JPS6039547A - マルチ酵素センサ - Google Patents
マルチ酵素センサInfo
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- JPS6039547A JPS6039547A JP58147593A JP14759383A JPS6039547A JP S6039547 A JPS6039547 A JP S6039547A JP 58147593 A JP58147593 A JP 58147593A JP 14759383 A JP14759383 A JP 14759383A JP S6039547 A JPS6039547 A JP S6039547A
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- Japan
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- immobilized enzyme
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/414—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS
- G01N27/4145—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS specially adapted for biomolecules, e.g. gate electrode with immobilised receptors
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は小型の半導体素子上に複数個の酵素センサを設
けたワンチップマルチ酵素センサに関スるものである。
けたワンチップマルチ酵素センサに関スるものである。
各種体液中の基質濃度の測定を目的としてこれまで種々
の酵素センサが開発され、臨床医学的にもその有用性が
証明されつつある。例えばグルコースセ／す、尿素セン
サ、尿酸センサ等がこの例である。酵素センサは医学的
応用に留まらず、環境計測や工業計測制御用としても用
いられることが期待されている。
の酵素センサが開発され、臨床医学的にもその有用性が
証明されつつある。例えばグルコースセ／す、尿素セン
サ、尿酸センサ等がこの例である。酵素センサは医学的
応用に留まらず、環境計測や工業計測制御用としても用
いられることが期待されている。
従来の酵素センサは、各種の電気化学的デバイス、例え
ば過酸化水素電極、酸素電極、アンモニア電極等を下地
電極としてその感応面に各種の固定化酵素膜を装着した
もので、単一の基質罠対して感応するものであった。こ
の従来の酵素センサは小型化が困難であることなどの欠
点を有するために、酵素センサの小型化の試みも行われ
ている。
ば過酸化水素電極、酸素電極、アンモニア電極等を下地
電極としてその感応面に各種の固定化酵素膜を装着した
もので、単一の基質罠対して感応するものであった。こ
の従来の酵素センサは小型化が困難であることなどの欠
点を有するために、酵素センサの小型化の試みも行われ
ている。
そのひとつとして、小型の半導体イオノセンサである水
素イオン感応性電界効果型トランジスタ〔ｐＨ−ｌ８Ｆ
ＥＴ）と固定化酵素膜を組合せた酵素センサが報告され
ている（ Ｓ 、Ｃａｒａｓ等、ＡｎａＬ、Ｃｈｅｍ
−！コ、／９３！（／９１：０年）宮原等、電気通信学
会技術研究報告ＣＰＭｇコーざＯ）〕。
素イオン感応性電界効果型トランジスタ〔ｐＨ−ｌ８Ｆ
ＥＴ）と固定化酵素膜を組合せた酵素センサが報告され
ている（ Ｓ 、Ｃａｒａｓ等、ＡｎａＬ、Ｃｈｅｍ
−！コ、／９３！（／９１：０年）宮原等、電気通信学
会技術研究報告ＣＰＭｇコーざＯ）〕。
しかしながらこれらの酵素センサは、前者についてはそ
の下地電極の構造から小型化すること自体が困難であり
、さらにマルチ酵素センサとすることは極めて困難であ
る。また、後者の半導体イオンセンサを下地電極とする
ものについても、用いている固定化法からマルチ酵素膜
／すとすることは困難であるとなどの欠点があった。
の下地電極の構造から小型化すること自体が困難であり
、さらにマルチ酵素センサとすることは極めて困難であ
る。また、後者の半導体イオンセンサを下地電極とする
ものについても、用いている固定化法からマルチ酵素膜
／すとすることは困難であるとなどの欠点があった。
本発明は従来のものの欠点を除去するためになされたも
ので、複数のイオン感応性電界効果型トランジスタ（Ｉ
ＳＦＥＴ）を′有する半導体素子上の各ｌ５ＦＥＴのイ
オン感応面に異なる固定化酵素膜を光感応性高分子を用
いて装着することによって、１個の素子で複数の基質に
感応するマルチ酵素膜／質に感応するものとして用いる
ことができるとともに、個別の酵素センサからの出力な
センサ外部もしくはセンサ素子上に設けられた情報処理
回路により総合的判断ができるインテリジェントセンサ
とすることも可能なものである。
ので、複数のイオン感応性電界効果型トランジスタ（Ｉ
ＳＦＥＴ）を′有する半導体素子上の各ｌ５ＦＥＴのイ
オン感応面に異なる固定化酵素膜を光感応性高分子を用
いて装着することによって、１個の素子で複数の基質に
感応するマルチ酵素膜／質に感応するものとして用いる
ことができるとともに、個別の酵素センサからの出力な
センサ外部もしくはセンサ素子上に設けられた情報処理
回路により総合的判断ができるインテリジェントセンサ
とすることも可能なものである。
以下本発明のマルチ酵素センサを図に基づいて説明する
。
。
第１図は本発明によるマルチ酵素センサの下地電極とし
て用いた複数のｐＨ−ｌ５ＦＥＴを有する半導体素子の
正面図で、／は半導体素子、コは（疑似）参照電極とし
て用いる金などの不活性金属の蒸着膜、、７．ｊ−、？
及びワはソース、ｖ、６．ざ及び１０はドレイ／である
。この半導体素子ｌは、ソース３−ドレイン弘からなる
ｐＨ−ｌ５ＦＥＴ、同じく左、６からなるｐＨ−ｌ５Ｆ
ＦｉＴ −７、ｔからなるｐＨ−ｌ８ＦＥＴ 、ｑ 、
ｔ ＯからなるｐＨ−ｌ５ＦＥＴのダ個のｐＨ−ｌ５
ＦＥＴを有するものである。この半導体素子は通常の電
界効果型トランジスタの製造法と類似の製造法によって
作られたもので、１個のｐＨｌ８ＦＥＴは独立に水素イ
オン濃度（ｐＨ）に応じた出力を与えるものである。
て用いた複数のｐＨ−ｌ５ＦＥＴを有する半導体素子の
正面図で、／は半導体素子、コは（疑似）参照電極とし
て用いる金などの不活性金属の蒸着膜、、７．ｊ−、？
及びワはソース、ｖ、６．ざ及び１０はドレイ／である
。この半導体素子ｌは、ソース３−ドレイン弘からなる
ｐＨ−ｌ５ＦＥＴ、同じく左、６からなるｐＨ−ｌ５Ｆ
ＦｉＴ −７、ｔからなるｐＨ−ｌ８ＦＥＴ 、ｑ 、
ｔ ＯからなるｐＨ−ｌ５ＦＥＴのダ個のｐＨ−ｌ５
ＦＥＴを有するものである。この半導体素子は通常の電
界効果型トランジスタの製造法と類似の製造法によって
作られたもので、１個のｐＨｌ８ＦＥＴは独立に水素イ
オン濃度（ｐＨ）に応じた出力を与えるものである。
第一図は第１図の半導体素子ｌ上のそれぞれ３と＜Ｚ、
、Ｓ−と６および７とｇから成る３個のｐＨ−ｌ５ＦＥ
Ｔのイオン感応面上に３種の固定化酵素膜／／、／コ及
び／３を装着したマルチ酵素センサを示す。これらの固
定化酵素膜は、光感応性高分子溶液に酵素溶液を混合溶
解もしくは分散させた溶液を用い、フォトリゾグラフィ
ー技術により、光感応性高分子を架橋反応等により不溶
化して調製したものである。ワとＩＯから成るｐＨ−ｌ
８ＦＥＴには固定化酵素膜を装着せず、直接被験溶液と
接する構造になっている。上記の固定化酵素膜が被験液
中の基質を分解し、それに伴って固定化酵素膜内のｐＨ
が変化するような酵素を用いると、基質の濃度に応じて
固定化酵素膜内のｐＨは被験溶液自身のｐＨと差を生じ
ることになる。このｐａの差は固定化酵素Ｍをもつ３と
グ、５とＡ、ｔと３からなるｐ）Ｔ−ＩＳＦＥＴの各出
力と、固定化酵素膜をもたないデと１０からなるｐＨ−
ｌ５ＦＥＴの出力との差に現われることになるので、基
質の濃度の測定が可能となる。３個の固定化酵素膜／／
。
、Ｓ−と６および７とｇから成る３個のｐＨ−ｌ５ＦＥ
Ｔのイオン感応面上に３種の固定化酵素膜／／、／コ及
び／３を装着したマルチ酵素センサを示す。これらの固
定化酵素膜は、光感応性高分子溶液に酵素溶液を混合溶
解もしくは分散させた溶液を用い、フォトリゾグラフィ
ー技術により、光感応性高分子を架橋反応等により不溶
化して調製したものである。ワとＩＯから成るｐＨ−ｌ
８ＦＥＴには固定化酵素膜を装着せず、直接被験溶液と
接する構造になっている。上記の固定化酵素膜が被験液
中の基質を分解し、それに伴って固定化酵素膜内のｐＨ
が変化するような酵素を用いると、基質の濃度に応じて
固定化酵素膜内のｐＨは被験溶液自身のｐＨと差を生じ
ることになる。このｐａの差は固定化酵素Ｍをもつ３と
グ、５とＡ、ｔと３からなるｐ）Ｔ−ＩＳＦＥＴの各出
力と、固定化酵素膜をもたないデと１０からなるｐＨ−
ｌ５ＦＥＴの出力との差に現われることになるので、基
質の濃度の測定が可能となる。３個の固定化酵素膜／／
。
１２及び１３には各々別個の酵素を固定化できるので、
本発明のマルチ酵素センサでは同時に３種の基質濃度の
測定が可能である。
本発明のマルチ酵素センサでは同時に３種の基質濃度の
測定が可能である。
次実施例に基づき本発明のマルチ酵素センサをさらに詳
細に述べる。
細に述べる。
本実施例ではマルチ酵素センサの固定化酵素として、グ
ルコース検出の目的でグルコースオキシダーゼを、尿素
検出の目的でワレアーゼを、尿酸検出の目的でウリカー
ゼをぞれぞれ酵素として用イタ。用いた光感応性高分子
はポリビニアルコールの水酸基に１１−メチル−ｐ−ポ
ルミルスチリルピリジニウムメトサルフェートを付加し
た（付加率はポリビニルアルコールの水４ｏ ｇに対し
て。ｇモル％）光感応性樹脂（特開昭＆４−Ｊ？１．Ｉ
号公報に記載）のＳＭ量％水溶液を調製した。この水溶
液１ＩＲ１に対してグルコースオキシダーゼ、２！Ｗ／
を溶解した。この溶液を半導体素子表面全体に塗布し、
スピナーを用いて成膜するとともに乾燥した。半導体素
子上の酵素を含む光感応性高分子の膜に、第２図のｉ／
の部分にのみ光を照射するマスクを入れた露光装置（３
左ＯＷの超高圧水銀灯からの光を３３０ηｍのカットオ
フフィルタ忙通した光を用いた）で３分間光を照射した
。この照射によってｔｉの部分のみに光感応性高分子が
架橋し水に不溶となる。照射後半導体素子をｐＨ７の緩
衝液に１公租度浸漬し、／／の部分以外の酵素・光感応
性高分子膜な水に溶解して除いた。
ルコース検出の目的でグルコースオキシダーゼを、尿素
検出の目的でワレアーゼを、尿酸検出の目的でウリカー
ゼをぞれぞれ酵素として用イタ。用いた光感応性高分子
はポリビニアルコールの水酸基に１１−メチル−ｐ−ポ
ルミルスチリルピリジニウムメトサルフェートを付加し
た（付加率はポリビニルアルコールの水４ｏ ｇに対し
て。ｇモル％）光感応性樹脂（特開昭＆４−Ｊ？１．Ｉ
号公報に記載）のＳＭ量％水溶液を調製した。この水溶
液１ＩＲ１に対してグルコースオキシダーゼ、２！Ｗ／
を溶解した。この溶液を半導体素子表面全体に塗布し、
スピナーを用いて成膜するとともに乾燥した。半導体素
子上の酵素を含む光感応性高分子の膜に、第２図のｉ／
の部分にのみ光を照射するマスクを入れた露光装置（３
左ＯＷの超高圧水銀灯からの光を３３０ηｍのカットオ
フフィルタ忙通した光を用いた）で３分間光を照射した
。この照射によってｔｉの部分のみに光感応性高分子が
架橋し水に不溶となる。照射後半導体素子をｐＨ７の緩
衝液に１公租度浸漬し、／／の部分以外の酵素・光感応
性高分子膜な水に溶解して除いた。
同様の操作をウレアーゼ、ウリカーゼについて行ない、
第一図のｌコ、／３の部分に各々固定化ウレアーゼ膜、
固定化ウリカーゼ膜を装着した。
第一図のｌコ、／３の部分に各々固定化ウレアーゼ膜、
固定化ウリカーゼ膜を装着した。
このようにして３種の固定化酵素膜を装着した半導体素
子はリード線をボンディングし、水に対する絶縁を施し
て実際のマルチ酵素センサとして用いることができる。
子はリード線をボンディングし、水に対する絶縁を施し
て実際のマルチ酵素センサとして用いることができる。
なおこの実施例では半導体素子レベルの固定化酵素膜の
装着法について述べたが、ウェーハ状態での装着につい
ても同様に実施することかできる。
装着法について述べたが、ウェーハ状態での装着につい
ても同様に実施することかできる。
次に本実施例のマルチ酵素センサの応答につい及び尿酸
ざｔ） 欝ｇ ／ Ｊ、を含む０．０．２ Ｍのりん酸
緩衝液を試料としたときの出力である。図中曲線Ａはソ
ース３．ドレインｌから成る固定化グルコースオキシダ
ーゼ膜を有するｐＨ−ｌ５ＦＥＴとソース９゜ドレイン
１０からなる固定化酵素膜のないｐＨ” −ＩＳＦ’Ｅ
Ｔ との間の差動出力を示している。グルコースはグル
コースオキシダーゼによって次式により分解され、酸性
物質であるグルコン酸に変化し、グルコース＋０コ→グ
ルコノ−δ−ラク）７＋Ｈ，Ｏコ↑↓ グルコン酸 （１） ／／で示した固定化グ４・コースオギシダーゼ膜内のｐ
Ｈは減少するので、９とｌθから成るｐＨ−ｌ５ＦＥＴ
の出力との間に第３図曲線Ａのような出力が得られる。
ざｔ） 欝ｇ ／ Ｊ、を含む０．０．２ Ｍのりん酸
緩衝液を試料としたときの出力である。図中曲線Ａはソ
ース３．ドレインｌから成る固定化グルコースオキシダ
ーゼ膜を有するｐＨ−ｌ５ＦＥＴとソース９゜ドレイン
１０からなる固定化酵素膜のないｐＨ” −ＩＳＦ’Ｅ
Ｔ との間の差動出力を示している。グルコースはグル
コースオキシダーゼによって次式により分解され、酸性
物質であるグルコン酸に変化し、グルコース＋０コ→グ
ルコノ−δ−ラク）７＋Ｈ，Ｏコ↑↓ グルコン酸 （１） ／／で示した固定化グ４・コースオギシダーゼ膜内のｐ
Ｈは減少するので、９とｌθから成るｐＨ−ｌ５ＦＥＴ
の出力との間に第３図曲線Ａのような出力が得られる。
同様に尿素の場合は次式に示すようＫ Ｈ”が消費され
。
。
尿素＋、２ＨコＱ＋Ｈ→ → ＪＮＨ： 十Ｈｃｏ；
（コ）固定化ウレアーゼ膜７．２内のｐｉ（は増大する
ことになり、第３図曲線Ｂに示したように固定化ウレア
ーゼ膜ｌコをもつｊ、６から成るｐＨ−ｌ５ＦＥＴと、
９．１０からなるｐＨ−ｌ８ＦＥＴ間の差動出力はグル
コースの場合の出力とは逆方向に生ずることになる。最
後に尿酸の場合は（Ｊ）式に従いクリカーゼによって尿
酸が分解され、 尿酸十 ０λ →アラントイン＋Ｈ−０コ ＋ ＣＯコ
（３）酸性物質である尿酸が減少するため、固定化ウリ
カーゼ膜／３中のｐＨは増大する。従って固定化ウリカ
ーゼ膜１３を有する７、１ｒから成るｐＨ−ＩＳＦ１３
；Ｔと９，１０から成るｐＨ−ｌ５ＦＥＴ間の差動出力
は第３図曲線Ｃのよ５ｉＣなる。
（コ）固定化ウレアーゼ膜７．２内のｐｉ（は増大する
ことになり、第３図曲線Ｂに示したように固定化ウレア
ーゼ膜ｌコをもつｊ、６から成るｐＨ−ｌ５ＦＥＴと、
９．１０からなるｐＨ−ｌ８ＦＥＴ間の差動出力はグル
コースの場合の出力とは逆方向に生ずることになる。最
後に尿酸の場合は（Ｊ）式に従いクリカーゼによって尿
酸が分解され、 尿酸十 ０λ →アラントイン＋Ｈ−０コ ＋ ＣＯコ
（３）酸性物質である尿酸が減少するため、固定化ウリ
カーゼ膜／３中のｐＨは増大する。従って固定化ウリカ
ーゼ膜１３を有する７、１ｒから成るｐＨ−ＩＳＦ１３
；Ｔと９，１０から成るｐＨ−ｌ５ＦＥＴ間の差動出力
は第３図曲線Ｃのよ５ｉＣなる。
このマルチ酵素センサはグルコース濃度Ｓ〜６θθ■／
ｊ−１尿素濃度ｌθ〜ｌθｏｏｏｍｇ／Ｊ−、尿酸濃度
ｌθ〜５０００ｍｇ／Ｊ−の各範囲で直線応答を与える
。また寿命については、２５日間の連続使用に対して３
種の基質に対する感度の低下は各々３％以下であった。
ｊ−１尿素濃度ｌθ〜ｌθｏｏｏｍｇ／Ｊ−、尿酸濃度
ｌθ〜５０００ｍｇ／Ｊ−の各範囲で直線応答を与える
。また寿命については、２５日間の連続使用に対して３
種の基質に対する感度の低下は各々３％以下であった。
本実施例ではゲート電圧を与えるものとして貴金属Ｒ膜
よりなる疑似参照電極を用いた例を示したが、銀・塩化
＃！電極等の安定な参照電極を用いてもよい。また酵素
にグルコースオキシダーゼ。
よりなる疑似参照電極を用いた例を示したが、銀・塩化
＃！電極等の安定な参照電極を用いてもよい。また酵素
にグルコースオキシダーゼ。
ウレアーゼ、ウリカーゼを用いた例を示したが。
他種の酵素を用いて種々の基質に感応するマルチ酵素セ
ンサとすることができる。また酵素の固定化に用いた光
感応性高分子も酵素の失活の少ないものであれば、他種
のもの例えばポリエチレングリコールジメタクリレート
（増感剤として例えばべ／ジインエチルエーテルを加え
たもの）、ポリビニルアルコール（架橋剤としてジアジ
ド化合物を混合したもの）等を用いることができる。ま
た下地電極としてｐＨ−よりＦＦ、Ｔを使用した例を示
したが、併用する酵素反応によっては、他種のｌ５ＦＥ
Ｔを用いることができる。
ンサとすることができる。また酵素の固定化に用いた光
感応性高分子も酵素の失活の少ないものであれば、他種
のもの例えばポリエチレングリコールジメタクリレート
（増感剤として例えばべ／ジインエチルエーテルを加え
たもの）、ポリビニルアルコール（架橋剤としてジアジ
ド化合物を混合したもの）等を用いることができる。ま
た下地電極としてｐＨ−よりＦＦ、Ｔを使用した例を示
したが、併用する酵素反応によっては、他種のｌ５ＦＥ
Ｔを用いることができる。
以上のように本発明によれば、複数のＴ、５ＦＥＴを有
する半導体素子上に各々相異なる固定化酵素膜を装着す
ることによって、１個の素子で複数の基質に感応するマ
ルチ酵素センサが提供できる。
する半導体素子上に各々相異なる固定化酵素膜を装着す
ることによって、１個の素子で複数の基質に感応するマ
ルチ酵素センサが提供できる。
このため、多項目同時分析が少量の試料で可能で享
あり、またインテリジェント化の容易なマルチ酵素セン
サが得られる。
サが得られる。
第１図は本発明によるマルチ酵素膜／すの下地電極とし
て用いた複数のｐＨ−ｌ５ＦＥＴを有する半導体素子の
正面図、第一図は本発明によるマルチ酵素センサの正面
図、第３図は本発明の実施例によるマルチ酵素センサの
３種の基質に対する応答曲線を示す線図である。 ｌ・・半導体素子、λ・・疑似参照電極、３゜ｓ、ｑ、
ｑ・・ソース、す、６．ざ、ＩＱ・・ドレイン、／ｌ、
／、２．／３・・固定化酵素膜。 代理人 大 岩 増 雄 焔１図 手続補正書「自発」 １．事件の表示 特願昭Ｓざ一／１Ｉ７Ａ；？３号２、
発明の名称 マルチ酵素センナ ３、補正をする者 代表者片山仁へ部 ４、代理人 （１）明細書の発明の詳細な説Ｗ」の欄６、補正の内容
て用いた複数のｐＨ−ｌ５ＦＥＴを有する半導体素子の
正面図、第一図は本発明によるマルチ酵素センサの正面
図、第３図は本発明の実施例によるマルチ酵素センサの
３種の基質に対する応答曲線を示す線図である。 ｌ・・半導体素子、λ・・疑似参照電極、３゜ｓ、ｑ、
ｑ・・ソース、す、６．ざ、ＩＱ・・ドレイン、／ｌ、
／、２．／３・・固定化酵素膜。 代理人 大 岩 増 雄 焔１図 手続補正書「自発」 １．事件の表示 特願昭Ｓざ一／１Ｉ７Ａ；？３号２、
発明の名称 マルチ酵素センナ ３、補正をする者 代表者片山仁へ部 ４、代理人 （１）明細書の発明の詳細な説Ｗ」の欄６、補正の内容
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）複数個のイオン感応性電界効果型トランジスタの
イオン感応面それぞれに異なる種類の固定化酵素膜を装
着したイオン感応性電界効果型トランジスタと、上記固
定化酵素膜°を装着しないイオン感応性電界効果型トラ
ンジスタと、参照電極とを備えたことを特徴とするマル
チ酵素センサ。 （コ）固定化酵素膜が光感応性高分子を用いて装着され
る特許請求の範囲第１項記載のマルチ酵素センサ。 （３）固定化酵素膜の装着が、光感応性高分子を用いフ
ォトリゾグラフィー技術により必要な部分のみに行われ
る特許請求の範囲第１項記載のマルチ酵素センサ。 （す） イオン感応性電界効果型トランジスタが水素イ
オン感応性電界効果型トランジスタである特許請求の範
囲第７項記載のマルチ酵素センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58147593A JPS6039547A (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | マルチ酵素センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58147593A JPS6039547A (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | マルチ酵素センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6039547A true JPS6039547A (ja) | 1985-03-01 |
| JPH0365866B2 JPH0365866B2 (ja) | 1991-10-15 |
Family
ID=15433855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58147593A Granted JPS6039547A (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | マルチ酵素センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6039547A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61262652A (ja) * | 1985-05-17 | 1986-11-20 | Nok Corp | グルコースセンサー |
| JPS6232351A (ja) * | 1985-08-06 | 1987-02-12 | Nok Corp | 酵素センサ− |
| JPS6354300A (ja) * | 1986-08-26 | 1988-03-08 | 凸版印刷株式会社 | 転写化粧板の製造方法 |
| JPH01203960A (ja) * | 1988-02-10 | 1989-08-16 | Nec Corp | 電気化学センサ |
| JPH04254750A (ja) * | 1990-08-21 | 1992-09-10 | Byung Ki Sohn | 感イオン電界効果トランジスタを利用するバイオセンサー用測定回路 |
| JP2008226852A (ja) * | 2000-11-08 | 2008-09-25 | Tempearl Ind Co Ltd | 回路遮断器の取付構造 |
| US8502277B2 (en) | 2003-08-29 | 2013-08-06 | Japan Science And Technology Agency | Field-effect transistor, single-electron transistor and sensor using the same |
Citations (2)
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| JPS57104851A (en) * | 1980-12-23 | 1982-06-30 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | Semiconductor sensor |
-
1983
- 1983-08-12 JP JP58147593A patent/JPS6039547A/ja active Granted
Patent Citations (2)
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| JPS6232351A (ja) * | 1985-08-06 | 1987-02-12 | Nok Corp | 酵素センサ− |
| JPS6354300A (ja) * | 1986-08-26 | 1988-03-08 | 凸版印刷株式会社 | 転写化粧板の製造方法 |
| JPH0729517B2 (ja) * | 1986-08-26 | 1995-04-05 | 凸版印刷株式会社 | 転写化粧板の製造方法 |
| JPH01203960A (ja) * | 1988-02-10 | 1989-08-16 | Nec Corp | 電気化学センサ |
| JPH04254750A (ja) * | 1990-08-21 | 1992-09-10 | Byung Ki Sohn | 感イオン電界効果トランジスタを利用するバイオセンサー用測定回路 |
| JP2008226852A (ja) * | 2000-11-08 | 2008-09-25 | Tempearl Ind Co Ltd | 回路遮断器の取付構造 |
| US8502277B2 (en) | 2003-08-29 | 2013-08-06 | Japan Science And Technology Agency | Field-effect transistor, single-electron transistor and sensor using the same |
| US8766326B2 (en) | 2003-08-29 | 2014-07-01 | Japan Science And Technology Agency | Field-effect transistor, single-electron transistor and sensor |
| US8772099B2 (en) | 2003-08-29 | 2014-07-08 | Japan Science And Technology Agency | Method of use of a field-effect transistor, single-electron transistor and sensor |
| US9506892B2 (en) | 2003-08-29 | 2016-11-29 | Japan Science And Technology Agency | Field-effect transistor, single-electron transistor and sensor using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0365866B2 (ja) | 1991-10-15 |
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