JPS5878667U - 複合半導体装置 - Google Patents
複合半導体装置Info
- Publication number
- JPS5878667U JPS5878667U JP17439181U JP17439181U JPS5878667U JP S5878667 U JPS5878667 U JP S5878667U JP 17439181 U JP17439181 U JP 17439181U JP 17439181 U JP17439181 U JP 17439181U JP S5878667 U JPS5878667 U JP S5878667U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- composite semiconductor
- acoustic wave
- surface acoustic
- composite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は弾性表面波発振器の回路図、第２図ａ。
ｂは個別基板で構成した弾性表面波発振器の各々平面と
側面を示す構造図、第３図ａ、 ｂは同一平面上に半
導体装置と弾性表面波装置を構成した従来の複合半導体
装置の各々平面と側面の構造図、第４図ａ、 ｂ、第
５図ａ、 ｂは本考案の実施例の複合半導体装置の構
造図、である。 なお図において、１．３・・・・・・半導体装置、２゜
４・・・・・・弾性表面波装置、５・・・・・・ケース
、６・・・・・・同一基板、１１・・・・・・集積回路
、２１・・・・・・Ｓｉ又はＧａＡｓ、 ３１−−−−
−−３ｉＯ２膜、４１−−−−−−圧電膜、５１゜５２
・・・・・・トランスジューサ、３２・・・・・・サフ
ァイア基板、である。
側面を示す構造図、第３図ａ、 ｂは同一平面上に半
導体装置と弾性表面波装置を構成した従来の複合半導体
装置の各々平面と側面の構造図、第４図ａ、 ｂ、第
５図ａ、 ｂは本考案の実施例の複合半導体装置の構
造図、である。 なお図において、１．３・・・・・・半導体装置、２゜
４・・・・・・弾性表面波装置、５・・・・・・ケース
、６・・・・・・同一基板、１１・・・・・・集積回路
、２１・・・・・・Ｓｉ又はＧａＡｓ、 ３１−−−−
−−３ｉＯ２膜、４１−−−−−−圧電膜、５１゜５２
・・・・・・トランスジューサ、３２・・・・・・サフ
ァイア基板、である。
Claims (1)
- 弾性表面波装置と半導体装置とを含んで構成された複合
半導体装置において、基板の前記半導体装置が設置され
た面と反対の面に設けられた圧電膜を利用して前記弾性
表面波装置が形成されていることを特徴とする複合半導
体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17439181U JPS5878667U (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | 複合半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17439181U JPS5878667U (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | 複合半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5878667U true JPS5878667U (ja) | 1983-05-27 |
Family
ID=29966382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17439181U Pending JPS5878667U (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | 複合半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5878667U (ja) |
-
1981
- 1981-11-24 JP JP17439181U patent/JPS5878667U/ja active Pending
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