JPS62169423A - 部品移載装置 - Google Patents
部品移載装置Info
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- JPS62169423A JPS62169423A JP1009786A JP1009786A JPS62169423A JP S62169423 A JPS62169423 A JP S62169423A JP 1009786 A JP1009786 A JP 1009786A JP 1009786 A JP1009786 A JP 1009786A JP S62169423 A JPS62169423 A JP S62169423A
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- suction
- suction heads
- tray
- cylinder
- parts
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Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 20
- 239000011295 pitch Substances 0.000 abstract 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は部品を移載するための装置に関し、特に複数個
の部品をその配列ピッチを変化させながら移載すること
のできる移載装置に関するものである。
の部品をその配列ピッチを変化させながら移載すること
のできる移載装置に関するものである。
例えば、多連リードフレーム型の半導体装置の製造工程
では、−のリードフレーム上に組立てた複数個の半導体
装置を夫々個別に切断する必要があり、その上、切断し
た各半導体装置を縦横の折目状のトレーに整列して収納
させる必要がある。
では、−のリードフレーム上に組立てた複数個の半導体
装置を夫々個別に切断する必要があり、その上、切断し
た各半導体装置を縦横の折目状のトレーに整列して収納
させる必要がある。
このため、リードフレームの切断機の一側にトレーを配
置し、切断した半導体装置をトレー上に移載させる移載
装置が提案されている。この移載装置は処理効率を高め
るために切断形成された複数個の半導体装置を一度に移
載できるような構成としている。
置し、切断した半導体装置をトレー上に移載させる移載
装置が提案されている。この移載装置は処理効率を高め
るために切断形成された複数個の半導体装置を一度に移
載できるような構成としている。
前記移載装置は、切断形成された複数個の半導体装置の
配列ピッチ、即ちリードフレームにおける半導体装置の
配列ピッチに等しい間隔で複数個の吸着パッドを構成し
、切断された各半導体装置をそのままのピッチを保ちな
がらトレー上に移載している。このため、トレーはリー
ドフレームに対応した縦或いは横ピツチ寸法のものを用
いる必要がある。
配列ピッチ、即ちリードフレームにおける半導体装置の
配列ピッチに等しい間隔で複数個の吸着パッドを構成し
、切断された各半導体装置をそのままのピッチを保ちな
がらトレー上に移載している。このため、トレーはリー
ドフレームに対応した縦或いは横ピツチ寸法のものを用
いる必要がある。
しかしながら、近年における半導体装置の多品種化に伴
ってリードフレームにおけるピッチ寸法に種々の寸法の
ものが提供されてくると、これに対応して移載装置のピ
ッチ間隔を調整する必要が生じ、作業が面倒なものにな
るとともに作業効率の低下を招くおそれがあり、また同
時にトレーも種々の寸法のものを用意する必要が生じて
トレーの管理が繁雑なものになる。
ってリードフレームにおけるピッチ寸法に種々の寸法の
ものが提供されてくると、これに対応して移載装置のピ
ッチ間隔を調整する必要が生じ、作業が面倒なものにな
るとともに作業効率の低下を招くおそれがあり、また同
時にトレーも種々の寸法のものを用意する必要が生じて
トレーの管理が繁雑なものになる。
本発明の目的は被移載部品における異なる配列ピッチ寸
法に対しても迅速に対応してその移載を可能にするとと
もに、その移載に際して配列ピッチ寸法を常に一定寸法
に変換して一定のトレー内に配列収納することのできる
移載装置を提供することにある 本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。
法に対しても迅速に対応してその移載を可能にするとと
もに、その移載に際して配列ピッチ寸法を常に一定寸法
に変換して一定のトレー内に配列収納することのできる
移載装置を提供することにある 本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、複数個の吸着ヘッドをその配列方向に移動可
能に支持するとともにこれら吸着ヘッドをリンク機構で
連結し、このリンク機構を駆動して前記各吸着ヘッドの
配列ピッチ寸法を変化できるように構成するものである
。
能に支持するとともにこれら吸着ヘッドをリンク機構で
連結し、このリンク機構を駆動して前記各吸着ヘッドの
配列ピッチ寸法を変化できるように構成するものである
。
上記手段によれば、リンク機構を駆動することにより複
数個の吸着パッドを配列方向に移動させ、かつこの吸着
パッドの移nI番を比例させることにより、各吸着バン
ドの配列ピンチ寸法を迅速かつ容易に変化可能とするも
のである。
数個の吸着パッドを配列方向に移動させ、かつこの吸着
パッドの移nI番を比例させることにより、各吸着バン
ドの配列ピンチ寸法を迅速かつ容易に変化可能とするも
のである。
第1図乃至第3図は本発明の一実施例を示す図であり、
半導体装置のリードフレーム切断機とトレーとの間で半
導体装置を移載する例を示している。
半導体装置のリードフレーム切断機とトレーとの間で半
導体装置を移載する例を示している。
図において、装置固定部に立設した支持ボスト1.1に
は上下シリンダ2を固定し、その上下移動可能な可動ロ
ッド3には移載ユニット4を取着して移載ユニット4を
前記支持ポスト1.1に沿って上下動できるように構成
している。この移載ユニット4のユニット本体5には前
後シリンダ7を取着するとともに、前後方向に移動可能
なステム6を支持しており、前記前後シリンダ7の前後
移動可能な可動ロッド8をこのステム6に連結し、シリ
ンダ7によってステム6を前後移動できるように構成し
ている。
は上下シリンダ2を固定し、その上下移動可能な可動ロ
ッド3には移載ユニット4を取着して移載ユニット4を
前記支持ポスト1.1に沿って上下動できるように構成
している。この移載ユニット4のユニット本体5には前
後シリンダ7を取着するとともに、前後方向に移動可能
なステム6を支持しており、前記前後シリンダ7の前後
移動可能な可動ロッド8をこのステム6に連結し、シリ
ンダ7によってステム6を前後移動できるように構成し
ている。
前記ステム6の前端位置には吸着ブロック9を取着し、
ここには左右方向に延長したパッド支持レール10と、
前後方向に向けたへ、7ドシリンダ11を取着している
。前記パッド支持レール10には、このレール10上を
移動可能な4個の吸着ヘッド12を遊挿しており、各吸
着へラド】2には夫々半導体装置を真空吸着可能な吸着
パッド13を設けている。そして、これら各吸着ヘッド
12は夫々ピン軸14によってリンク機構を構成する4
本のリンク15a、15b、15c、15dによって互
いに連結し、かつ中央のリンク15b。
ここには左右方向に延長したパッド支持レール10と、
前後方向に向けたへ、7ドシリンダ11を取着している
。前記パッド支持レール10には、このレール10上を
移動可能な4個の吸着ヘッド12を遊挿しており、各吸
着へラド】2には夫々半導体装置を真空吸着可能な吸着
パッド13を設けている。そして、これら各吸着ヘッド
12は夫々ピン軸14によってリンク機構を構成する4
本のリンク15a、15b、15c、15dによって互
いに連結し、かつ中央のリンク15b。
15cには前記ヘッドシリンダ11の可動ロッド16を
連結している。
連結している。
したがって、この構成によれば上下シリンダ2の作用と
前後シリンダ7の作用によって吸着ブロック9を上下及
び前後に矩形移動させ、リードフレームLの切断位置S
aと、トレーTの移載光位置sbとの間で往復移動させ
ることができる。この移動によって、切断位置Saにお
いて切断された4個の半導体装置を夫々吸着ヘッド12
の吸着パッド13に吸着させ、トレーTの所定値Hsb
に同時に移載させることができる。
前後シリンダ7の作用によって吸着ブロック9を上下及
び前後に矩形移動させ、リードフレームLの切断位置S
aと、トレーTの移載光位置sbとの間で往復移動させ
ることができる。この移動によって、切断位置Saにお
いて切断された4個の半導体装置を夫々吸着ヘッド12
の吸着パッド13に吸着させ、トレーTの所定値Hsb
に同時に移載させることができる。
この移載に際し、ヘッドシリンダ11が動作して可動ロ
ッド16を前後に移動すると、リンク15a〜15dが
関連して動作され、これらリンクによる所謂パンタグラ
フ機構によって各吸着ヘッド12をレール10上で移動
させる。そして、こリンク動作によって両外側の2個の
吸着ヘッドは両内側の2個の吸着ヘッドの3倍の長さだ
け移動されるために、各吸着ヘッド12の間隔は夫々等
ピンチ寸法を保ちながら連続的に変化される。
ッド16を前後に移動すると、リンク15a〜15dが
関連して動作され、これらリンクによる所謂パンタグラ
フ機構によって各吸着ヘッド12をレール10上で移動
させる。そして、こリンク動作によって両外側の2個の
吸着ヘッドは両内側の2個の吸着ヘッドの3倍の長さだ
け移動されるために、各吸着ヘッド12の間隔は夫々等
ピンチ寸法を保ちながら連続的に変化される。
したがって、切断位置SaにおいてPaのピッチ寸法に
配列されている半導体装置を夫々吸着ヘッド12で吸着
した後、ヘッドシリンダ11を動作させて各吸着ヘッド
12間のピッチ寸法をpbに変化させれば、これととも
に前記半導体装置の配列ピンチ寸法もPbとされる。し
たがって、ピッチ寸法PbをトレーTの配列ピッチ寸法
に設定しておけば、あらゆる配列ピッチ寸法のリードフ
レームに対応して切断した半導体装置をトレーTに収納
できる。
配列されている半導体装置を夫々吸着ヘッド12で吸着
した後、ヘッドシリンダ11を動作させて各吸着ヘッド
12間のピッチ寸法をpbに変化させれば、これととも
に前記半導体装置の配列ピンチ寸法もPbとされる。し
たがって、ピッチ寸法PbをトレーTの配列ピッチ寸法
に設定しておけば、あらゆる配列ピッチ寸法のリードフ
レームに対応して切断した半導体装置をトレーTに収納
できる。
上記実施例によれば次の効果を得ることができる。
(1)吸着ヘッドを配列方向に移動可能とし、これらを
リンクで連結して夫々の吸着ヘッドを関連して移動でき
るように構成しているので、各吸着ヘッドのピンチ寸法
を任意に変化することができる。
リンクで連結して夫々の吸着ヘッドを関連して移動でき
るように構成しているので、各吸着ヘッドのピンチ寸法
を任意に変化することができる。
(2)各吸着ヘッドのピッチ寸法を変化できるので、移
載する半導体装置を切断箇所とトレー箇所とで配列ピッ
チ寸法を変化させることができ、半導体装置の配列寸法
の相違に係わらず常に一定のトレーに半導体装置を収納
させることができる。
載する半導体装置を切断箇所とトレー箇所とで配列ピッ
チ寸法を変化させることができ、半導体装置の配列寸法
の相違に係わらず常に一定のトレーに半導体装置を収納
させることができる。
(3)各吸着ヘッドのピッチ寸法は、リンク機構によっ
て連続的に変化できるので、あらゆる寸法の配列に対応
することができ、しかもこの寸法の変更はヘッドシリン
ダを調節するだけで実現でき、その操作も極めて容易で
ある。
て連続的に変化できるので、あらゆる寸法の配列に対応
することができ、しかもこの寸法の変更はヘッドシリン
ダを調節するだけで実現でき、その操作も極めて容易で
ある。
以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。
例えば、シリンダに変えて電磁ソレノイド機構やベルト
機構等の往復移動手段を用いることができる。また、吸
着ヘッドの数は任意の数に設定でき、また吸着ヘッドを
移動させるリンク機構も種々の変形が可能である。
機構等の往復移動手段を用いることができる。また、吸
着ヘッドの数は任意の数に設定でき、また吸着ヘッドを
移動させるリンク機構も種々の変形が可能である。
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体装置の移載装
置に適用した場合について説明したが、それに限定され
るものではなく、配列した複数個の部品を同時に移載す
るものであれば、種々の用途の移載装置に適用できる。
をその背景となった利用分野である半導体装置の移載装
置に適用した場合について説明したが、それに限定され
るものではなく、配列した複数個の部品を同時に移載す
るものであれば、種々の用途の移載装置に適用できる。
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を節単に説明すれば、下記のとおりであ
る。
て得られる効果を節単に説明すれば、下記のとおりであ
る。
すなわち、部品を吸着する複数個の吸着ヘッドのピッチ
寸法を任意にかつ連続して変化できるので、移載される
部品の配列ピッチ寸法に限られることなくこれら部品を
任意の配列ピッチ寸法に変更して移載することができ、
種々の配列ピッチ寸法の部品の移載を容易にかつ迅速に
行うことかできる。
寸法を任意にかつ連続して変化できるので、移載される
部品の配列ピッチ寸法に限られることなくこれら部品を
任意の配列ピッチ寸法に変更して移載することができ、
種々の配列ピッチ寸法の部品の移載を容易にかつ迅速に
行うことかできる。
第1図は本発明の一実施例の側面図、
第2図はその正面図、
第3図は吸着ヘッドを示すための拡大平面図である。
l・・・支持ポスト、2・・・上下シリンダ、3・・・
可動ロッド、5・・・移載ユニット、6・・・ステム、
7・・・前後シリンダ、8・・・可動ロッド、9・・・
吸着ブロック、10・・・レール、11・・・ヘッドシ
リンダ、12・・・吸着ヘッド、13・・・吸着パッド
、14・・・ピン軸、15a〜15d・・・リンク、1
6・・・可動ロッド、L・・・リードフレーム、T・・
・トレー、Sa・・・切断位置、sb・・・トレー所定
位置、Pa、Pb・・・ピッチ寸法。 代理人 弁理士 小 川 勝 男 第 2 図 第 3 図
可動ロッド、5・・・移載ユニット、6・・・ステム、
7・・・前後シリンダ、8・・・可動ロッド、9・・・
吸着ブロック、10・・・レール、11・・・ヘッドシ
リンダ、12・・・吸着ヘッド、13・・・吸着パッド
、14・・・ピン軸、15a〜15d・・・リンク、1
6・・・可動ロッド、L・・・リードフレーム、T・・
・トレー、Sa・・・切断位置、sb・・・トレー所定
位置、Pa、Pb・・・ピッチ寸法。 代理人 弁理士 小 川 勝 男 第 2 図 第 3 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、所要ピッチ寸法で配列される複数個の部品を夫々吸
着可能な複数個の吸着ヘッドを有し、これら吸着ヘッド
を用いて前記各部品を他の位置に移載させる部品移載装
置であって、前記複数個の吸着ヘッドをその配列方向に
移動可能に支持するとともにこれらを相互にリンク機構
で連結し、このリンク機構を駆動して前記複数個の吸着
ヘッドの配列ピッチ寸法を変化できるように構成したこ
とを特徴とする部品移載装置。 2、各吸着ヘッドを連結するリンクにシリンダの可動ロ
ッドを連結し、この可動ロッドの移動量に応じて各吸着
ヘッドの移動量及びピッチ寸法を制御するように構成し
てなる特許請求の範囲第1項記載の部品移載装置。 3、各吸着ヘッドを1本のレール上で移動可能とし、こ
れらを連結するリンクをパンタグラフ構成としてなる特
許請求の範囲第1項記載の部品移載装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1009786A JPS62169423A (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | 部品移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1009786A JPS62169423A (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | 部品移載装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62169423A true JPS62169423A (ja) | 1987-07-25 |
Family
ID=11740819
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1009786A Pending JPS62169423A (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | 部品移載装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62169423A (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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WO2001024597A1 (fr) * | 1999-09-28 | 2001-04-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Dispositif de montage de composants, generateur de donnees de montage de composants et procedes correspondants |
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TWI498267B (ja) * | 2014-04-18 | 2015-09-01 |
-
1986
- 1986-01-22 JP JP1009786A patent/JPS62169423A/ja active Pending
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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KR100365476B1 (ko) * | 2000-12-26 | 2002-12-26 | 메카텍스 (주) | 반도체소자 검사기의 소자 이송장치 |
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TWI498267B (ja) * | 2014-04-18 | 2015-09-01 |
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