JPS5888424U - 表面波薄膜すだれ状変換器 - Google Patents
表面波薄膜すだれ状変換器Info
- Publication number
- JPS5888424U JPS5888424U JP1982118214U JP11821482U JPS5888424U JP S5888424 U JPS5888424 U JP S5888424U JP 1982118214 U JP1982118214 U JP 1982118214U JP 11821482 U JP11821482 U JP 11821482U JP S5888424 U JPS5888424 U JP S5888424U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- surface wave
- piezoelectric
- interdigital transducer
- wave thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図はζ本考案の一実施例の構造断面図である。
図において、１１はＺｎＳ圧電薄膜、１２はガラス基板
、１３′ｃますだれ状電極、１４はガラス基板上のイオ
ン交換部である。
、１３′ｃますだれ状電極、１４はガラス基板上のイオ
ン交換部である。
Claims (1)
- 非圧電物質基板上に圧電物質から成る薄膜が形成され、
前記非圧電基板と前記圧電薄膜の境界面、もしくは前記
圧電薄膜表面のいづれか一方にすだれ状電極を備える表
面波変換器において、前記非圧電基板の表面層における
、前記すだれ状電極の電極指領域に、拡散法による拡散
層が形成され、前記電極指領域及び前記電極指間隙領域
の両音響インピーダンスの均一化が計られたことを特徴
と４する表面波薄膜すだれ状変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982118214U JPS5840650Y2 (ja) | 1982-08-02 | 1982-08-02 | 表面波薄膜すだれ状変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982118214U JPS5840650Y2 (ja) | 1982-08-02 | 1982-08-02 | 表面波薄膜すだれ状変換器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5888424U true JPS5888424U (ja) | 1983-06-15 |
| JPS5840650Y2 JPS5840650Y2 (ja) | 1983-09-13 |
Family
ID=29912357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982118214U Expired JPS5840650Y2 (ja) | 1982-08-02 | 1982-08-02 | 表面波薄膜すだれ状変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5840650Y2 (ja) |
-
1982
- 1982-08-02 JP JP1982118214U patent/JPS5840650Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5840650Y2 (ja) | 1983-09-13 |
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