JPS6372536U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6372536U JPS6372536U JP16699786U JP16699786U JPS6372536U JP S6372536 U JPS6372536 U JP S6372536U JP 16699786 U JP16699786 U JP 16699786U JP 16699786 U JP16699786 U JP 16699786U JP S6372536 U JPS6372536 U JP S6372536U
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- JP
- Japan
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- crystal substrate
- strain body
- action
- detection
- detection element
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Description
第１図はこの考案の第一の実施例を示す縦断側
面図、第２図はキヤツプを取り外した状態の平面
図、第３図はｐ―Ｓｉ１１０におけるピエゾ抵抗
係数を示す特性図、第４図は検出素子の形状を示
す平面図、第５図ａ，ｂ，ｃはブリツジ回路図、
第６図ａ，ｂ，ｃは各種の応力の発生状態を示す
特性図、第７図は製造工程図、第８図はこの考案
の第二の実施例を示す縦断側面図、第９図はこの
考案の第三の実施例を示す縦断側面図である。 １……単結晶基板、２……検出面、３……検出
素子、４……起歪体、６……支持部、７……作用
部、８……力伝達体。
面図、第２図はキヤツプを取り外した状態の平面
図、第３図はｐ―Ｓｉ１１０におけるピエゾ抵抗
係数を示す特性図、第４図は検出素子の形状を示
す平面図、第５図ａ，ｂ，ｃはブリツジ回路図、
第６図ａ，ｂ，ｃは各種の応力の発生状態を示す
特性図、第７図は製造工程図、第８図はこの考案
の第二の実施例を示す縦断側面図、第９図はこの
考案の第三の実施例を示す縦断側面図である。 １……単結晶基板、２……検出面、３……検出
素子、４……起歪体、６……支持部、７……作用
部、８……力伝達体。
Claims (1)
- 機械的変形により電気抵抗を変化させる検出素
子を備えた検出面が一面に形成された単結晶基板
を設け、中心部と周辺部とのいずれか一方を支持
部とし他方を作用部とした起歪体を設け、この起
歪体の表面に前記結晶基板を接着固定し、前記起
歪体の前記作用部に別部材により形成された力伝
達体を結合したことを特徴とする力検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16699786U JPS6372536U (ja) | 1986-10-30 | 1986-10-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16699786U JPS6372536U (ja) | 1986-10-30 | 1986-10-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6372536U true JPS6372536U (ja) | 1988-05-14 |
Family
ID=31098508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16699786U Pending JPS6372536U (ja) | 1986-10-30 | 1986-10-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6372536U (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63266358A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-02 | Nekushii Kenkyusho:Kk | 加速度検出装置 |
| WO1988008522A1 (en) * | 1987-04-24 | 1988-11-03 | Kabushiki Kaisha Nexy Kenkyusho | Detector for force, acceleration and magnetism using resistor element |
| WO1989002587A1 (en) * | 1987-09-18 | 1989-03-23 | Kazuhiro Okada | Force detection apparatus using resistance element and its application |
| JPH0290029A (ja) * | 1988-09-28 | 1990-03-29 | Agency Of Ind Science & Technol | 触覚センサ |
| JP2016200473A (ja) * | 2015-04-09 | 2016-12-01 | ローム株式会社 | 圧力分布センサ、入力装置、電子機器、センサチップ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5441306A (en) * | 1977-09-05 | 1979-04-02 | Yamanashi Prefecture | Wood defatting method |
| JPS5714492A (en) * | 1980-06-19 | 1982-01-25 | Urarusukii N Itsusureedowachie | Device for removing inside burr from electric welding pipe |
-
1986
- 1986-10-30 JP JP16699786U patent/JPS6372536U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5441306A (en) * | 1977-09-05 | 1979-04-02 | Yamanashi Prefecture | Wood defatting method |
| JPS5714492A (en) * | 1980-06-19 | 1982-01-25 | Urarusukii N Itsusureedowachie | Device for removing inside burr from electric welding pipe |
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|---|---|---|---|---|
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| WO1988008522A1 (en) * | 1987-04-24 | 1988-11-03 | Kabushiki Kaisha Nexy Kenkyusho | Detector for force, acceleration and magnetism using resistor element |
| WO1989002587A1 (en) * | 1987-09-18 | 1989-03-23 | Kazuhiro Okada | Force detection apparatus using resistance element and its application |
| JPH0290029A (ja) * | 1988-09-28 | 1990-03-29 | Agency Of Ind Science & Technol | 触覚センサ |
| JP2016200473A (ja) * | 2015-04-09 | 2016-12-01 | ローム株式会社 | 圧力分布センサ、入力装置、電子機器、センサチップ |