JPS62162375A - コヒ−レントな紫外線の発生方法 - Google Patents
コヒ−レントな紫外線の発生方法Info
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- JPS62162375A JPS62162375A JP393186A JP393186A JPS62162375A JP S62162375 A JPS62162375 A JP S62162375A JP 393186 A JP393186 A JP 393186A JP 393186 A JP393186 A JP 393186A JP S62162375 A JPS62162375 A JP S62162375A
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- ultraviolet radiation
- crystal
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は、アルゴンイオンレーザ−を用いたコヒーレン
トな紫外線の発生方法に関づる。
トな紫外線の発生方法に関づる。
発明の技術的前日ならびにその問題点
コヒーレントな紫外線は、たとえば半導体装置を製造す
る際に行なわれるリソグラフィーにその用途が期待され
、またアイソトープの分離、バイオテクノロジー分野で
の用途も期待されている。
る際に行なわれるリソグラフィーにその用途が期待され
、またアイソトープの分離、バイオテクノロジー分野で
の用途も期待されている。
特に波長２５００〜２６００人のコヒーレンｉ〜な紫外
線は、パワーが大きく得られるのであればビーム状に絞
りやすいためリソグラフィーに適している。
線は、パワーが大きく得られるのであればビーム状に絞
りやすいためリソグラフィーに適している。
従来コヒーレントな短波長の紫外線を得る方法としては
、２つの巽なった波長のレーザー光を空間的に重ね合わ
せた後、特定の複屈折率を有するＫＨ２ＰＯ４単結晶、
ＫＢ５０４・４日２Ｏ単結晶あるいは尿素単結晶に通過
させる方法か知られている。ところがこれらの結晶は潮
解性か強いという問題点があり、特に尿素単結晶は至内
では数時間で使用不能になってしまうほどでおる。この
ためレーク”−光を入射させるために端面を光学ｊＪｌ
磨しても、端面が潮解などにより劣化して使用不能とな
ってしまい、実用上大きな障害となっていた。しかも上
記の単結晶は、温度によって屈折率か変化することがあ
るため、単結晶が紫外線を吸収してその温度が上昇する
と、位相整合条イイ１か破壊されるため所定温度まで冷
五口する必要があり、この許容温度幅が０．１°Ｃ以下
と狭く操作条件が複雑になるという問題点がめった。
、２つの巽なった波長のレーザー光を空間的に重ね合わ
せた後、特定の複屈折率を有するＫＨ２ＰＯ４単結晶、
ＫＢ５０４・４日２Ｏ単結晶あるいは尿素単結晶に通過
させる方法か知られている。ところがこれらの結晶は潮
解性か強いという問題点があり、特に尿素単結晶は至内
では数時間で使用不能になってしまうほどでおる。この
ためレーク”−光を入射させるために端面を光学ｊＪｌ
磨しても、端面が潮解などにより劣化して使用不能とな
ってしまい、実用上大きな障害となっていた。しかも上
記の単結晶は、温度によって屈折率か変化することがあ
るため、単結晶が紫外線を吸収してその温度が上昇する
と、位相整合条イイ１か破壊されるため所定温度まで冷
五口する必要があり、この許容温度幅が０．１°Ｃ以下
と狭く操作条件が複雑になるという問題点がめった。
このような問題点を解決するため、化学的に安定でかつ
取扱いの容易なβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶を用いて、レー
ザー光からコヒーレントな紫外線ヲ得ヨうとスル試みが
、ｌ’−ｈ ｉ ｒｔｅｅｎｔｈＩｎｔｅｒｎａｔｉｏ
ｎａｌ ＱｕａｎｔｕｒｎＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ
Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅの講演果ＭＣＣ−５に発表され
ている。ところかこの文献では、用いられるレーザー光
源が限定されでいるなどの理由から波長２５０Ｃ）〜２
６００人のコヒーレントな紫外線が高出力で得られると
の報吉はなされていない。
取扱いの容易なβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶を用いて、レー
ザー光からコヒーレントな紫外線ヲ得ヨうとスル試みが
、ｌ’−ｈ ｉ ｒｔｅｅｎｔｈＩｎｔｅｒｎａｔｉｏ
ｎａｌ ＱｕａｎｔｕｒｎＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ
Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅの講演果ＭＣＣ−５に発表され
ている。ところかこの文献では、用いられるレーザー光
源が限定されでいるなどの理由から波長２５０Ｃ）〜２
６００人のコヒーレントな紫外線が高出力で得られると
の報吉はなされていない。
発明の目的
本発明は上記のような従来技術に伴なう問題点を解決し
ようとするものであって、化学的に安定で必って取扱い
か容易なβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶を用いて、工業的な用
途が期待される波長２５００〜２６０ＯＡのコヒーレン
トな紫外線を高強度に効率よく得るための方法を提供す
ることを目的としている。
ようとするものであって、化学的に安定で必って取扱い
か容易なβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶を用いて、工業的な用
途が期待される波長２５００〜２６０ＯＡのコヒーレン
トな紫外線を高強度に効率よく得るための方法を提供す
ることを目的としている。
発明の概要
本発明に係るコヒーレントな紫外線の発生方法は、β−
ＢａＢ２Ｏ４単結晶に、アルゴンイオンレーザ−を、レ
ーザー光が前記結晶の×Ｚ面を進行し、この結晶のＹ軸
に平行に直線偏光するように入射させるとともに、レー
ザー光の進行方向とＺ軸とのなす角θが４９．９〜５６
．９°となるように入射ざぜ、その波長を第２高調波に
波長変換して、コヒーレントな紫外線を得ることを特徴
としている。
ＢａＢ２Ｏ４単結晶に、アルゴンイオンレーザ−を、レ
ーザー光が前記結晶の×Ｚ面を進行し、この結晶のＹ軸
に平行に直線偏光するように入射させるとともに、レー
ザー光の進行方向とＺ軸とのなす角θが４９．９〜５６
．９°となるように入射ざぜ、その波長を第２高調波に
波長変換して、コヒーレントな紫外線を得ることを特徴
としている。
本発明によれば、アルゴンイオンレーデ−を特定の条件
下にβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶に入射させることにより、
２５００〜２６０ＯＡのコヒーレントな紫外線が高強度
で効率よく得られる。しかもβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶は
潮解性かないため、空気中ての取扱いが可能となり、か
つ屈折率が温度によってほとんど変化しないため、たと
え該結晶か紫外線を吸収して温度が上昇しても特に冷却
する必要がなく、取扱いか極めて容易で必る。その上、
β−Ｂａｎｊｏ４単結晶はダメージ閾値が非常に高く化
学的に安定て必り、この面からも取扱いか容易となる。
下にβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶に入射させることにより、
２５００〜２６０ＯＡのコヒーレントな紫外線が高強度
で効率よく得られる。しかもβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶は
潮解性かないため、空気中ての取扱いが可能となり、か
つ屈折率が温度によってほとんど変化しないため、たと
え該結晶か紫外線を吸収して温度が上昇しても特に冷却
する必要がなく、取扱いか極めて容易で必る。その上、
β−Ｂａｎｊｏ４単結晶はダメージ閾値が非常に高く化
学的に安定て必り、この面からも取扱いか容易となる。
発明の詳細な説明
以下本発明に係るコヒーレントな紫外線の発生方法につ
いて説明する。
いて説明する。
本発明で用いられるβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶は、従来公
知な結晶であって、その製造方法も公知である。
知な結晶であって、その製造方法も公知である。
このβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶は、入射光の波長によって
屈折率か変化する非線型光学結晶でおって、潮解性がな
く化学的に安定であり、空気中の取扱いが可能である。
屈折率か変化する非線型光学結晶でおって、潮解性がな
く化学的に安定であり、空気中の取扱いが可能である。
またβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶は屈折率が温度によってほ
とんど変化しない。
とんど変化しない。
したかつてたとえ該結晶かレーザー光あるいは紫外線を
吸収して温度が上昇しても特に冷却づる必要はない。こ
のためコヒーレントな紫外線を得るに際しての取扱いか
極めて容易となる。ざらにまＩコβ−ＢａＢ２Ｏ４単結
晶は２６６ＯＡで約５００Ｍ〜Ｖ／ｃｒＡとダメージ閾
値が非常に高く、したがって該結晶が破壊されることが
少ない。
吸収して温度が上昇しても特に冷却づる必要はない。こ
のためコヒーレントな紫外線を得るに際しての取扱いか
極めて容易となる。ざらにまＩコβ−ＢａＢ２Ｏ４単結
晶は２６６ＯＡで約５００Ｍ〜Ｖ／ｃｒＡとダメージ閾
値が非常に高く、したがって該結晶が破壊されることが
少ない。
このようなβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶は、レーザー光線か
らのコヒーレントな紫外線への変換効率を表わす２次の
非線型光学定数がｄｌｌ（β−３ａＢ２Ｏ４）よ３．４
ｘｄ３Ｂ（ＫＨ２ＰＯ４）、ｄ （β −ＢａＢ
２ ０４ ＞＝０． ４ｘｄ３６（ＫＨ２ＰＯ４）
と大きい。しかも８−ＢａＢ２Ｏ４単結晶は、常光線と
異常光線との屈折率の差である投屈折率が、たとえば５
３２１Ａ、２６６ＯＡ、２１２８Ａでそれぞれ△ｎ＝ｎ
ｏ−ｎｏ−〇、１２１５．０．１４５８．０．１７５５
と非常に大ぎい。
らのコヒーレントな紫外線への変換効率を表わす２次の
非線型光学定数がｄｌｌ（β−３ａＢ２Ｏ４）よ３．４
ｘｄ３Ｂ（ＫＨ２ＰＯ４）、ｄ （β −ＢａＢ
２ ０４ ＞＝０． ４ｘｄ３６（ＫＨ２ＰＯ４）
と大きい。しかも８−ＢａＢ２Ｏ４単結晶は、常光線と
異常光線との屈折率の差である投屈折率が、たとえば５
３２１Ａ、２６６ＯＡ、２１２８Ａでそれぞれ△ｎ＝ｎ
ｏ−ｎｏ−〇、１２１５．０．１４５８．０．１７５５
と非常に大ぎい。
上記のようなβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶に、アルゴンイオ
ンレーザ−を、レーザ−光源 而を進行し、口の結晶のＹ軸に平行に直線偏光づるよう
に入射させるとともに、レーリ゛−光の進行方向とＺ
ｉ’ｌｌｌとのなす角（位相整合角）θが４９゜９・〜
５６．９°となるように入射ざｌ、その波長を第２高調
波に波長変換すると、コヒーレントな紫外線か１υられ
る。
ンレーザ−を、レーザ−光源 而を進行し、口の結晶のＹ軸に平行に直線偏光づるよう
に入射させるとともに、レーリ゛−光の進行方向とＺ
ｉ’ｌｌｌとのなす角（位相整合角）θが４９゜９・〜
５６．９°となるように入射ざｌ、その波長を第２高調
波に波長変換すると、コヒーレントな紫外線か１υられ
る。
アルゴンイオンレーザーは、４５７９．４７６５．４８
８０．５０１７および５１４５人の５本のレーザー発振
線を有しているか、これらはβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶に
より第２高調波に波長変換され、それぞれ２２９０．２
３８３．２４４０．２５０９．２５７３人のコヒーレン
トな紫外線が得られる。このうち２５７３Ａのコヒーレ
ントな紫外線は、特にパワーが大きく得られる。
８０．５０１７および５１４５人の５本のレーザー発振
線を有しているか、これらはβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶に
より第２高調波に波長変換され、それぞれ２２９０．２
３８３．２４４０．２５０９．２５７３人のコヒーレン
トな紫外線が得られる。このうち２５７３Ａのコヒーレ
ントな紫外線は、特にパワーが大きく得られる。
なあ、基本波と第２高調波とは、石英製プリズムを用い
て分離される。
て分離される。
このようにして得られる２５００〜２６０ＯＡのパワー
の大きいコヒーレントな紫外線は、たとえばリソグラフ
ィーに際して用いられ、またアイソトープの分離、バイ
オテクノロジー分野での用）企か期待される。ざらに人
体の治療用あるいは手術用の紫外線としての用途も期待
される。
の大きいコヒーレントな紫外線は、たとえばリソグラフ
ィーに際して用いられ、またアイソトープの分離、バイ
オテクノロジー分野での用）企か期待される。ざらに人
体の治療用あるいは手術用の紫外線としての用途も期待
される。
発明の効果
本発明によれば、アルゴンイオンレーザ−を特定の条件
下にβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶に入射させることにより、
２５００−２６００Ａのコヒーレン１〜な紫外線が高強
度で効率よく得られる。しかしβ−Ｂａｎｊｏ４単結晶
は潮解性かないため、空気中での取扱いが可能となり、
かつ回折率か温度によってほとんど変化しないため、た
とえ該結晶か紫外線を吸収して温度か上昇しても特に冷
却する必要がなく、取扱いが極めて容易である。その上
、β−ＢａＢ２Ｏ４結晶はダメージ閾値が非常に高く化
学的に安定であり、この而からも取扱いが容易となる。
下にβ−ＢａＢ２Ｏ４単結晶に入射させることにより、
２５００−２６００Ａのコヒーレン１〜な紫外線が高強
度で効率よく得られる。しかしβ−Ｂａｎｊｏ４単結晶
は潮解性かないため、空気中での取扱いが可能となり、
かつ回折率か温度によってほとんど変化しないため、た
とえ該結晶か紫外線を吸収して温度か上昇しても特に冷
却する必要がなく、取扱いが極めて容易である。その上
、β−ＢａＢ２Ｏ４結晶はダメージ閾値が非常に高く化
学的に安定であり、この而からも取扱いが容易となる。
代理人 弁理士 鈴 木 俊一部）
瓢、−一一ノ
Claims (1)
- β−ＢａＢ＿２Ｏ＿４単結晶に、アルゴンイオンレーザ
ーを、該レーザー光が前記結晶のＸＺ面を進行し、この
結晶のＹ軸に平行に直線偏光するように入射させるとと
もに、レーザー光の進行方向とＺ軸とのなす角θが４９
．９〜５６．９°となるように入射させ、その波長を第
２高調波に波長変換して、コヒーレントな紫外線を得る
ことを特徴とするコヒーレントな紫外線の発生方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP393186A JPH0636453B2 (ja) | 1986-01-11 | 1986-01-11 | コヒ−レントな紫外線の発生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP393186A JPH0636453B2 (ja) | 1986-01-11 | 1986-01-11 | コヒ−レントな紫外線の発生方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62162375A true JPS62162375A (ja) | 1987-07-18 |
| JPH0636453B2 JPH0636453B2 (ja) | 1994-05-11 |
Family
ID=11570881
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP393186A Expired - Lifetime JPH0636453B2 (ja) | 1986-01-11 | 1986-01-11 | コヒ−レントな紫外線の発生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0636453B2 (ja) |
-
1986
- 1986-01-11 JP JP393186A patent/JPH0636453B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0636453B2 (ja) | 1994-05-11 |
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