JPS62172255A - 半導体酵素センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ポリビニルピロリドンとＸ、Ｓ−ビス（ｑ
′−アジド−２′−スルホベンザル）シクロペンタノン
ナトリウム塩を含む水溶性感光樹脂を用いて水素イオン
感応性電界効果型トランジスタのイオン感応面上に固定
化酵素膜を形成させた新規な半導体酵素センサに関する
ものである。

〔従来の技術〕

血液や尿等体液中の各成分の濃度の測定は、臨床診断上
非常に重要であり、これまで各種の定量法の開発や改良
が行なわれてきた。その中で、固定化酵素膜と各種電極
を組合わせて迅速かつ連続測定の可能な半導体酵素セン
サが種々提案されている。

半導体酵素センサの一つとして提案されているグルコー
ス固定化膜と過酸化水素電極とを組合わせた方電のセン
サについて、その動作を説明する。

この半導体酵素センサはグルコースオキシダーゼを包括
固定化した膜やグルタルアルデヒドで架橋して固定化し
た膜を過酸化水素電極の感応部に装′　着して動作する
ことができるものである。試料液中のグルコースは、グ
ルコース固定化膜内で次式（ｔｌに従ってグルコノ−δ
−ラクトンと過酸化水素に分解され、前者はさらにグル
コン酸に加水分解される： ＯＯＨ ＣＯＨ ｏｃＨ ＣＯＨ ＣＯＨ 試料液中にグルコースが含まれていると反応式（１）に
より過酸化水素が生成するので、その過酸化水素を過酸
化水素電極で定量することによってグルコース濃度の測
定が可能である。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の半導体酵素センナでは、小型化の試
みが種々行われているが、下地電極を小型化することが
困難であるため、半導体酵素センサの小型化は本来的に
容易ではない。さらに、１個の半導体酵素センサで種々
の基質を同時に測定できるマルチ酵素センサとすること
は極めて困難である。また、固定化酵素膜を別個に調製
後下地電極に装着する必要がある等製作法が煩雑であり
、さらに構造も複雑なものとなる等の問題点があった。

この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、ポリビニルピロリドンと’　＋　５−ビス（Ｊ−
７ジドーコ′−スルホベンザル）シクロペンタノンナト
リウム塩を含む水溶性感光樹脂を用いて、固定化酵素膜
を水素イオン感応性電界効果型トランジスタ（ｐＨ−工
５ＦＥＴ）のイオン感応面圧直接形成し、小型化が容易
で、高感度かつ簡便な裏作法で作ることができる半導体
酵素センサを得ることを目的とする。

また、この発明の別の発明は、上記目的に加えて、固定
化酵素膜を複数のイオン感応性電界効果型トランジスタ
Ｉ’■５ＦＥＴ）のイオン感応面に直接形成し、マルチ
センナ化が容易で、高感度かつ簡便な製作法で作ること
ができるマルチ酵素センサを得ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る半導体酵素センサは、ポリビニルピロリ
ドンとコツＳ−ビス（ｕｌ−アジド−ｊ−スルホベンザ
ル）シクロペンタノンナトリウム塩とを含む水溶性感光
樹脂を用いてイオン感応面に固定化酵素膜が結合された
水素イオン感光性電界効果型トランジスタと、水素イオ
ン感応性電界効果型トランジスタと、参照電極とを備え
たものである。

また、この発明の別の発明に係るマルチ酵素センサは、
ポリビニルピロリドンと２，５−ビス（＆’−７ジドー
２′スルホベンザル）シクロペンタノンナトリウム塩と
を含む水溶性感光樹脂を用いて固定化酵素膜が結合され
る酵素センサであって、複数個のイオン感応性電界効果
型トランジスタのそれぞれのイオン感応面に異なる種類
の固定化酵素膜が結合されたイオン感応性電界効果型ト
ランジスタと、上記固定化酵素膜が結合されていないイ
オン感応性電界効果型トランジスタと、参照電極とを備
えたものである。

〔作　用〕

この発明においては、ポリビニルピロリドンとｓ、ｓ−
ビス（ψ′−アジドーλ′−スルホベンザル）シクロペ
ンタノンナトリウム塩とを含む水溶性感光樹脂を用いて
ｐＨ−工５ＦＥＴ上に固定化酵素膜が直接結合されるの
で、小型化が容易でかつ製作法が簡便であり、さらに十
分な寿命を有する半導体酵素センサが得られる。

この発明の別の発明においては、上記水溶性感光樹脂を
用いて複数のｌ５ＦＥＴ上に固定化＃素膜が直接結合さ
れるので、十分な寿命を有するマルチ酵素センナが容易
かつ簡便に製作することができる。

直接塗布、硬化することにより結合でき、また、フォト
リソグラフィー技術によりｐＨ−ｌ５ＦＥＴのイオン感
応面にパターニングすることができる。

この技術によってマルチ酵素センサが容易に得られる。

この発明では、非常に小さい（数ミリ程度）ｐＨ−ＩＳ
ＦＥＴを用い、そのイオン感応面に限定して固定化酵素
膜を結合石せるので、水溶性感光樹脂を用いて光照射箇
所を限定することにより、必要な場所のみに固定化酵素
膜Ｙ結合させることが可能である。

この発明は、複数のｌ５ＦＥＴを有する半導体素子上の
各ｌ５ＦＥＴのイオン感応面に異なる固定化酵素膜を光
感応性高分子を用いて結合させることニヨって、１個の
素子で複数の基質に感応するマルチ酵素センサを得るこ
とができる。このマルチ酵素センサは、独立の酵素セン
サとして個別の基質に感応するものとして用いることが
できるとともに、個別の酵素センサからの出力を、セン
サ外部もしくはセンサ素子上に設けられた情報処理回路
により総合的判断ができるインテリジェントセンサとす
ることも可能である。

また、上記半導体酵素センサ又はマルチ酵素センサの固
定化酵素膜乞形成する際、酵素と午血渭アルブミンが混
入された水溶性感光樹脂を７）Ｈ−ＩＳＦＥＴ又はｌ５
ＦＥＴ上に塗布、イ便化して固定化酵素膜を結合した後
、グルタルアルデヒド水浴液で処理することにより、固
定化酵素膜中のたん白’ｕ′ｆｆ相互架橋する化学架橋
によって、固定化酵素膜の機械的強度を高めることがで
きる。

次に、この発明による半導体酵素センサを図によって説
明する。

第１図はこの発明による酵素センサのり１視図であり、
第３図は第１図の酵素センサの下地１ｆ極としたｐＨ−
ｌ５ＦＥＴ素子の斜視図である。これらの図において、
下地電極であるｐＨ−ｌ５ＦＥＴ素子（１１はソース（
コ）及び（す）、ドレイン（，７１及び（ｓｌ、（擬似
）参照電極（６）、及びリード線（ワ）を備える。この
ｐＨ−ｌ５ＦＥＴ素子［１）は、ソース（２）とトンイ
ン（，７１からなる１個のｐＨ−ｌ５ＦＥＴ（Ａｌ、ソ
ース（ｕｌ及びドレイン（５）からなるもう１個のｐ）
Ｉ−ＩＳＦＥＴｆＢｌ並びに参照電極（６１から構成さ
れる複合型ｐＨ−ｌ５ＦＥＴ素子である。この素子は通
常の金属酸化置型電界効果トランジスタの製造法に準拠
して製作できる。ここで参照１１ｔ極（６）は例えば金
の蒸着膜である。ｐＨ−ｌ５Ｆ”ＥＴ（Ａｌ及びＴ）Ｈ
−Ｉ　Ｓ　ＦＥＴｒＢ）は各々単独で水素イオンに感応
するもので、ソース・ドレイン間に一定電圧をかけて両
者の間を流れる電流を測定するか、又はソース・ドレイ
ン間に一定電流を流すために必要なソース電圧を測定す
ることによって、溶液中のｐＨ（水素イオン濃度）を測
定することが可能である。

次に、ｐＨ−ｌ５ＦＥＴ快１の第１図中（ｇ＋の部分に
、基質との反応により水素イオン濃度の変化を伴う酵素
を固定化した膜を結合し、もう一方のｐＨ−Ｉ　Ｓ　Ｆ
　Ｅ　Ｔ　ｆＢｌにはそれを結合しない方式で酵素セン
サを製作する。試料溶液中に酵素と反応する基質があれ
ば固定化酵素膜内のｐＨは、固定化酵素膜Ｆ）ｆｘいｐ
Ｈ−ｌ５ＦＥＴ（Ｂｌでモニターされる試料溶液自体の
ｐＨと差？生じることになる。従って酵素センサは、コ
個のｐＨ−ｌ５ＦＥＴ（Ａｌ及び（Ｂｌそれぞれのソー
ス・ドレイン間に一定電流を流すために必要なソース電
圧を測定し、両ｐＨ−ｌ５ＦＥＴのソース電圧の差動出
力を増幅することによって、試料溶液中の基質濃度を測
定することができる。

第２図はこの発明の別の発明によるマルチ酵素センサの
斜視図であり、（／Ａ）はＩＳＦ’Ｂ’ｌ’素子。

（ｑｌはソース（２）及びドレイン（３）上に形成され
た固定化酵素膜、（ｌユ）はソース（ｔｐ）及びドレイ
ン（ｔｉ）上に形成された固定化酵素膜である。このマ
ルチ酵素センサは上記の半導体酵素セ／すと同様に作成
することができる。複数の固定化酵素膜に対応して複数
の種類の基質濃度を測定することができる。

〔実施例〕

以下、実施例に基づきこの発明を説明する。

実施例　１ 分子量約３６万のポリビニルピロリドンのｌＯ重ｔ％水
溶液に、２．５−ビス（ｑ′−アジドーー′−スルホベ
ンザル）シクロペンタノンナトリウム塩（東京応化工業
株式会社製）をポリビニルピロリドンに対して１０％程
度溶かした溶液を調製した。この水溶液Ｏ，コｄｉｒ（
グルコースオキシダーゼコｉｇを溶解し、均一な溶液と
した。このようにして得られた酵素・水溶性感光樹脂混
合水溶液を。

第１図中＜ｇ’ｒに示す部分、すなわち、ソース（２）
とドレイン（３）からなるｐＨ−ｌ５ＦＥＴのチャンネ
ル部分であるイオン感応面を覆うように広く塗布し、ス
ピナーを用いて均一な膜にするとともに乾燥させた。そ
の後、ｓｔｏｗの超高圧水銀灯を用い、酵素・水溶性感
光樹脂混合物にコ分間光照射して、グルコースオキシダ
ーゼ固定化酵素膜を形成した。

実施例　λ 実施例ｔで述べたｔＯ重量％の感光性樹脂水溶液Ｏ，コ
ｄに、コ０１１９のグルコースオキシダーゼと／Ｑｍ９
の牛血清アルブミンを加え均一な溶液とした。この溶液
を実施例７と同様に、第１図で示したようにソース（２
）とドレイン（３）から成るｐＨ−ｌ５ＦＥＴのイオン
感応面上に固定化酵素膜ｔｒ）を成膜した。

次に、この固定化酵素膜＋ｇｌの機械的強度を増大させ
る操作を行った。すなわち、２５％のグルタルアルデヒ
ド溶液中にグルコースオキシダーゼ固定化酵素膜な７０
分間浸漬し、たん白質分子間を化学結合により相互架橋
した。このグルコースオキシダーゼ固定化酵素膜良を緩
衝液で洗浄し、さらに、残存するグルタルアルデヒドを
除くために０，１Ｍのグリシン水溶液に１５分間浸漬し
、次いで、緩衝液で洗浄した。

以上のようにして作製したグルコースセンサの応答特性
を、０．ＯＩＭ酢酸緩ｍＷ（ｐＨｓ、ｓ）を用いてグル
コース濃度０−　ｙ、ｊｍＭの範囲で検討した。

第弘図にグルコース濃度ｔ）７ｒｎＭにおける本例グル
コースセンサの応答曲線を図示する。図中、矢印は試料
注入点である。第５図はこのグルコースセンサの検量線
を示す。第ｑ図かられかるように、このグルコースセン
サの応答は迅速であり、かつ第５図の曲線かられかるよ
うＩＣ０−ｔ、７ｒｎＭの範囲のグルコース濃度に対し
て直線応答する。また、とのセンサの寿命は６０日間と
十分長いものであった。

実施例　３ 実施例１で述べた７０重量％の水溶性感光樹脂７）［液
０．２　ｙＪに、コ叩のグルコースオキシダーゼを加え
均一な溶液とした。この溶液を実施例／と同様に、第１
図で示したよう和ソース（ユ１とドレイン（３）からな
る、、Ｈ−工５ＦＥＴのイオン感応面を覆うように塗布
し、スピナーを用いて酵素−水溶性感光樹脂混合物を均
一な膜にするとともに乾燥させた。次いで、第６図の（
テ）に示した部分にのみ光を照射するマスクを用いて、
イオン感応面の一部分にのみグルコースオキシダーゼ固
定化酵素膜を形成した。光照射は実施例１で述べたもの
と同一の装置及び条件により行った。

実施例　ｑ 実施例Ｉで述べた１０重ｔ％の水溶性感光樹脂水溶液θ
、２ｔｌに、コθ■のグルコースオキシダーゼとＩＱ１
１９の牛血清アルブミンを加え均一な溶液とした。この
溶液を実施例１と同様に第１図で示したようにソース（
＝１とドレイン（、？＋からなるｐＨ−工５ＦＥＴのイ
オン感応面を積うように塗布し、スピナーを用いて酵素
・水溶液感光樹脂混合物を均一な膜とするとともに乾燥
させた。次いで、実施例Ｊと同様な方法でグルコースオ
キシダーゼ固定化酵素膜を形成した後、２５％のグルタ
ルアルデヒド溶液中にグルコースオキシダーゼ固定化酵
素膜を１０分間浸漬し、たん白質分子間を化学結合によ
り相互架橋した。このグルコースオキシダーゼ固定化酵
素膜を緩衝液で洗浄し、さらに残存するグルタルアルデ
ヒドを除くために、０．　／　Ｍのグリシン水溶液にｔ
Ｓ分間浸漬した。次いで、このグルコースセンサを緩衝
液で洗浄した。

実施例　Ｓ 本実施例では、マルチ酵素センサの固定化酵素としてグ
ルコース検出の目的でグルコースオキシダーゼを、中性
脂質検出の目的でリパーゼをそれぞれ酵素として用いた
。

実施例１で述べたｔＯ重量％の水溶性感光樹脂水溶液０
．２−に対し、リバーゼコｙ１ｇを溶解した。

この溶液をｌ８ＦＥ’ｒ素子上に塗布し、スピナーを用
いて成膜するとともに乾燥した。この膜に第２図の（９
）の部分にのみ光を照射できるマスクを入れた賂光装悌
ζで１分間妬光することにより、（９）の部分のみ樹脂
を光硬化させた。（９）の部分以外の酵素水溶性感光樹
脂混合物を緩衝液にて溶解して除いた。

同様の操作をグルコースオキシダーゼについて行ない、
第２図の（１２）の部分にグルコースオキシダーゼ固定
化酵素膜を結合した。

実施例　６ 実施例１で述べたｌＯ重ｔ％の水溶性感光樹脂水浴液０
．２　ａｔに対し、リパーゼ１３８９及び牛血清アルブ
ミンｉ０’ａりを溶解した。この溶液をｐＨ−ｌ５ＦＥ
Ｔ上に塗布し、スピナーを用いて成膜するとともに乾燥
した。この膜に第二図の（ワ）の部分のみ光を照射し、
λ分間紫外線絡光することにより、Ｔｑｌの部分のみ樹
脂を光硬化させた。（ｑｌの部分以外の膜は水溶液にて
溶解して除いた。同様の操作を実施例コと同様な組成を
持つグルコースオキシダーゼを含んだ水溶性感光樹脂水
溶液を用いて行ない、第２図の（ｌユ）の部分にグルコ
ースオキシダーゼ固定化酵素膜を残した。得られた両固
定化酵素膜を２り％グルタルアルデヒド溶液にＩＱ分間
浸漬し、それぞれの固定化酵素膜中にあるたん白質間を
化学結合により相互架橋した。これらの固定化酵素膜を
緩衝液で洗浄し、さらに、残存するグルタルアルデヒド
を除くために、０．１Ｍグリシン水溶液に７５分間浸漬
した。次いで、このマルチ酵素センサを緩衝液で洗浄し
た。

次に、この実施例のマルチ酵素センサの応答について述
べる。第７図は、このマルチ酵素センサの出力の例であ
る。図中、矢印は試料注入点である。出力はグルコース
ｔ、／、？ｍＭ及びトリオレイン、７　ｍＭを含む２０
１１Ｍトリス−マレイン酸緩衝′ｇ！（ｐＨ７）を試料
としたときのものである。図中、曲＃ＡはＩＪ　ハーゼ
固定化酵素膜を有するｐＨ−工Ｓ　ＦＥＴと固定化酵素
膜のないｐＨ−ｌ５ＦＥＴの差動出力を示している。ト
リオレインは、リパーゼによる下記（２）式の反応によ
りオレイン酸に加水分解され、固定化酵素膜内のｐＥ（
−が低下するので、曲線Ａのような出力が得られる。

ＣＨＯＣＯＣ１７Ｈ３３＋ＪＨｓＯ→ＣＨＯＨ＋、？Ｃ
／７ＨＪ７ＣＯＱＨＩ ＣＨａＯＣＯＣｎＨａｙ　　　　　　　　ＣＨａＯＨＬ
２１一方、図中曲線Ｂはグルコースオキシダーゼ固定化
酵素膜を有するｐＨ−ｌ５ＦＥＴと固定化酵素膜のない
ｐＨ−工５ＦＥＴとの間の差動出力を示している。グル
コースは前記反応式（ハで示されるように、酸性物質で
あるグルコン酸に変化し、固定化酵素膜内のｐＨが低下
するので１曲線Ｂのような出力が得られる。

このマルチ酵素センナは、グルコース濃度０〜Ｊ　ｍ　
Ｍ　ｓ　トリオレイン濃度０〜ｕ　ｍＭの範囲で測定可
能であった。

なお、上記実施例ではゲート電圧を与えるものとして貴
金属薄膜よりなる擬似参照電圧を用いた例を示したが、
銀番塩化銀電極等の安定な参照電極を用いてもよい。ま
た酵素にグルコースオキシダーゼ及びリパーゼを用いた
例を示したが、他種の酵素を用いて種々の基質に感応す
る半導体酵素センナやマルチ酵素センサとすることがで
きる。

〔発明の効果〕

この発明は以上説明したとおり、ポリビニルピロリドン
と２，５−ビス（ｑ′−アジドーユ′−スルホベンザル
）シクロペンタノンナトリウム塩を含む水溶性感光樹脂
を用いて固定化酵素膜がイオン感応面に結合された水素
イオン感応性電界効果型トランジスタと、水素イオン感
応性電界効果型トランジスタと、参照電極とを備えたこ
とにより。

小型化が容易でかつ製作法が簡便であり、さらに十分な
寿命を有する半導体酵素センサが得られる効果がある。

また、この発明の別の発明は、ポリビニルピロリドンと
２．Ｓ−ビス（ｌ′−アジドーー′−スルホベンザル）
シクロペンタノンナトリウム塩を含む水溶性感光樹脂を
用いて固定化酵素膜が結合される酵素センサであって、
複数個のイオン感応性電界効果型トランジスタのそれぞ
れのイオン感応面に異なる種類の固定化酵素膜が結合さ
れたイオン感応性電界効果型トランジスタと、上記固定
化酵素膜が結合されていないイオン感応性電界効果型ト
ランジスタと、参照電極とを備えたことにより。

１個の素子で複数の基質に感応するマルチ酵素センサを
得ることができ、さらに、個別の酵素センサからの出力
をセンナ外部もしくはセンサ素子上に設けられた情報処
理回路により総合的判断ができるインテリジェントセン
サとすることもできる効果がある。

また、上記半導体酵素センサ及びマルチ酵素センサの固
定化酵素膜を形成する際、牛血清アルブミンを含む固定
化酵素膜をグルタルアルデヒド水溶液で処理することに
より、化学架橋によって固定化酵素膜の機械的強度を高
めることができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による半導体酵素センサの斜視図、第
一図はこの発明の別の発明によるマルチ酵素センサの斜
視図、第３図は第１図の半導体酵素センサの下地電極で
あるｐＨ−ｌ５ＦＥＴ素子の斜視図、第ψ図は第１図の
半導体センサの応答曲線を示す線図、第５図は実施例コ
におけるグルコースセンサの検ｔ−線を示す線図、第６
図は実施例３におけるグルコースセンサの斜視図、第７
図は第一図のマルチ酵素センサの応答曲線を示す線図で
ある。 図において、（１）はｐＨ−ｌ５ＦＥＴ素子、（／Ａ）
は工５ＦＥＴ素子、（コｌ、（＜（１，（ｌθ）はソー
ス、（Ｊｌ　、　Ｉｓｌ　。 （ｔｉ）はドレイン、（６）は参照電極、（７）はリー
ド線、（ｔ　）　＋　（／　２　）はグルコースオキシ
ダーゼ固定化酵素膜、（？）はリパーゼ固定化酵素膜で
ある。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示すもの
とする。 Ｐ−″　ぐ　い　［Ｆ］　の への 糾す 出力（ｍＶ） デ几フース濃度（ｍＭ） 巴　７７　　（ｍＶ） 手続補正書（自発） 昭和６１キ　３υ１９日

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）ポリビニルピロリドンと２，５−ビス（４′−ア
   ジド−２′−スルホベンザル）シクロペンタノンナトリ
   ウム塩とを含む水溶性感光樹脂を用いてイオン感応面に
   固定化酵素膜が結合された水素イオン感応性電界効果型
   トランジスタと、水素イオン感応性電界効果型トランジ
   スタと、参照電極とを備えたことを特徴とする半導体酵
   素センサ。
2. （２）固定化酵素膜が、酵素とポリビニルピロリドンと
   ２，５−ビス（４′−アジド−２′−スルホベンザル）
   シクロペンタノンナトリウム塩とを含む水溶性感光樹脂
   水溶液を水素イオン感応性電界効果型トランジスタのイ
   オン感応面に直接塗布、硬化されたものである特許請求
   の範囲第１項記載の半導体酵素センサ。
3. （３）固定化酵素膜が、酵素と牛血清アルブミンとポリ
   ビニルピロリドンと２，５−ビス（４′−アジド−２′
   −スルホベンザル）シクロペンタノンナトリウム塩とを
   含む水溶性感光樹脂水溶液を水素イオン感応性電界効果
   型トランジスタ上に塗布し、塗布した水溶性感光樹脂を
   紫外線で硬化後グルタルアルデヒド水溶液に浸漬するこ
   とによる化学架橋で機械的強度を高めたものである特許
   請求の範囲第１項記載の半導体酵素センサ。
4. （４）固定化酵素膜が、フォトリソグラフィー技術を用
   いて水素イオン感応性電界効果型トランジスタのイオン
   感応面にパターニングされたものである特許請求の範囲
   第１項から第３項のいずれかに記載の半導体酵素センサ
   。
5. （５）ポリビニルピロリドンと２，５−ビス（４′−ア
   ジド−２′−スルホベンザル）シクロペンタノンナトリ
   ウム塩とを含む水溶性感光樹脂を用いて固定化酵素膜が
   結合される酵素センサであつて、複数個のイオン感応性
   電界効果型トランジスタのそれぞれのイオン感応面に異
   なる種類の固定化酵素膜が結合されたイオン感応性電界
   効果型トランジスタと、上記固定化酵素膜が結合されて
   いないイオン感応性電界効果型トランジスタと、参照電
   極とを備えたことを特徴とするマルチ酵素センサ。
6. （６）固定化酵素膜が、酵素とポリビニルピロリドンと
   ２，５−ビス（４′−アジド−２′−スルホベンザル）
   シクロペンタノンナトリウム塩とを含む水溶性感光樹脂
   水溶液をイオン感応性電界効果型トランジスタのイオン
   感応面に直接塗布、硬化されたものである特許請求の範
   囲第５項記載のマルチ酵素センサ。
7. （７）固定化酵素膜が、酵素と牛血清アルブミンとポリ
   ビニルピロリドンと２，５−ビス（４′−アジド−２′
   −スルホベンザル）シクロペンタノンナトリウム塩とを
   含む水溶性感光樹脂水溶液をイオン感応性電界効果型ト
   ランジスタ上に塗布し、塗布された水溶性感光樹脂を紫
   外線で硬化後グルタルアルデヒド水溶液に浸漬すること
   による化学架橋で機械的強度を高めたものである特許請
   求の範囲第５項記載のマルチ酵素センサ。
8. （８）固定化酵素膜が、フォトリソグラフィー技術を用
   いてイオン感応性電界効果型トランジスタのイオン感応
   面にパターニングされたものである特許請求の範囲第５
   項から第７項のいずれかに記載のマルチ酵素センサ。