JPS62151676A - 分岐バルブ - Google Patents
分岐バルブInfo
- Publication number
- JPS62151676A JPS62151676A JP25739585A JP25739585A JPS62151676A JP S62151676 A JPS62151676 A JP S62151676A JP 25739585 A JP25739585 A JP 25739585A JP 25739585 A JP25739585 A JP 25739585A JP S62151676 A JPS62151676 A JP S62151676A
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- JP
- Japan
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- valve
- branch
- valve body
- flow path
- fluid
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は分岐バルブに関し、特にＩＣ，ＬＳ【、超ＬＳ
Ｉなどの半導体集積回路の製造ラインに用いられる純水
・超純水、医薬品の製造・調合に用いられる無菌水、あ
るいは食料品関係の流体などを輸送する配管路の分岐部
に用いられて好適な新規な分岐バルブに関するものであ
る。
Ｉなどの半導体集積回路の製造ラインに用いられる純水
・超純水、医薬品の製造・調合に用いられる無菌水、あ
るいは食料品関係の流体などを輸送する配管路の分岐部
に用いられて好適な新規な分岐バルブに関するものであ
る。
（従来の技術）
従来より、配管路に開閉弁を有する分岐部を設ける場合
、第５図に示す方法で分岐配管されていた。即ち、主管
路１′および２′を丁字形継手３″で接続し、この継手
３′の分岐部３１’に接続短管４°を介して開閉弁例え
ばポールバルブ５′を接続し、このバルブ５′に分岐管
路６′が接続されて分岐部が配管される。尚、７′は球
状の弁体、８′は弁体７とバルブ本体との間をシールす
るバッキングである。
、第５図に示す方法で分岐配管されていた。即ち、主管
路１′および２′を丁字形継手３″で接続し、この継手
３′の分岐部３１’に接続短管４°を介して開閉弁例え
ばポールバルブ５′を接続し、このバルブ５′に分岐管
路６′が接続されて分岐部が配管される。尚、７′は球
状の弁体、８′は弁体７とバルブ本体との間をシールす
るバッキングである。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、上記従来の配管においては、の結果、滞
留部９°に滞留する流体がバクテリアの発生により腐敗
して不衛生（、こなり、食オ′４品関係の流体、医薬品
の製造・調合に用いられる無菌水を輸送する配管路の分
岐配管に用いられるバルフ゛としては好ましくなかった
。ま７二、Ｊ、＝ 、：、己のバルブをＩＣ，ＬＳＩ、
超ＬＳＩなどの半導体集積回路の製造ラインに用いられ
る純水・超純水を輸送する配管路の分岐配管に用いた場
合、上記の滞留部９′に純水・超純水が滞１′ｉ７する
ことにより水の純度が低下するとか、バクテリアが発生
するという問題があった。さらに、弁体７゜を繰り返し
開閉することにより、弁体７゛との慴動摩擦によって、
パ・ンキング８′の表面層が微粒子状となって純水・超
純水中に流出してくる。
留部９°に滞留する流体がバクテリアの発生により腐敗
して不衛生（、こなり、食オ′４品関係の流体、医薬品
の製造・調合に用いられる無菌水を輸送する配管路の分
岐配管に用いられるバルフ゛としては好ましくなかった
。ま７二、Ｊ、＝ 、：、己のバルブをＩＣ，ＬＳＩ、
超ＬＳＩなどの半導体集積回路の製造ラインに用いられ
る純水・超純水を輸送する配管路の分岐配管に用いた場
合、上記の滞留部９′に純水・超純水が滞１′ｉ７する
ことにより水の純度が低下するとか、バクテリアが発生
するという問題があった。さらに、弁体７゜を繰り返し
開閉することにより、弁体７゛との慴動摩擦によって、
パ・ンキング８′の表面層が微粒子状となって純水・超
純水中に流出してくる。
このことが、特に回路幅が数、＆？ＦＴといわれる超Ｌ
ＳＩ製品の性能ならびに歩留まりに大きな障害を与える
ものであった。
ＳＩ製品の性能ならびに歩留まりに大きな障害を与える
ものであった。
上記従来のバルブの欠点を解消する分岐バルブとして、
例えば実開昭５９−１２５６６６号公報において、バル
ブ本体１０′の流路１１’の一端に、球状の弁体２０と
近接して前記流路１１’と交叉して連通した流路４１′
を有する接続管４０が設けられたボールバルブタイプの
分岐バルブが記載されている（第６図参照）。しがしな
がら、この場合、接続管４０がいかに弁体２０′と近接
して設けられようが、流体の滞留部を完全になくすこと
は不可能である。しかも、球状の弁体２０′が有する流
路２１はバルブを閉したとき完全に滞留部となる。しか
も、弁体２０′の外周面とバルブ本体の内周面との間に
はわずかではあるが隙間が存在する。従って、弁体２０
′が長時間閉じられている場合には、前記流路２１′な
らびに隙間に残留した流体はそのまま滞留することにな
り、従来と同様に滞留部でのバクテリアの発生により流
体が腐敗して不衛生になったり、あるいは純水・超純水
の場合にはその純度が低下するという問題は依然として
未解決のままである。また、バルブ本体１０の内周面に
装着されたシール用バッキングに起因する微粒子の流体
中への流出は本質的に防止することはできない。
例えば実開昭５９−１２５６６６号公報において、バル
ブ本体１０′の流路１１’の一端に、球状の弁体２０と
近接して前記流路１１’と交叉して連通した流路４１′
を有する接続管４０が設けられたボールバルブタイプの
分岐バルブが記載されている（第６図参照）。しがしな
がら、この場合、接続管４０がいかに弁体２０′と近接
して設けられようが、流体の滞留部を完全になくすこと
は不可能である。しかも、球状の弁体２０′が有する流
路２１はバルブを閉したとき完全に滞留部となる。しか
も、弁体２０′の外周面とバルブ本体の内周面との間に
はわずかではあるが隙間が存在する。従って、弁体２０
′が長時間閉じられている場合には、前記流路２１′な
らびに隙間に残留した流体はそのまま滞留することにな
り、従来と同様に滞留部でのバクテリアの発生により流
体が腐敗して不衛生になったり、あるいは純水・超純水
の場合にはその純度が低下するという問題は依然として
未解決のままである。また、バルブ本体１０の内周面に
装着されたシール用バッキングに起因する微粒子の流体
中への流出は本質的に防止することはできない。
また、実開昭６０−１１０７７５号公報Ｇこおいては、
弁体を流路のまわりに回動させることによりよｄ已１＊
１入の升俸Ｚυカー狗°「るａＲ２１４八滞留部となら
ない三方切替えタイプの分岐バルブ、即ち、球形弁体４
″の中心を貫通する流路４１”と、該貫通流路４１″に
直角方向に開口した分岐流路４２″と、前記弁体４″を
貫通流路４１″のまわりに回動させる機構５と、前記弁
体４″を囲む弁箱２とよりなるボールバルブタイプの超
純水装置用バルブが記載されている（第７図参照）。
弁体を流路のまわりに回動させることによりよｄ已１＊
１入の升俸Ｚυカー狗°「るａＲ２１４八滞留部となら
ない三方切替えタイプの分岐バルブ、即ち、球形弁体４
″の中心を貫通する流路４１”と、該貫通流路４１″に
直角方向に開口した分岐流路４２″と、前記弁体４″を
貫通流路４１″のまわりに回動させる機構５と、前記弁
体４″を囲む弁箱２とよりなるボールバルブタイプの超
純水装置用バルブが記載されている（第７図参照）。
しかしながら、この場合、シール部分が三方となるため
に構造が複雑で高価であり、またシール部分が増えるの
でそれだけ洩れを生じ易く、しかも、弁体の外周面と弁
箱の内周面との間に生じる隙間が流体の滞留部となり、
従来と同様に滞留部でのバクテリアの発生により流体が
腐敗して不衛生になったり、あるいは純水の純度が低下
するという問題は依然として来月７決のままである。ま
たこの場合においても、従来のバルブと同様に、シール
用バッキングに起因する微粒子の流体中への流出は本質
的に防止することはできない。
に構造が複雑で高価であり、またシール部分が増えるの
でそれだけ洩れを生じ易く、しかも、弁体の外周面と弁
箱の内周面との間に生じる隙間が流体の滞留部となり、
従来と同様に滞留部でのバクテリアの発生により流体が
腐敗して不衛生になったり、あるいは純水の純度が低下
するという問題は依然として来月７決のままである。ま
たこの場合においても、従来のバルブと同様に、シール
用バッキングに起因する微粒子の流体中への流出は本質
的に防止することはできない。
本発明は上記従来の問題点を解決するためになされたも
のであって、その目的とするところは、配管路の中に直
接組み込んで分岐部を設けることができ、しかも弁体の
開閉に際してもバクテリアの発生しやすい流体の滞留部
が生じず、且つ流体中への流出物の生じない分岐バルブ
を提供することである。
のであって、その目的とするところは、配管路の中に直
接組み込んで分岐部を設けることができ、しかも弁体の
開閉に際してもバクテリアの発生しやすい流体の滞留部
が生じず、且つ流体中への流出物の生じない分岐バルブ
を提供することである。
（問題点を解決するための手段）
本発明・の要旨は、主流路と、該主流路と連通ずる分岐
流路とを有するバルブ本体に弁座が設けられ、該弁座が
弁体により押圧されることにより分岐流路側への流体の
流れが遮断されるようになされた分岐バルブに存するも
のである。
流路とを有するバルブ本体に弁座が設けられ、該弁座が
弁体により押圧されることにより分岐流路側への流体の
流れが遮断されるようになされた分岐バルブに存するも
のである。
以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は第
１図の■−■線における断面図、第図はバルブ本体の平
面図である。
１図の■−■線における断面図、第図はバルブ本体の平
面図である。
同図において、■は主流路２と分岐流路３とを有するバ
ルブ本体であり、例えば塩化ビニル樹脂、ポリビニリデ
ンフルオライド、ポリブテンなどの合成樹脂より製され
てなるものである。
ルブ本体であり、例えば塩化ビニル樹脂、ポリビニリデ
ンフルオライド、ポリブテンなどの合成樹脂より製され
てなるものである。
分岐流路３は主流路２と一体成形されており、第３図に
示すように、分岐流路３は主流路２に対してほぼ直角方
向に分岐されている。バルブ本体１の上方開口端部には
隔壁状の弁座４Ａが設けられている。４Ｂは開口周縁部
である。５は弁体であり、この場合は合成樹脂製の弾性
体よりなるダイヤフラムであり、ハンドル６をまねずこ
とにより弁座４Ａに押圧・離反され、主流路２側よりの
分岐流路３側への流体の流れを調整もしくは遮断する作
用を存している。ダイヤフラム５は埋込み金具７を介し
てコンプレッサー８に連結されている。９はボンネット
であり、ダイヤフラム５を挟持してボルト・ナツト１０
で本体１の開口周縁部４Ｂに固定されている。１１はス
ピンドルであり、スリーブ１２を介してボンネット９に
軸支されている。スリーブ１２はスピンドル１１と螺合
されている。１３．１３はＴＳ式受口、１４はユニオン
受口である。図中の矢印は流路内の流体の流れ方向を示
している。
示すように、分岐流路３は主流路２に対してほぼ直角方
向に分岐されている。バルブ本体１の上方開口端部には
隔壁状の弁座４Ａが設けられている。４Ｂは開口周縁部
である。５は弁体であり、この場合は合成樹脂製の弾性
体よりなるダイヤフラムであり、ハンドル６をまねずこ
とにより弁座４Ａに押圧・離反され、主流路２側よりの
分岐流路３側への流体の流れを調整もしくは遮断する作
用を存している。ダイヤフラム５は埋込み金具７を介し
てコンプレッサー８に連結されている。９はボンネット
であり、ダイヤフラム５を挟持してボルト・ナツト１０
で本体１の開口周縁部４Ｂに固定されている。１１はス
ピンドルであり、スリーブ１２を介してボンネット９に
軸支されている。スリーブ１２はスピンドル１１と螺合
されている。１３．１３はＴＳ式受口、１４はユニオン
受口である。図中の矢印は流路内の流体の流れ方向を示
している。
次に、上記実施例の分岐バルブの使用状態について説明
する。例えば、分岐バルブは、主流路２側が循環路系、
即ち、不純物除去装置、殺菌装置、限外濾過膜および逆
浸透膜装置を通されて処理された超純水などの循環路系
に接続され、一方、分岐流路３側が各ユースポイントに
接続されて使用される。
する。例えば、分岐バルブは、主流路２側が循環路系、
即ち、不純物除去装置、殺菌装置、限外濾過膜および逆
浸透膜装置を通されて処理された超純水などの循環路系
に接続され、一方、分岐流路３側が各ユースポイントに
接続されて使用される。
ハンドル６をまねずことにより、スリーブ１２が回転し
、その結果、スリーブ１２に螺合しているスピンドル１
１が回転することなく下方に移動し、第４図に示すよう
に、ダイヤフラム５が弁座４Ａに押圧され、主流路２側
よりの分岐流路３側への流体の流れが遮断される。逆に
、分岐流路３側へ流体を連通させるにはハンドル６を逆
方向にまわせばよい。
、その結果、スリーブ１２に螺合しているスピンドル１
１が回転することなく下方に移動し、第４図に示すよう
に、ダイヤフラム５が弁座４Ａに押圧され、主流路２側
よりの分岐流路３側への流体の流れが遮断される。逆に
、分岐流路３側へ流体を連通させるにはハンドル６を逆
方向にまわせばよい。
このように、弁座４Ａに弁体（ダイヤフラム）５を押圧
・離反させるだけで、主流路２側に圧力損失などの影響
をおよぼすことなく分岐流路３側への流体の流れを任意
に調整もしくは完全に遮断することができる。
・離反させるだけで、主流路２側に圧力損失などの影響
をおよぼすことなく分岐流路３側への流体の流れを任意
に調整もしくは完全に遮断することができる。
尚、本発明においては、バルブ本体の材質は上記実施例
の合成樹脂材料に限定されず、ステンレスなどの耐蝕性
金属、セラミックなどの材料であってもよい。また、無
菌水、超純水などの流体の輸送配管路にて使用される場
合、バルブ本体の流路の内表面が平坦で、実効表面積が
できるかぎり少なく、且つ流体中への溶出量が可能なか
ぎり少ないものが好ましい。さらに、分岐流路側への流
体の流れを遮断する機構は上記実施例のダイヤフラム方
式に限定されず、弁体および弁座の構造を適宜変更する
ことにより、従来公知のストップバルブ、ゲートバルブ
などにおける遮断機構を採用できることは言うまでもな
い。また、主流路の受口形状はねじ式またはフランジ式
のものであってもよく、同様に分岐流路の受口形状はね
じ式、フランジ式またはＴＳ式のものであってもよい。
の合成樹脂材料に限定されず、ステンレスなどの耐蝕性
金属、セラミックなどの材料であってもよい。また、無
菌水、超純水などの流体の輸送配管路にて使用される場
合、バルブ本体の流路の内表面が平坦で、実効表面積が
できるかぎり少なく、且つ流体中への溶出量が可能なか
ぎり少ないものが好ましい。さらに、分岐流路側への流
体の流れを遮断する機構は上記実施例のダイヤフラム方
式に限定されず、弁体および弁座の構造を適宜変更する
ことにより、従来公知のストップバルブ、ゲートバルブ
などにおける遮断機構を採用できることは言うまでもな
い。また、主流路の受口形状はねじ式またはフランジ式
のものであってもよく、同様に分岐流路の受口形状はね
じ式、フランジ式またはＴＳ式のものであってもよい。
さらに、上記実施例では、ハンドルを用いた手動弁につ
いて説明したが、自動操作用のアクチュエータが装着さ
れた自動弁に適用できることはもちろんである。
いて説明したが、自動操作用のアクチュエータが装着さ
れた自動弁に適用できることはもちろんである。
（発明の効果）
以上のように、本発明分岐バルブは、主流路と、該主流
路と連通ずる分岐流路とを有するバルブ本体に弁座が設
けられ、該弁座が弁体により押圧されることにより分岐
流路側への流体の流れが遮断されるようになされている
ので、配管路の中に直接組み込んで分岐部を設けること
ができ、しかも弁体の開閉に際してもバクテリアの発生
しやすい流体の滞留部が生じない。また、分岐流路側へ
の流体の流れの調整もしくは遮断は弁座に弁体を押圧・
離反するだけでできるので、弁体が摩耗を受けることが
なく、流体中への微粒子の流出はなく、このため製品の
性能ならびに歩留まりが影響を受けることはない。
路と連通ずる分岐流路とを有するバルブ本体に弁座が設
けられ、該弁座が弁体により押圧されることにより分岐
流路側への流体の流れが遮断されるようになされている
ので、配管路の中に直接組み込んで分岐部を設けること
ができ、しかも弁体の開閉に際してもバクテリアの発生
しやすい流体の滞留部が生じない。また、分岐流路側へ
の流体の流れの調整もしくは遮断は弁座に弁体を押圧・
離反するだけでできるので、弁体が摩耗を受けることが
なく、流体中への微粒子の流出はなく、このため製品の
性能ならびに歩留まりが影響を受けることはない。
従って、本発明分岐バルブは半導体集積回路の製造ライ
ンにて用いられる純水・超純水、医薬品の製造・調合に
用いられる無菌水、あるいは食料品関係の流体などを輸
送する配管路の分岐部に用いられて好適なものである。
ンにて用いられる純水・超純水、医薬品の製造・調合に
用いられる無菌水、あるいは食料品関係の流体などを輸
送する配管路の分岐部に用いられて好適なものである。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は第
１図Ｕ−４線における断面図、第３図はバルブ本体の平
面図、第４図は弁体を閉じた状態を一部省略して示す縦
断面図、第５図は従来のバルブを用いて分岐部を設ける
使用状態を示す参考図、第６図および第７図は従来公知
の分岐バルブを示す縦断面図である。 成力法の１例を示す図である。 ■・・・バルブ本体、２・・・主流路、３・・・分岐流
路、４Ａ・・・弁座、５・・・弁体。
１図Ｕ−４線における断面図、第３図はバルブ本体の平
面図、第４図は弁体を閉じた状態を一部省略して示す縦
断面図、第５図は従来のバルブを用いて分岐部を設ける
使用状態を示す参考図、第６図および第７図は従来公知
の分岐バルブを示す縦断面図である。 成力法の１例を示す図である。 ■・・・バルブ本体、２・・・主流路、３・・・分岐流
路、４Ａ・・・弁座、５・・・弁体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、主流路と、該主流路と連通する分岐流路とを有する
バルブ本体に弁座が設けられ、該弁座が弁体により押圧
されることにより分岐流路側への流体の流れが遮断され
るようになされた分岐バルブ。 ２、分岐流路が主流路と一体成形されてなる特許請求の
範囲第１項記載の分岐バルブ。 ３、弁体がダイヤフラムである特許請求の範囲第１項記
載の分岐バルブ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20827085 | 1985-09-19 | ||
| JP60-208270 | 1985-09-19 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25187596A Division JP2647363B2 (ja) | 1985-09-19 | 1996-09-24 | 分岐バルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62151676A true JPS62151676A (ja) | 1987-07-06 |
| JPH07113424B2 JPH07113424B2 (ja) | 1995-12-06 |
Family
ID=16553460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60257395A Expired - Lifetime JPH07113424B2 (ja) | 1985-09-19 | 1985-11-15 | 分岐バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07113424B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05501447A (ja) * | 1990-06-25 | 1993-03-18 | ソーンダース・バルブ・カンパニー・リミテッド | 分岐通路への接続を制御するバルブ |
| US5327937A (en) * | 1993-01-06 | 1994-07-12 | Sekisui Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Branched valve |
| EP0608416A1 (en) * | 1991-02-22 | 1994-08-03 | Asahi Yukizai Kogyo Co., Ltd | Piping system free of stagnation of fluid |
| JPH0665666U (ja) * | 1993-02-22 | 1994-09-16 | 甲南電機株式会社 | 分岐弁 |
| US5476118A (en) * | 1991-02-22 | 1995-12-19 | Asahi Yukizai Kogyo Co., Ltd. | Non-stagnant piping system |
| WO2000022326A1 (fr) * | 1998-10-15 | 2000-04-20 | Kabushiki Kaisha Fujikin | Regulateur de fluide |
| DE19983997B4 (de) * | 1999-12-24 | 2009-07-09 | Kabushiki Kaisha Fujikin | Fluidsteuerung |
-
1985
- 1985-11-15 JP JP60257395A patent/JPH07113424B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05501447A (ja) * | 1990-06-25 | 1993-03-18 | ソーンダース・バルブ・カンパニー・リミテッド | 分岐通路への接続を制御するバルブ |
| US5222523A (en) * | 1990-06-25 | 1993-06-29 | Saunders Valve Company Limited | Valve for controlling connection to branch passage |
| EP0608416A1 (en) * | 1991-02-22 | 1994-08-03 | Asahi Yukizai Kogyo Co., Ltd | Piping system free of stagnation of fluid |
| EP0608416A4 (en) * | 1991-02-22 | 1994-09-14 | Asahi | Piping system free of stagnation of fluid. |
| US5476118A (en) * | 1991-02-22 | 1995-12-19 | Asahi Yukizai Kogyo Co., Ltd. | Non-stagnant piping system |
| US5327937A (en) * | 1993-01-06 | 1994-07-12 | Sekisui Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Branched valve |
| JPH0665666U (ja) * | 1993-02-22 | 1994-09-16 | 甲南電機株式会社 | 分岐弁 |
| WO2000022326A1 (fr) * | 1998-10-15 | 2000-04-20 | Kabushiki Kaisha Fujikin | Regulateur de fluide |
| KR100561964B1 (ko) * | 1998-10-15 | 2006-03-21 | 가부시끼가이샤후지킨 | 유체제어기 |
| DE19983997B4 (de) * | 1999-12-24 | 2009-07-09 | Kabushiki Kaisha Fujikin | Fluidsteuerung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07113424B2 (ja) | 1995-12-06 |
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