JPS62162376A - コヒ−レントな紫外線の発生方法 - Google Patents
コヒ−レントな紫外線の発生方法Info
- Publication number
- JPS62162376A JPS62162376A JP393286A JP393286A JPS62162376A JP S62162376 A JPS62162376 A JP S62162376A JP 393286 A JP393286 A JP 393286A JP 393286 A JP393286 A JP 393286A JP S62162376 A JPS62162376 A JP S62162376A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wavelength
- light
- bab2o4
- beta
- crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は波長２１２８Ａ付近のコヒーレントな紫外線の
発生方法に関し、さらに詳しくはレーザー光から約２１
２８人の波長を有づるコヒーレントな紫外線を高出力で
発生させるための方法に関する。
発生方法に関し、さらに詳しくはレーザー光から約２１
２８人の波長を有づるコヒーレントな紫外線を高出力で
発生させるための方法に関する。
及虱亘玖血血五旦ム５夏Ｓヱ辺」■焉
コヒーレントな紫外線は、たとえば半脣体装置を製造す
る際に行なわれるリソグラフィーにその用途が期待され
、またアイソトープの分離、バイオテクノロジー分野で
の用途も期待されている。
る際に行なわれるリソグラフィーにその用途が期待され
、またアイソトープの分離、バイオテクノロジー分野で
の用途も期待されている。
特に２１２８人付近のコヒーレントな紫外線は、高出力
で１ｑられるならば、ビーム状に絞りやすいためリソグ
ラフィーに適している。
で１ｑられるならば、ビーム状に絞りやすいためリソグ
ラフィーに適している。
従来コヒーレントな約２１２８Ａの紫外線を１ｑる方法
としては、Ｎｄ：ＹＡＧレーザーの基本波（１０６４２
Ａ＞およびその第４高調波（２６６ＯＡ＞をＫＨ２ＰＯ
４単結品、ＫＢ５０４・４Ｈ２Ｏ単結晶あるいは尿素単
結晶に入ｑ１させて発生させる方法が知られている。と
ころかこれらの結晶は潮解性が強いという問題点がおり
、特に尿素単結晶は室内では数時間で使用不能になって
しまうほどである。このためレーリ“−光を入射させる
ために端面を光学研摩しても、端面が潮解などにより劣
化して使用不能となってしまい、実用上大きな障害とな
っていた。しかも上記の単結晶は、温度によって屈折率
か変化勺ることかあるため、単結晶か紫外線を吸収して
その温度か上昇すると、所定温度まで冷却する必要かあ
り、特にＫＨ２ＰＯ４単結晶では一３５゛Ｃ以下に冷却
しな（）ればならないため操作条イ１か複雑になるとい
う問題点かあった。また尿索単結品を用いる場合には、
不純物の影響で結晶の吸収端が２１４０〜２１７ＯＡに
移動覆るため、位相整合した２１２８Ａの紫外線は通常
結晶に吸収されてしまうため、効率よ＜２１２８Ａのコ
ヒーレントな紫外線は得ることかできない。
としては、Ｎｄ：ＹＡＧレーザーの基本波（１０６４２
Ａ＞およびその第４高調波（２６６ＯＡ＞をＫＨ２ＰＯ
４単結品、ＫＢ５０４・４Ｈ２Ｏ単結晶あるいは尿素単
結晶に入ｑ１させて発生させる方法が知られている。と
ころかこれらの結晶は潮解性が強いという問題点がおり
、特に尿素単結晶は室内では数時間で使用不能になって
しまうほどである。このためレーリ“−光を入射させる
ために端面を光学研摩しても、端面が潮解などにより劣
化して使用不能となってしまい、実用上大きな障害とな
っていた。しかも上記の単結晶は、温度によって屈折率
か変化勺ることかあるため、単結晶か紫外線を吸収して
その温度か上昇すると、所定温度まで冷却する必要かあ
り、特にＫＨ２ＰＯ４単結晶では一３５゛Ｃ以下に冷却
しな（）ればならないため操作条イ１か複雑になるとい
う問題点かあった。また尿索単結品を用いる場合には、
不純物の影響で結晶の吸収端が２１４０〜２１７ＯＡに
移動覆るため、位相整合した２１２８Ａの紫外線は通常
結晶に吸収されてしまうため、効率よ＜２１２８Ａのコ
ヒーレントな紫外線は得ることかできない。
このにうな問題点を解決するため、化学的に安定でかつ
取扱いの容易なβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶を用いて、レー
ザー光からコヒーレン１〜な紫外線を得ようとする試み
か、Ｔｈ ｉ ｒｔｅｅｎｔｈＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎ
ａｌ ＱｕａｎｔｕｍＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃ
ｏｎｆｅｒｅｎｃｅの苛演集ＭＣＣ−５に発表されてい
る。
取扱いの容易なβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶を用いて、レー
ザー光からコヒーレン１〜な紫外線を得ようとする試み
か、Ｔｈ ｉ ｒｔｅｅｎｔｈＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎ
ａｌ ＱｕａｎｔｕｍＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃ
ｏｎｆｅｒｅｎｃｅの苛演集ＭＣＣ−５に発表されてい
る。
この文献では、Ｎｄ：ＹＡＧレーザーの基本波とからβ
−ＢａＢ２Ｏ４単結晶を用いて、波長２１２８Ａのコヒ
ーレントな紫外線を得ているが、この文献に教示された
方法では次のような問題点かおることか本発明者によっ
て見出された。１Ｊなりち波長２１２８Ａのコヒーレン
１〜な紫外線を得る際に、Ｎｄ：ＹＡＧレーナーの第４
高調波を用いているため、Ｎｄ ： ＹＡＧレーザーの
基本波と２６６ＯＡの第４高調波との偏光面を一致させ
る際に用いられる偏光素子が２６６０大の紫外線によっ
て破壊されやすいという大きな問題点かある。
−ＢａＢ２Ｏ４単結晶を用いて、波長２１２８Ａのコヒ
ーレントな紫外線を得ているが、この文献に教示された
方法では次のような問題点かおることか本発明者によっ
て見出された。１Ｊなりち波長２１２８Ａのコヒーレン
１〜な紫外線を得る際に、Ｎｄ：ＹＡＧレーナーの第４
高調波を用いているため、Ｎｄ ： ＹＡＧレーザーの
基本波と２６６ＯＡの第４高調波との偏光面を一致させ
る際に用いられる偏光素子が２６６０大の紫外線によっ
て破壊されやすいという大きな問題点かある。
このため波長２６６０大のコヒーレントな紫外線を高出
力で偏光素子に入射させることはできず、したがって波
長２１２８Ａのコヒーレン１〜へ紫外線を高出力で得る
ことはできないという欠点があった。
力で偏光素子に入射させることはできず、したがって波
長２１２８Ａのコヒーレン１〜へ紫外線を高出力で得る
ことはできないという欠点があった。
発明の目的
本発明は上記のような従来技術に伴なう問題点を解決し
ようとブるものであって、化学的に安定で必って取扱い
が容易なβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶を用いて、高出力の波
長２１２８Ａのコヒーレントな紫外線を効率よく得る方
法を提供りることを目的としている。
ようとブるものであって、化学的に安定で必って取扱い
が容易なβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶を用いて、高出力の波
長２１２８Ａのコヒーレントな紫外線を効率よく得る方
法を提供りることを目的としている。
発明の概要
本発明に係る２１２８Ａの波長を有するコヒーレントな
紫外線の発生方法は、Ｎｄ：ＹＡＧレーザーの第２高調
波（波長５３２１人）と第３高調波（波長３５４７Ａ）
とを、β−ＢａＢ２Ｏ４単結晶に、該レーザー光が前記
結晶のＸＺ而を進行しこの結晶のＹＩＩＩｌｌｌに平行
に直線偏光するように入射させるとともに、レーザー光
の進行方向とＺ軸とのなす角θが約６９．３°となるよ
うに入側ざぜ、約２１２８人の波長を有するコヒーレン
トな紫外線を１ｄることを特徴としている。
紫外線の発生方法は、Ｎｄ：ＹＡＧレーザーの第２高調
波（波長５３２１人）と第３高調波（波長３５４７Ａ）
とを、β−ＢａＢ２Ｏ４単結晶に、該レーザー光が前記
結晶のＸＺ而を進行しこの結晶のＹＩＩＩｌｌｌに平行
に直線偏光するように入射させるとともに、レーザー光
の進行方向とＺ軸とのなす角θが約６９．３°となるよ
うに入側ざぜ、約２１２８人の波長を有するコヒーレン
トな紫外線を１ｄることを特徴としている。
本発明によれば、Ｎｄ：ＹＡＧレーリ“−の第２高調波
（波長５３２１人）と第３高調波（波長３５４７Ａ＞と
を、特定の条件下にＢａＢ２ｏ４単結晶に入射させるこ
とにより、２１２８人付近の波長を有するコヒーレント
な紫外線か高出力で効率よＣ１％られる。しかもβ−Ｂ
ａＢ２Ｏ４単結晶は潮解性かないため空気中での取扱い
が可能となり、かつ屈折率が温度によってほとんど変化
しないため、たとえ該結晶か紫外線を吸収して温度が上
昇しても特に冷却する必要かなく、取扱いが極めて容易
である。その上、β−ＢａＢ２Ｏ４結晶はダメージ閾値
が非常に高く化学的に安定でおり、この而からも取扱い
が容易となる。
（波長５３２１人）と第３高調波（波長３５４７Ａ＞と
を、特定の条件下にＢａＢ２ｏ４単結晶に入射させるこ
とにより、２１２８人付近の波長を有するコヒーレント
な紫外線か高出力で効率よＣ１％られる。しかもβ−Ｂ
ａＢ２Ｏ４単結晶は潮解性かないため空気中での取扱い
が可能となり、かつ屈折率が温度によってほとんど変化
しないため、たとえ該結晶か紫外線を吸収して温度が上
昇しても特に冷却する必要かなく、取扱いが極めて容易
である。その上、β−ＢａＢ２Ｏ４結晶はダメージ閾値
が非常に高く化学的に安定でおり、この而からも取扱い
が容易となる。
発明の詳細な説明
以下本発明に係るコヒーレントな波長２１２８Ａ付近の
紫外線の発生方法について説明する。
紫外線の発生方法について説明する。
本発明で用いられるβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶は、従来公
知な結晶で必って、その製造方法も公λ目でおる。
知な結晶で必って、その製造方法も公λ目でおる。
このβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶は、入射光の波長によって
屈折率が変化づる非線型光学結晶であって、潮解性かな
く化学的に安定であり、空気中での取扱いか可能である
。またβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶は屈折率か温度によって
ほとんど変化しない。
屈折率が変化づる非線型光学結晶であって、潮解性かな
く化学的に安定であり、空気中での取扱いか可能である
。またβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶は屈折率か温度によって
ほとんど変化しない。
したがってたとえ該結晶がレーザー光あるいは紫外線を
吸収して温度が上昇しても特に冷却する必要（まない。
吸収して温度が上昇しても特に冷却する必要（まない。
このためコヒーレントな紫外線を得るに際しての取扱い
が極めて容易となる。さらにまた、β−ＢａＢ２Ｏ４単
結晶は本発明者の実験によれば２６６ＯＡで約５００Ｍ
Ｗ／Ｃｎとダメージ閾値が非常に高く、したかって該結
晶が破壊されることか少ない。
が極めて容易となる。さらにまた、β−ＢａＢ２Ｏ４単
結晶は本発明者の実験によれば２６６ＯＡで約５００Ｍ
Ｗ／Ｃｎとダメージ閾値が非常に高く、したかって該結
晶が破壊されることか少ない。
このようなβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶は、レーザー光線か
らのコヒーレントな紫外線への変換効率を表わす２次の
非線型光学定数かｄｌｌ（β−ＢａＢ２Ｏ４ ＞＝３．
４ｘｄ３６（ＫＨ２ＰＯ４）、ｄ３１（β−ＢａＢ２
ｏ４）＝Ｑ、４ｘｄ３６（ＫＨ２ＰＯ４）と大きい。し
かもβ−ＢａＢ２ｏ４単結晶は、常光線と異常光線との
屈折率の差で必る撥屈折率が、たとえば５３２１Ａ、３
５４７Ａ、２１２８Ａでそれぞれ 八ｎ＝ｎ ｏ
ｎ ｅ −０，１２１５，０，１３１２，０，１７５５
と非常に大きい。このため５３２１Ａおよび３５４７Ａ
のレーザー光は光混合より位相整合し、２１２８Ａの紫
外線が得られる。
らのコヒーレントな紫外線への変換効率を表わす２次の
非線型光学定数かｄｌｌ（β−ＢａＢ２Ｏ４ ＞＝３．
４ｘｄ３６（ＫＨ２ＰＯ４）、ｄ３１（β−ＢａＢ２
ｏ４）＝Ｑ、４ｘｄ３６（ＫＨ２ＰＯ４）と大きい。し
かもβ−ＢａＢ２ｏ４単結晶は、常光線と異常光線との
屈折率の差で必る撥屈折率が、たとえば５３２１Ａ、３
５４７Ａ、２１２８Ａでそれぞれ 八ｎ＝ｎ ｏ
ｎ ｅ −０，１２１５，０，１３１２，０，１７５５
と非常に大きい。このため５３２１Ａおよび３５４７Ａ
のレーザー光は光混合より位相整合し、２１２８Ａの紫
外線が得られる。
上記のようなβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶に、波長５３２１
ＡのＮｄ：ＹＡＧレーザーの第２高調波と波長３５４７
ＡのＮｄ：ＹＡＧレーザーの第３高調波とを１／２波長
波などの偏光素子を用いてその偏光面を一致させ、次い
でこのレーザー光を、該レーザー光が前記結晶のＸＺ面
を進行しこの結晶のＹ軸に平行に直線偏光するように入
射させるとともに、レーザー光の進行方向と７！！ｌｌ
ＩとのなＪ角θが約６９．３°となるように大剣させる
と、波長２１２８Ａの波長を有するコヒーレントな紫外
線を高出力で１ｑることかできる。
ＡのＮｄ：ＹＡＧレーザーの第２高調波と波長３５４７
ＡのＮｄ：ＹＡＧレーザーの第３高調波とを１／２波長
波などの偏光素子を用いてその偏光面を一致させ、次い
でこのレーザー光を、該レーザー光が前記結晶のＸＺ面
を進行しこの結晶のＹ軸に平行に直線偏光するように入
射させるとともに、レーザー光の進行方向と７！！ｌｌ
ＩとのなＪ角θが約６９．３°となるように大剣させる
と、波長２１２８Ａの波長を有するコヒーレントな紫外
線を高出力で１ｑることかできる。
位相整合角θか約６９．３°から大きくずれると、２１
２８Ａのコヒーレントな紫外線を高出力で得ることはで
きない。
２８Ａのコヒーレントな紫外線を高出力で得ることはで
きない。
本発明は、具体的には、第１図に示すように、まず波長
１０６４２ＡのＮｄ：ＹＡＧレーザーの基本波１をたと
えばＣｊＡＳＯ、ＫＨ２ｐｏ４、β−ＢａＢ２Ｏ４など
の第１非線型光学素子２に入射させ、波長５３２１Ａの
第２高調波３に波長変換し、次いで第１偏光索子４によ
り１０６４２Ａと５３２１Ａのレーザー光の偏光面を一
致させる。次に、この偏光面が一致した波長１０６４２
Ａと波長５３２１Ａのレーザー光を、β−ＢａＢ２Ｏ４
からなる第２非線型光学索子５に入射させる。その際の
入射レーザー光の偏光方向はＹ軸に平行で該結晶での進
行面はＸＺ面とする。このようにすると、波長５３２１
ＡのＮｄ：ＹＡＧレーザーの第２高調波３と波長３５４
７ＡのＮｄ：ＹＡＧレーザーの第３高調波６とが得られ
る。
１０６４２ＡのＮｄ：ＹＡＧレーザーの基本波１をたと
えばＣｊＡＳＯ、ＫＨ２ｐｏ４、β−ＢａＢ２Ｏ４など
の第１非線型光学素子２に入射させ、波長５３２１Ａの
第２高調波３に波長変換し、次いで第１偏光索子４によ
り１０６４２Ａと５３２１Ａのレーザー光の偏光面を一
致させる。次に、この偏光面が一致した波長１０６４２
Ａと波長５３２１Ａのレーザー光を、β−ＢａＢ２Ｏ４
からなる第２非線型光学索子５に入射させる。その際の
入射レーザー光の偏光方向はＹ軸に平行で該結晶での進
行面はＸＺ面とする。このようにすると、波長５３２１
ＡのＮｄ：ＹＡＧレーザーの第２高調波３と波長３５４
７ＡのＮｄ：ＹＡＧレーザーの第３高調波６とが得られ
る。
この波長５３２１ＡのＮｄ：ＹＡＧレーザーの第２高調
波３と波長３５４７ＡのＮｄ：ＹＡＧレーザーの第３高
調波６との偏光面を第２偏光素子７により一致させ、次
にこのレーザー光を、β−ＢａＢ２Ｏ４単結晶に、該レ
ーザー光が結晶のＸＺ面を進行しこの結晶のＹＩｌｌｌ
に平行に直線偏光するように大剣させるとともに、レー
ザー光の進行方向と７軸とのなず角θが約６９．３°と
なるように入射させると、波長２１２８Ａのコヒーレン
トな紫外線が高出力で得られる。なお入射レーリ“−光
と２１２８Ａのコヒーレン１へな紫外線とは、プリズム
８により分離することかできる。
波３と波長３５４７ＡのＮｄ：ＹＡＧレーザーの第３高
調波６との偏光面を第２偏光素子７により一致させ、次
にこのレーザー光を、β−ＢａＢ２Ｏ４単結晶に、該レ
ーザー光が結晶のＸＺ面を進行しこの結晶のＹＩｌｌｌ
に平行に直線偏光するように大剣させるとともに、レー
ザー光の進行方向と７軸とのなず角θが約６９．３°と
なるように入射させると、波長２１２８Ａのコヒーレン
トな紫外線が高出力で得られる。なお入射レーリ“−光
と２１２８Ａのコヒーレン１へな紫外線とは、プリズム
８により分離することかできる。
本発明では、第２□□□光素子７には波長３５４７Ａよ
り長波長のレーザー光が入射されているため、この偏光
素子７が破壊されることか防止されるため、高出力の入
射レーザーを使用でき、高出力の２１２８Ａのコヒーレ
ントな紫外線を得ることができる。
り長波長のレーザー光が入射されているため、この偏光
素子７が破壊されることか防止されるため、高出力の入
射レーザーを使用でき、高出力の２１２８Ａのコヒーレ
ントな紫外線を得ることができる。
このようにして１ｑられる２１２８人の波長を有するコ
ヒーレントな紫外線は、たとえばリソグラフィーに際し
て用いられ、またアイソトープの分離、バイオテクノロ
ジー分野での用途が期待される。さらに、人体の治療用
あるいは手術用の紫外線としての用途も期待される。
ヒーレントな紫外線は、たとえばリソグラフィーに際し
て用いられ、またアイソトープの分離、バイオテクノロ
ジー分野での用途が期待される。さらに、人体の治療用
あるいは手術用の紫外線としての用途も期待される。
発明の効果
本発明によれば、Ｎｄ：ＹＡＧレーザーの第２高調波（
５３２１Ａ）と第３高調波（波長３５４７Ａ＞とを、特
定の条件下にβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶に入射させること
により、２１２８Ａ付近の波長を有づるコヒーレントな
紫外線が高出力で効率よく得られる。しか乙β−ＢａＢ
２Ｏ４単結晶は潮解性がないため空気中での取扱いか可
能となり、かつ屈折率が温度によってほとんど変化しな
いため、たとえ該結晶か紫外線を吸収して温度が上昇し
ても特に冷却づる必要かなく、取扱いか極めて容易でお
る。その上、β−ＢａＢ２Ｑ４結晶はダメージ閾値が非
常に高く化学的に安定であり、この面からも取扱いが容
易となる。
５３２１Ａ）と第３高調波（波長３５４７Ａ＞とを、特
定の条件下にβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶に入射させること
により、２１２８Ａ付近の波長を有づるコヒーレントな
紫外線が高出力で効率よく得られる。しか乙β−ＢａＢ
２Ｏ４単結晶は潮解性がないため空気中での取扱いか可
能となり、かつ屈折率が温度によってほとんど変化しな
いため、たとえ該結晶か紫外線を吸収して温度が上昇し
ても特に冷却づる必要かなく、取扱いか極めて容易でお
る。その上、β−ＢａＢ２Ｑ４結晶はダメージ閾値が非
常に高く化学的に安定であり、この面からも取扱いが容
易となる。
第１図は本発明に係るコヒーレントな紫外線の発生方法
の概略説明図である。 １・・・１＼ｄ ： ＹＡＧレーリ゛−基本波、２・・
・第１非線型光学素子、３・・・第２高調波、４・・・
第１偏光素子、５・・・第２非線型光学素子、６・・・
第３高調波、７・・・第２協光素子、８・・・プリズム
。 代理人 弁理士 鈴 木 俊一部ｉ 崩 １ 図
の概略説明図である。 １・・・１＼ｄ ： ＹＡＧレーリ゛−基本波、２・・
・第１非線型光学素子、３・・・第２高調波、４・・・
第１偏光素子、５・・・第２非線型光学素子、６・・・
第３高調波、７・・・第２協光素子、８・・・プリズム
。 代理人 弁理士 鈴 木 俊一部ｉ 崩 １ 図
Claims (1)
- Ｎｄ：ＹＡＧレーザーの第２高調波（波長５３２１Å）
と第３高調波（波長３５４７Å）とを、β−ＢａＢ＿２
Ｏ＿４単結晶に、該レーザー光が前記結晶のＸＺ面を進
行しこの結晶のＹ軸に平行に直線偏光するように入射さ
せるとともに、レーザー光の進行方向とＺ軸とのなす角
θが約６９．３°となるように入射させ、約２１２８Å
の波長を有するコヒーレントな紫外線を得ることを特徴
とするコヒーレントな紫外線の発生方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP393286A JPS62162376A (ja) | 1986-01-11 | 1986-01-11 | コヒ−レントな紫外線の発生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP393286A JPS62162376A (ja) | 1986-01-11 | 1986-01-11 | コヒ−レントな紫外線の発生方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62162376A true JPS62162376A (ja) | 1987-07-18 |
Family
ID=11570909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP393286A Pending JPS62162376A (ja) | 1986-01-11 | 1986-01-11 | コヒ−レントな紫外線の発生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62162376A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01274487A (ja) * | 1988-04-27 | 1989-11-02 | Hamamatsu Photonics Kk | 光波長変換装置 |
| US5113402A (en) * | 1989-09-21 | 1992-05-12 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Solid state laser device for lithography light source and semiconductor lithography method |
-
1986
- 1986-01-11 JP JP393286A patent/JPS62162376A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01274487A (ja) * | 1988-04-27 | 1989-11-02 | Hamamatsu Photonics Kk | 光波長変換装置 |
| US5113402A (en) * | 1989-09-21 | 1992-05-12 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Solid state laser device for lithography light source and semiconductor lithography method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Kitazawa et al. | Ultraviolet generation at 266 nm in a novel organic nonlinear optical crystal: l‐pyrrolidone‐2‐carboxylic acid | |
| Kato | Tunable UV generation to 0.2325 mu m in LiB/sub 3/O/sub 5 | |
| Sugawara et al. | Linear and nonlinear optical properties of lithium tetraborate | |
| CN102957083B (zh) | 直接倍频实现波长160～170nm全固态深紫外激光的装置 | |
| JPH0758378B2 (ja) | 非線形光学的装置 | |
| WO2022056698A1 (zh) | 一种参量光的产生方法及应用 | |
| US5123022A (en) | Frequency mixing crystal | |
| Gloster et al. | Characterization of an Nd: YAG-pumped/spl beta/-BaB/sub 2/O/sub 4/optical parametric oscillator in collinear and noncollinear phase-matched configurations | |
| Otomo et al. | 2Nd-Harmonic Generation By Counter Propagating Beams In 4-Dimethylamino-4'-Nitrostilbene Side-Chain Polymer Channel Wave-Guides | |
| JPS62162376A (ja) | コヒ−レントな紫外線の発生方法 | |
| Jani et al. | Pump wavelength tuning of optical parametric oscillations and frequency mixing in KTiOAsO4 | |
| JPS62162378A (ja) | コヒ−レントな紫外線の発生方法 | |
| JPS62162374A (ja) | コヒ−レントな紫外線の発生方法 | |
| JPH03179328A (ja) | 光波長変換方法 | |
| JPS62162375A (ja) | コヒ−レントな紫外線の発生方法 | |
| JPS62162377A (ja) | コヒ−レントな紫外線の発生方法 | |
| JPH0792578B2 (ja) | 波長変換素子の作製方法および波長変換素子 | |
| US5510929A (en) | Solid solution crystals of Tl3 AsSe3 and Tl3 AsS3 for high efficiency optical applications | |
| Wang et al. | Nonlinear mirror with all-dielectric metasurface | |
| JPS6355990A (ja) | レ−ザ−光の波長変換方法 | |
| Shen et al. | Twice sum‐frequency mixing of a dual‐wavelength Nd: YALO3 laser to get 413.7‐nm violet coherent radiation in LiIO3 crystal | |
| CN117613649A (zh) | 一种频率转换光纤 | |
| TWI239128B (en) | A blue-light generating femtosecond wavelength-tunable non-collinear optical parametric amplifier | |
| JPH04229840A (ja) | 光波長変換モジュール | |
| CN103840361A (zh) | 1730nm和2763nm输出的全固态光学参量振荡器 |