JPS6217133U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の第１実施例を示す平面図、
第２図は、同じく正面図、第３図は、第１図の熱
板の移送位置を―線で切断して示す縦断側面
図、第４図は、第１図の索条を一部切欠して示す
拡大正面図、第５図は、第４図の索条の他の実施
例を示す一部切欠正面図、第６図は、他の実施例
を示す正面図である。 １…熱板、３…案内溝、４…エアシリンダ（昇
降装置）、６…プーリー台、７，８…プーリー、
１０…移動装置、１０ａ…モータ、１０ｂ…駆動
プーリー、１１…ワイヤー、１１ａ…ワイヤー、
１１ｂ…被覆体、１２…ウエハ、１３…ワイヤー
、１４…被覆体、１５…間隔管、２０…フレーム
、２１…スプリング、２２…ボルト、２４…ガイ
ド軸、２５…昇降装置。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 薄板材を載置するべき上面に、前後１対の
   平行な案内溝を有する熱板と、該案内溝に沿つて
   張設された１対のワイヤーと、案内溝から１対の
   ワイヤーが出没するように、１対のワイヤーと熱
   板との少くともいずれかを昇降させる昇降装置と
   、前記ワイヤーを往復動させる移動装置とを備え
   、ワイヤーを熱板から離隔し、かつ移動させるこ
   とによつて、薄板材を熱板へ給送し、また熱板か
   ら搬出するようにした薄板材の移送装置において
   、 ワイヤーの長手方向に沿つて、所要の間隔ごと
   に分割された複数の被覆体を、ワイヤーの少くと
   も薄板材支持部に挿設してなり、該被覆体で薄板
   材を支持するようにしたことを特徴とする薄板材
   の移送装置。 (2) 被覆体が、石英ガラス管である実用新案登
   録請求の範囲第(1)項に記載の薄板材の移送装置
   。 (3) 被覆体が、セラミツク管である実用新案登
   録請求の範囲第(1)項に記載の薄板材の移送装置
   。 (4) 被覆体が、ワイヤーの長手方向に対し、相
   互に間隙をおいて嵌挿されている実用新案登録請
   求の範囲第(1)項乃至第(3)項のいずれかに記載の
   薄板材の移送装置。