JPS62164048A - ホトマスクの保護具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ホトマスクの両面側に付着され、異物の付
着を防止するホトマスクの保護具に関する０ 〔従来の技術〕 実績回路など半導体装置の製造工程では、ホトー八に転
写するが、ホトマスク面に異物が付着するとバター／欠
陥となる０このため、ペリクル膜を張った保護具をホト
マスクの両面側に付着し、保護している。

この種の従来のホトマスク保護具は、第２図に断面図で
示すようになっていたｏｌはホトマスクで、−面てパタ
ーン１ａが形成されている。２は保護具であり、枠体３
に保護膜をなすペリクル膜にトロセルローズからなる）
４が接情されてなり、１対がホトマスク１の両面側に筬
１剤により付着されている。

このように、ホトマスク１は１対のホトマスク保晟具２
によυ両面が外部から保護され、異物の付着が防止され
ている。

Ｃ発明が解決しようとする問題点〕 ところがホトマスク１に付着しプことき、ペリクル膜４
の接着不良や枠体３の付着不良などにより、内部へ異物
侵入があると、保護Ａ２をホトマスク１から外さねばな
らない。上記のような従来の保ｔＭ目〒け　イｖ堝且２
を々（寸のに一説雅Ｔル（例えばてこ）の先端を枠体３
とホトマスク１との間に入れてこねなくてはならず、工
具によシホトマスク１面を損傷するという問題点があっ
た。

この発明は、このような問題点を解決するためになされ
たもので、ホトマスクの面を損傷することなく保護具が
容易に取外されるようにした、ホトマスクの保護具を得
ることを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明にかかる保護具は、枠体の外側周に周方向の保
合溝を設けたものである。

〔作用〕

この発明においては、ホトマスクに付着された保護具を
取外すには、脱離工具の先端を枠体の外側周の係合溝に
はめ、ホトマスクの外方を支点としてこねることにより
、保護具が容易に外される。

〔実施例〕

第１図はこの発明によるホトマスクの保護具の一実施例
を示す断面図であｐ、ｌ、ｌａ、４は上記従来装置と同
一のものである。１２はホトマスクの保護具で、両端が
開口した枠体１３の一端面にペリクル膜４が接着されて
おり、この枠体１３の外側周には周方向の係合溝１３ａ
が環状に設けられてちる。

このように構成された１対の保護具１２が、ホトマスク
１の両面側に接着剤によシ付着されている０上記−実施
例の装置では、内部に異物侵入などで保護具１２を取外
すには、脱離工具の先端を枠体１３の係合＃１３ａには
め、ホトマスク１の外方を支点としてこねることによシ
容易に外され、ホトマスク１の面を傷付けることもなく
、また、ペリクル膜４を破損することもない０ なお、枠体１３に設ける保合溝１３ａの深さは、工具の
先端が入シ引掛かる程度であれば、深くしなくてもよい
。

また、枠体１３の係合溝１３ａは環状でなくても、周方
向に複数箇所に設けてもよい。

さら知、上記実施例では、枠体１３に張付ける保護膜と
してペリクル膜４を用いたが、透明体でホトマスクへの
露光の妨げにならず外方から保護するものであれば、他
の材質の膜であってもよい０〔発明の効果〕 以上のように、この発明によれば、保護膜を張付けた枠
体の外側周に周方の係合溝を設けたので、ホトマスクか
らの取外しが、ホトマスク面の損傷や保護膜の破損をす
ることなく容易に行え、作業性が向上される。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明によるホトマスクの保護具の一実施例
を示す断面図、第２図は従来の保護具を示す断面図であ
る。 １・・・ホトマスク、４・・・ペリクル膜、１２・・・
保護具、１３・・・枠体、１３ａ・・・保合溝 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）両端が開口した枠体の一方の開口側に保護膜が張
   付けられてあり、ホトマスクの両面に１対が上記各枠体
   の他方の開口側でそれぞれ接合されるようにした保護具
   において、上記枠体の外側周に取外し用の周方向の係合
   溝を設けたことを特徴とするホトマスクの保護具。
2. （２）保護膜はペリクル膜からなる特許請求の範囲第１
   項記載のホトマスクの保護具。