JPS60167497U - 超音波センサ− - Google Patents

超音波センサ−

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Publication number
JPS60167497U
JPS60167497U JP5419184U JP5419184U JPS60167497U JP S60167497 U JPS60167497 U JP S60167497U JP 5419184 U JP5419184 U JP 5419184U JP 5419184 U JP5419184 U JP 5419184U JP S60167497 U JPS60167497 U JP S60167497U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
thin film
ultrasonic sensor
piezoelectric thin
laminated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5419184U
Other languages
English (en)
Inventor
茂樹 星野
Original Assignee
日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
Priority to JP5419184U priority Critical patent/JPS60167497U/ja
Publication of JPS60167497U publication Critical patent/JPS60167497U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の超音波センサーの１つのブロックを示
した図、第２図ａ、　ｂは１つの片持ち粱の拡大構成図
、第３図は１つの片持ち梁の典型的な周波数特性を示し
た図、第４図は本考案の超音波センサーの周波数特性を
説明する図である。 図において、１１は下部電極、１２は５ｉＯ９膜、１３
は圧電薄膜、１４は上部電極、１５はエツチングによっ
て生じた空孔、１６はシ゛リコン、１７はほう素を高濃
度にドープした層をそれぞれ示す。 −第３図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. はう素がドープされたシリコン層、ＳｉＯ２薄膜、電極
    、圧電薄膜、電極の順又は５ｉＯ８薄膜、電極、圧電薄
    膜、電極の順で積層されよ構造の音片あるいは片持ち梁
    からなる超音波感知部位を複数個有し、該複数の感知部
    位には圧電薄膜の厚さあるいは梁の長さが異なるものが
    含まれていることを特徴とする超音波センサー。
JP5419184U 1984-04-13 1984-04-13 超音波センサ− Pending JPS60167497U (ja)

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JP5419184U JPS60167497U (ja) 1984-04-13 1984-04-13 超音波センサ−

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JP5419184U JPS60167497U (ja) 1984-04-13 1984-04-13 超音波センサ−

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60167497U true JPS60167497U (ja) 1985-11-07

Family

ID=30575728

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5419184U Pending JPS60167497U (ja) 1984-04-13 1984-04-13 超音波センサ−

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JP (1) JPS60167497U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008199570A (ja) * 2007-01-18 2008-08-28 Seiko Epson Corp 圧電振動子およびその製造方法、発振器、リアルタイムクロック、並びに、電波時計受信モジュール

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008199570A (ja) * 2007-01-18 2008-08-28 Seiko Epson Corp 圧電振動子およびその製造方法、発振器、リアルタイムクロック、並びに、電波時計受信モジュール

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