JPS59161063U - 薄膜型ａｅセンサ - Google Patents
薄膜型ａｅセンサInfo
- Publication number
- JPS59161063U JPS59161063U JP5625183U JP5625183U JPS59161063U JP S59161063 U JPS59161063 U JP S59161063U JP 5625183 U JP5625183 U JP 5625183U JP 5625183 U JP5625183 U JP 5625183U JP S59161063 U JPS59161063 U JP S59161063U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- sensor
- vibrating
- substrate
- vibrating element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示す薄膜型ＡＥセンサの全
体を示す斜視図、第２図は第１図におけるＡ−Ａ’断面
図である。 １・・−３ｉ（シリコン）基板、２・・・振動片、３・
・・掘りこみ部、４・・−３ｉｎ２薄膜、５・・・下部
電極、６・・・圧電体薄膜、−７・・・上部電極。
体を示す斜視図、第２図は第１図におけるＡ−Ａ’断面
図である。 １・・−３ｉ（シリコン）基板、２・・・振動片、３・
・・掘りこみ部、４・・−３ｉｎ２薄膜、５・・・下部
電極、６・・・圧電体薄膜、−７・・・上部電極。
Claims (1)
- １つの固体基板上に複数の薄膜状の振動片が、当該基板
に一体に支持された状態で２次元的に配列形成されてお
り、各振動片は圧電体薄膜とこの圧電体薄膜を挾む電極
薄膜とで層状をなす薄膜型ＡＥセンサにおいて、各振動
片はそれぞれ長さが異なり、かつ各振動片の振動方向の
端部が互いに平行でない形状であることを特徴とする薄
膜型ＡＥセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5625183U JPS59161063U (ja) | 1983-04-14 | 1983-04-14 | 薄膜型ａｅセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5625183U JPS59161063U (ja) | 1983-04-14 | 1983-04-14 | 薄膜型ａｅセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59161063U true JPS59161063U (ja) | 1984-10-29 |
Family
ID=30186573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5625183U Pending JPS59161063U (ja) | 1983-04-14 | 1983-04-14 | 薄膜型ａｅセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59161063U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61220596A (ja) * | 1985-03-26 | 1986-09-30 | Nec Corp | 超音波トランスジユ−サ |
| JPS61220597A (ja) * | 1985-03-26 | 1986-09-30 | Nec Corp | 超音波トランスジユ−サ |
-
1983
- 1983-04-14 JP JP5625183U patent/JPS59161063U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61220596A (ja) * | 1985-03-26 | 1986-09-30 | Nec Corp | 超音波トランスジユ−サ |
| JPS61220597A (ja) * | 1985-03-26 | 1986-09-30 | Nec Corp | 超音波トランスジユ−サ |
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