JPS62168018A - 磁気エンコ−ダ - Google Patents
磁気エンコ−ダInfo
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- JPS62168018A JPS62168018A JP793086A JP793086A JPS62168018A JP S62168018 A JPS62168018 A JP S62168018A JP 793086 A JP793086 A JP 793086A JP 793086 A JP793086 A JP 793086A JP S62168018 A JPS62168018 A JP S62168018A
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- film
- magnetic
- protection
- protective film
- inorganic
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- Granted
Links
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 52
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims abstract 5
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims abstract 4
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims abstract 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 26
- 230000005405 multipole Effects 0.000 claims 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 6
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 206010028980 Neoplasm Diseases 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000037406 food intake Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気エンコーダに係り、特に、はこりKよる
磁気センサーの破壊防止に好適な、磁気エンコーダに関
する。
磁気センサーの破壊防止に好適な、磁気エンコーダに関
する。
磁気センナを保護膜で保維するものとしては、特開昭6
0−102780号公報記載のものがある。
0−102780号公報記載のものがある。
この磁気センサーは、検出感度および耐環境性について
、考M、されている。
、考M、されている。
しかし、前記公報記載のものは1作業ミスや使用環境の
塵埃喰い込みによる、磁気センサー保護膜の機械的破壊
については、配慮されていなかった。
塵埃喰い込みによる、磁気センサー保護膜の機械的破壊
については、配慮されていなかった。
本発明は1機械的に強い保護膜を有する薄膜磁気センサ
ーを提供し1作業性、耐塵性の優れ定磁気二/ご−ダ?
提供することにある。
ーを提供し1作業性、耐塵性の優れ定磁気二/ご−ダ?
提供することにある。
本発明は、前記に着目してなされたもので、磁性膜の上
に無機質保護膜を付け1その上に、有機質の保護膜を付
け、この二重の膜によって、磁性膜の腐食を防止しよう
とするものである。
に無機質保護膜を付け1その上に、有機質の保護膜を付
け、この二重の膜によって、磁性膜の腐食を防止しよう
とするものである。
そして、有機質の保護膜を機械的歪のクッションに利用
し、その上に機械的強度の強い無機質の4膜?形成し比
ので、この無機質の薄膜がディスタンドピースの機能を
もち、有機質保護膜が磁気ドラムに当ったりして不用意
に損傷するのを防止することができる。
し、その上に機械的強度の強い無機質の4膜?形成し比
ので、この無機質の薄膜がディスタンドピースの機能を
もち、有機質保護膜が磁気ドラムに当ったりして不用意
に損傷するのを防止することができる。
この磁気センサー6に、第2図に示すように。
モードルシャフト7に固定し定多極着磁々気ドラム8に
対向させ、検出信号の波形整形回路9とともに、モード
ルの枠体10に固定し、磁気エンコーダを形成する〇 この磁気エンコーダの磁気センサー6と多極磁気ドラム
8とのギャップは、磁気センサーと磁気エンコーダの分
解能に制約され、40〜100μmが一般的である。
対向させ、検出信号の波形整形回路9とともに、モード
ルの枠体10に固定し、磁気エンコーダを形成する〇 この磁気エンコーダの磁気センサー6と多極磁気ドラム
8とのギャップは、磁気センサーと磁気エンコーダの分
解能に制約され、40〜100μmが一般的である。
この40〜100μmのギャップ調整作業において、多
極磁気ドラム8と磁気セン−r−6を接触させて、有機
質保護膜4を破壊するという作業不良や、実使用時に塵
埃が入り、多極磁気ドラム8と磁気センサー6の間には
さまって、有機質保護膜を破壊し、その後の吸湿によっ
て、著しく寿命を縮めるなどの事故があつ九。
極磁気ドラム8と磁気セン−r−6を接触させて、有機
質保護膜4を破壊するという作業不良や、実使用時に塵
埃が入り、多極磁気ドラム8と磁気センサー6の間には
さまって、有機質保護膜を破壊し、その後の吸湿によっ
て、著しく寿命を縮めるなどの事故があつ九。
この問題を磁気センサー面より改善でる定め。
保護膜の機械的強度を、以下の手段で上げることにし几
。
。
次に第1図を用いて1本発明の具体的構成を説明でる。
図において、ガラス基板1の上に磁性膜21に:蒸着し
、その上に無機質の保護膜3を形成、保護膜3の上に有
機質の保護膜4を設ける。この二層の保護膜で、磁性膜
2を、湿匿、ガスなどの腐食から保護する。
、その上に無機質の保護膜3を形成、保護膜3の上に有
機質の保護膜4を設ける。この二層の保護膜で、磁性膜
2を、湿匿、ガスなどの腐食から保護する。
次に、有機質保護膜4の上に、前述二種類の保護膜およ
び磁性膜2を機械的破壊力から保護する定めに、有機質
の膜より硬く、耐摩網性の高い無機質の膜11で保護し
、端子5全付けて形成する。
び磁性膜2を機械的破壊力から保護する定めに、有機質
の膜より硬く、耐摩網性の高い無機質の膜11で保護し
、端子5全付けて形成する。
1例とし、て、材料および保護膜の厚さは、無機質の保
腫膜3は、8102またはS10で厚ざ2μm。
腫膜3は、8102またはS10で厚ざ2μm。
有機質の保護膜4は、piQで厚さ2μm、無機質の保
護膜11d、SiN、5i02.Ta205 などで
厚さ5〜15μmlcすると、磁性膜2と多圏磁気ドラ
ム8のギャップにも、影響が少なく、実用上検出レベル
に影響が出ないで丁む。
護膜11d、SiN、5i02.Ta205 などで
厚さ5〜15μmlcすると、磁性膜2と多圏磁気ドラ
ム8のギャップにも、影響が少なく、実用上検出レベル
に影響が出ないで丁む。
第3図に本発明一実施例を示す磁気センサーの平面図を
示す。
示す。
有機物と無機物の熱膨張係数は、一般的に大きく異なる
。従って、二種類の材料を密着させるとしわが寄ったり
、亀裂を生じt9する。
。従って、二種類の材料を密着させるとしわが寄ったり
、亀裂を生じt9する。
この弊害?防ぐ之め、第3図に示すように、無機質の保
護膜11を磁性膜の検出部12の上付近にのみ、配置す
るようにすれば、耐環境性にすぐワ1機械的強度の強い
、磁気センサーを提供する効果がある。
護膜11を磁性膜の検出部12の上付近にのみ、配置す
るようにすれば、耐環境性にすぐワ1機械的強度の強い
、磁気センサーを提供する効果がある。
以上のように本発明によれば、磁気センサーの保護膜を
強化することによって、磁気エンコーダのギャップ調整
中の作業不良や塵埃による保護膜の破壊を防止すること
ができる。
強化することによって、磁気エンコーダのギャップ調整
中の作業不良や塵埃による保護膜の破壊を防止すること
ができる。
第1図は本発明の一実施例を示す磁気センサーの断面図
、第2図は磁気エンコーダの構成図、第3図は磁気セン
ナ−〇平面図である。 1・・・ガラス基板、2・・・磁性膜、3・・・無機質
保護膜。 4・・・有機質保護膜、5・・・端子、6・・・磁気セ
ンサー。 7・・・モードルシャフト、8・・・磁気ドラム、9・
・・波形整形回路、10・・・モードル枠体、11・・
・無機保第 1図 ¥12固 第3固
、第2図は磁気エンコーダの構成図、第3図は磁気セン
ナ−〇平面図である。 1・・・ガラス基板、2・・・磁性膜、3・・・無機質
保護膜。 4・・・有機質保護膜、5・・・端子、6・・・磁気セ
ンサー。 7・・・モードルシャフト、8・・・磁気ドラム、9・
・・波形整形回路、10・・・モードル枠体、11・・
・無機保第 1図 ¥12固 第3固
Claims (1)
- 1、多極着磁した磁気ドラムを回転部とし、着磁面と対
向させて薄膜磁気センサーを配置して、センサーの読み
とつた着磁信号を、短形波に整形または増幅する磁気エ
ンコーダにおいて、無機物、有機物、無機物の3層構造
の保護膜を施した、薄膜磁気センサーを用いたことを特
徴とする磁気エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61007930A JPH0629738B2 (ja) | 1986-01-20 | 1986-01-20 | 磁気エンコ−ダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61007930A JPH0629738B2 (ja) | 1986-01-20 | 1986-01-20 | 磁気エンコ−ダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62168018A true JPS62168018A (ja) | 1987-07-24 |
JPH0629738B2 JPH0629738B2 (ja) | 1994-04-20 |
Family
ID=11679240
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61007930A Expired - Lifetime JPH0629738B2 (ja) | 1986-01-20 | 1986-01-20 | 磁気エンコ−ダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0629738B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4120984A1 (de) * | 1990-06-26 | 1992-01-09 | Mazda Motor | Sensor mit einem magnetfilm und verfahren zu dessen herstellung |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60244812A (ja) * | 1984-05-21 | 1985-12-04 | Hitachi Ltd | エンコ−ダ用磁気抵抗素子 |
-
1986
- 1986-01-20 JP JP61007930A patent/JPH0629738B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60244812A (ja) * | 1984-05-21 | 1985-12-04 | Hitachi Ltd | エンコ−ダ用磁気抵抗素子 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4120984A1 (de) * | 1990-06-26 | 1992-01-09 | Mazda Motor | Sensor mit einem magnetfilm und verfahren zu dessen herstellung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0629738B2 (ja) | 1994-04-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |