JPS62162643U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62162643U JPS62162643U JP5048386U JP5048386U JPS62162643U JP S62162643 U JPS62162643 U JP S62162643U JP 5048386 U JP5048386 U JP 5048386U JP 5048386 U JP5048386 U JP 5048386U JP S62162643 U JPS62162643 U JP S62162643U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- thin film
- sensitive thin
- sensitive
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図はこの考案による圧力センサーを受圧筒
に取付けた状態を示す概略断面図、第２図は圧力
センサーの縦断面図、第３図は他の積層状態を示
す縦断面図、第４図はホイストンブリツジに組み
込んだ状態を示す図、第５図は圧力とホイストン
ブリツジの出力との関係を示す図、第６図は負特
性の感圧薄膜の圧力（歪）と抵抗値との関係を示
す図、第７図は正特性の感圧薄膜の圧力（歪）と
抵抗値との関係を示す図、第８図は２対の感圧薄
膜を用いてホイストンブリツジを構成した状態を
示す図である。 １……受圧筒、２……Ｏリング、３……ダイア
フラム、４……押えナツト、５……圧力センサー
、６，８……絶縁膜、７，９，Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ…
…感圧薄膜、Ｒ，Ｓ……固定抵抗。
に取付けた状態を示す概略断面図、第２図は圧力
センサーの縦断面図、第３図は他の積層状態を示
す縦断面図、第４図はホイストンブリツジに組み
込んだ状態を示す図、第５図は圧力とホイストン
ブリツジの出力との関係を示す図、第６図は負特
性の感圧薄膜の圧力（歪）と抵抗値との関係を示
す図、第７図は正特性の感圧薄膜の圧力（歪）と
抵抗値との関係を示す図、第８図は２対の感圧薄
膜を用いてホイストンブリツジを構成した状態を
示す図である。 １……受圧筒、２……Ｏリング、３……ダイア
フラム、４……押えナツト、５……圧力センサー
、６，８……絶縁膜、７，９，Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ…
…感圧薄膜、Ｒ，Ｓ……固定抵抗。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 圧力に応じて伸縮可能な基盤の上面に設け
られ、互いに逆の特性となつているとともに、絶
縁性の部材を介して積層された少なくとも一対の
感圧薄膜を、ホイストンブリツジの互いに対向し
ない部分に位置してホイストンブリツジを構成し
たことを特徴とする圧力センサー。 (2) 前記一対の感圧薄膜は、Ｉｎ２Ｏ３の感圧
薄膜と、ＴａＮの感圧薄膜とで構成されている実
用新案登録請求の範囲第１項記載の圧力センサー
。 (3) 前記一対の感圧薄膜は、Ｐ型のα−Ｓｉの
感圧薄膜と、Ｎ型のα−Ｓｉの感圧薄膜とで構成
されている実用新案登録請求の範囲第１項記載の
圧力センサー。 (4) 前記絶縁性の部材は、Ｓｉ３Ｎ４で構成さ
れている実用新案登録請求の範囲第１項から第３
項のうちのいずれか１項に記載の圧力センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5048386U JPS62162643U (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5048386U JPS62162643U (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62162643U true JPS62162643U (ja) | 1987-10-16 |
Family
ID=30873890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5048386U Pending JPS62162643U (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62162643U (ja) |
-
1986
- 1986-04-04 JP JP5048386U patent/JPS62162643U/ja active Pending
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