面上を二次元走査すると、試料２か
らは、電子ビームに励起されて二次電子が発生するので
、この二次電子が検出器６で検出される。検出器６から
は二次電子に基づく情報信号が出力されるで、この情報
信号が増幅器８で増幅される。そして、二次電子像をＣ
ＲＴモニタ１４に表示する場合には、増幅器８を通った
情報信号がモード切り換えスイッチ！０を介して輝度信
号変換回路１２に与えられ、ここで輝度変調信号に変換
されてＣＲＴモニタ１４に与えられる。

１８は上記プロファイルの高さの指標となるライン状の
目盛りを表示する信号を発生する目盛表示用回路、１９
は加算器、２０はコントラスト調整用のボリューム、２
２は増幅器８のゲインを制御するゲイン制御回路、２４
はフィルム感度の設定スイッチ、２６はゲイン制御回路
２２から出力されるゲイン制御信号に対して一定の係数
ｋを掛は算する掛は算器であり、フィルム感度に応じて
その係数ｋが変更される。２８はフィルム感度設定スイ
ッチ２４からの信号を掛は算器２６と目盛ライン表示回
路！４とに選択して出力する選択スイッチである。

次に、上記Ｅ　Ｐ　Ｍ　、Ａ　Ｉを使用した場合の二次
電子像の写真撮影時におけるコントラスト調整方法につ
いて説明する。

まず、電子ビームを試料面上で二次元走査する一方、表
示モード切り換えスイッチ１０を加算器１９側に切り換
えてプロファイル表示モードに設定し、増幅器８を通っ
た情報信号を表示モード切り換えスイッチｌＯを介して
加算器１９に与える。

このとき、目盛り表示用回路Ｉ８からライン状の目盛り
を表示する信号を発生し、この信号と前記情報信号とを
加算器１９で加算してＣＲＴモニタ１４に出力する。こ
うして、ＣＲＴモニタ１４の画面に、第２図（ａ）に示
すように、電子ビームの走査に伴なう情報信号の強度変
化を水平軸Ｘを中心としたプロファイルＰで表示すると
ともに、目盛りし３、Ｌ、を前記プロファイルＰに重ね
て表示する。そして、コントラスト調整用ボリューム２
０を操作してその信号をゲイン制御回路２２に与え、こ
れに応じてゲイン制御回路２２から出力されるゲイン制
御信号によって増幅器８のゲインを変化さける。すると
、これに伴ないプロファイルＰの高さが変化するので、
その高さを目盛りし３、Ｌ、の位置と比較してコントラ
ストを調整する。

コントラストの調整後は、表示モード切り換えスイッチ
１０を切り換えて二次電子像の表示モードとし、調整し
たコントラストの下で写真撮影を行なう。

画像撮影用のフィルムの感度を変更した場合には、その
フィルム感度に応じて設定スイッチ２４選択し、フィル
ム感度に対応したフィルム感度設定信号を発生させる。

そして、このフィルム感度設定信号を選択スイッチ２８
を介して目盛り表示用回路Ｉ８に与え、目盛り表示用回
路Ｉ８からの信号の出力タイミングを変更させる。これ
により、第２図（ｂ）に示すように、ＣＲＴモニタＩ４
に表示される目盛りし１、Ｌ２の表示位置がフィルム感
度に応じて変化される。すなわち、フィルム感度が高い
場合には、両目盛りＬｌ、Ｌ３間の幅が挟まり、逆に、
フィルム感度が低い場合には、両目盛りＬｌ、Ｌ３間の
幅が広がる。

あるいは、選択スイッチ２８を掛は算器２゛６側に接続
しておき、フィルム感度設定スイッチ２４からのフィル
ム感度設定信号を掛は算器２６に与えてもよい。この場
合は、掛は算器２６の係数ｋがフィルム感度に応じた値
に設定されるので、ゲイン制御回路２２から出力される
ゲイン制御信号に一定の係数ｋが掛は算される。このた
め、第２図（ｃ）に示すように、増幅器８で増幅される
情報信号のゲインがフィルム感度に応じて一様に変化さ
れる。すなわち、フィルム感度が高い場合には、ゲイン
が一様に増加し、逆に、フィルム感度が低い場合には、
ゲインが一様に減少する。

したがって、上記に引き続いて、コントラスト調整用ボ
リューム２０を操作して増幅器８のゲインを変化させ、
プロファイルＰの高さを目盛りＬｌ、Ｌ２の位置と比較
しながらコントラストを調整する。コントラストの調整
後は、表示モード切り換えスイッチ１０を切り換えて二
次電子像の表示モードとし、調整したコントラストの下
で写真撮影を行なう。

なお、この実施例では、二次電子像のコントラストの調
整について説明したが、これに限定されるものではなく
、イオンやＸ線などを励起源として得られる画像を写真
撮影する場合についても、本発明を適用できるのは勿論
である。

（ホ）効果 以上のように本発明によれば、試料から得られた情報信
号に基づく画像を撮影する際に、フィルム感度を変更し
た場合でも、常に情報信号のゲインを目盛りを指標とし
て調整すれば良いので、コントラストの調整が容易に誤
りなく行なえるようになる等の優れた効果が発−揮され
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法を適用するためのＥ　Ｐ　Ｍ　Ａの
概略構成図、第２図は本発明方法の実施例の説明図、第
３図はプロファイル表示の説明図である。 ８・・・増幅器、１４・・・ＣＲＴモニタ、２０・・ボ
リューム、２２・・・ゲイン制御回路、２４・・・フィ
ルム感度設定スイッチ、２６・・・掛は算器。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）電子ビームなどの励起源を試料面上で走査しつつ
   、該試料から得られる情報信号に基づく画像をＣＲＴモ
   ニタに表示し、この表示画像を写真撮影するに際して、
   予め、前記ＣＲＴモニタ画面上に励起源の走査に伴なう
   前記情報信号の強度変化をプロファイルで表示するとと
   もに、このプロファイルの高さの指標となる目盛りを前
   記プロファイルに重ねて表示し、プロファイルの高さを
   変化させて画像のコントラストを調整する方法であって
   、画像撮影用のフィルムの感度を変更する際に、フィル
   ム感度の設定スイッチの切り換え操作に連動して前記目
   盛りの表示位置あるいは前記情報信号に対するゲインを
   変更することを特徴とするコントラスト調整方法。