JPS5888426U - 表面波薄膜すだれ状変換器 - Google Patents
表面波薄膜すだれ状変換器Info
- Publication number
- JPS5888426U JPS5888426U JP1982118216U JP11821682U JPS5888426U JP S5888426 U JPS5888426 U JP S5888426U JP 1982118216 U JP1982118216 U JP 1982118216U JP 11821682 U JP11821682 U JP 11821682U JP S5888426 U JPS5888426 U JP S5888426U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- surface wave
- piezoelectric
- interdigital transducer
- wave thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は、本考案の一実施例の構造断面図である。
図において、１１はＺｎＳ圧電薄膜、１２は二酸化珪素
基板、１３はすだれ状電極、１５は二酸化珪素基板上の
環元層である。
基板、１３はすだれ状電極、１５は二酸化珪素基板上の
環元層である。
Claims (1)
- 非圧電物質基板上に圧電物質から成る薄膜が形成され、
前記非圧電基板と前記圧電薄膜の境界面、もしくは前記
圧電薄膜表面のいづれか一方にすだれ状電極を備える表
面波変換器において、前記非圧電基板の表面層における
、前記すだれ状電極の電極指間隙領域に、環元法による
環元物質が形成され、前記電極指領域及び前記電極指間
隙領域の両音響インピーダンスの均一化が計られたこと
を特徴とする表面波薄膜すだれ状変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982118216U JPS5888426U (ja) | 1982-08-02 | 1982-08-02 | 表面波薄膜すだれ状変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982118216U JPS5888426U (ja) | 1982-08-02 | 1982-08-02 | 表面波薄膜すだれ状変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5888426U true JPS5888426U (ja) | 1983-06-15 |
Family
ID=29912361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982118216U Pending JPS5888426U (ja) | 1982-08-02 | 1982-08-02 | 表面波薄膜すだれ状変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5888426U (ja) |
-
1982
- 1982-08-02 JP JP1982118216U patent/JPS5888426U/ja active Pending
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