JPS62157150U - - Google Patents

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JPS62157150U
JPS62157150U JP4426086U JP4426086U JPS62157150U JP S62157150 U JPS62157150 U JP S62157150U JP 4426086 U JP4426086 U JP 4426086U JP 4426086 U JP4426086 U JP 4426086U JP S62157150 U JPS62157150 U JP S62157150U
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JP
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orientation flat
pulse
pulse motor
optical sensor
detection optical
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例の平面図、第２図
は同じく縦断側面図、第３図、第４図、第５図は
同実施例の動作説明図、第６図は演算駆動部のブ
ロツク図である。 １……チヤツク、２……オリフラ検出光センサ
、３……センタリングカツプ、４……センタリン
グピース、５……搬送ベルト、６……パルスモー
タ、７……第１のシリンダ、８……第２のシリン
ダ、９……第３のシリンダ、１０……ウエハ、１
１……オリフラ部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ウエハの中心を回転軸の中心に保持し、こ
    の回転軸を中心に正逆回転自在なチヤツクと、こ
    のチヤツクの回転軸に速結されて、チヤツクを正
    逆転駆動するパルスモータと、前記ウエハの外周
    縁より僅かに内側位置に設置され、光学的手段に
    より、ウエハのオリエンテーシヨンフラツト部を
    検出するオリフラ検出光センサと、チヤツク・ウ
    エハ保持時点より前記パルスモータを回転駆動す
    るパルスを送出し、前記オリフラ検出光センサの
    ＯＮ，ＯＦＦ信号とパルス計数によりオリエンテ
    ーシヨンフラツト部の長さとその位置を計測記憶
    し、この記憶された計測値を演算処理して前記パ
    ルスモータを駆動し、オリエンテーシヨンフラツ
    ト部を必要とする任意位置に設定する演算駆動部
    とよりなるオリエンテーシヨンフラツトの位置設
    定装置。 (2) 上記演算駆動部はオリフラ検出光センサの
    オリエンテーシヨンフラツト部の一端検出のＯＮ
    信号より他端検出によるＯＦＦ信号までパルスを
    計数記慣し、記憶されたパルス計数値を２分の１
    の演算を行ない、この演算値のパルス数だけパル
    スモータを逆回転してオリエンテーシヨンフラツ
    ト部の位置を設定することを特徴とする実用新案
    登録請求の範囲第１項に記載のオリエンテーシヨ
    ンフラツトの位置設定装置。 (3) 上記演算駆動部はオリフラ検出光センサの
    オリエンテーシヨンフラツト部の一端検出のＯＮ
    信号より他端検出によるＯＦＦ信号までパルスを
    計数記憶し、記憶されたパルス計数値を２分の１
    の演算を行ない、この演算値をあらかじめ設定さ
    れた設定位置情報を演算処理して得られたパルス
    数だけパルスモータを正転又は逆転してオリエン
    テーシヨンフラツト部を必要とする位置に設定す
    ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
    項に記載されたオリエンテーシヨンフラツトの位
    置設定装置。 (4) 上記演算駆動部はオリフラ検出光センサの
    オリエンテーシヨンフラツト部の一端検出ＯＮ信
    号より、ウエハーを１回転するまでパルスモータ
    ーを回転駆動し、その間複数個のオリエンテーシ
    ヨンフラツト部の夫々の長さとその位置をオリフ
    ラ検出光センサのＯＮ，ＯＦＦ信号とパルス計数
    値により計測記憶し、更に計測された夫々のオリ
    エンテーシヨンフラツト部の長さを比較演算し、
    所要のオリエンテーシヨンフラツト部を求め、こ
    のオリエンテーシヨンフラツト部の記憶された巾
    の長さとその位置とあらかじめ設定された設定位
    置情報とを演算処理して、演算処理値のパルス数
    だけパルスモータを正転又は逆転駆動して前に所
    要のオリエンテーシヨンフラツト部を必要な位置
    に設定することを特徴とする実用新案登録請求の
    範囲第１項に記載のオリエンテーシヨンフラツト
    の位置設定装置。 (5) 上記ウエハは搬送ベルトで搬送され、セン
    タリングピース位置で停止したのち搬送ベルトと
    センタリングピースの降下により内側斜面を有す
    るセンタリングカツプに挿入され、このセンタリ
    ングカツプの上下動によるセンタリング動作でセ
    ンタリングされることを特徴とする実用新案登録
    請求の範囲第１項乃至第４項に記載のオリエンテ
    ーシヨンフラツトの位置設定装置。
JP1986044260U 1986-03-26 1986-03-26 Expired JPH0121563Y2 (ja)

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JP1986044260U JPH0121563Y2 (ja) 1986-03-26 1986-03-26

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JP1986044260U JPH0121563Y2 (ja) 1986-03-26 1986-03-26

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Publication Number Publication Date
JPS62157150U true JPS62157150U (ja) 1987-10-06
JPH0121563Y2 JPH0121563Y2 (ja) 1989-06-27

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ID=30861899

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5539901A (en) * 1978-08-09 1980-03-21 Hitachi Denshi Ltd Integrating multiplication system of digital differential analyzer
JPS59181617A (ja) * 1983-03-28 1984-10-16 シリコン・バレイ・グル−プ・インコ−ポレイテツド ウエ−ハ操作方法及び装置
JPS61234544A (ja) * 1985-04-11 1986-10-18 Daiichi Seiki Kk ウエハ−の位置決め装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5539901A (en) * 1978-08-09 1980-03-21 Hitachi Denshi Ltd Integrating multiplication system of digital differential analyzer
JPS59181617A (ja) * 1983-03-28 1984-10-16 シリコン・バレイ・グル−プ・インコ−ポレイテツド ウエ−ハ操作方法及び装置
JPS61234544A (ja) * 1985-04-11 1986-10-18 Daiichi Seiki Kk ウエハ−の位置決め装置

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Publication number Publication date
JPH0121563Y2 (ja) 1989-06-27

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