JPS62151555A - 耐食性皮膜 - Google Patents
耐食性皮膜Info
- Publication number
- JPS62151555A JPS62151555A JP29200685A JP29200685A JPS62151555A JP S62151555 A JPS62151555 A JP S62151555A JP 29200685 A JP29200685 A JP 29200685A JP 29200685 A JP29200685 A JP 29200685A JP S62151555 A JPS62151555 A JP S62151555A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- ceramics
- defects
- films
- corrosion resistant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、化学工業用リアクター、ポンプ等耐食性が要
求される部材に適用される耐食性皮膜に関する。
求される部材に適用される耐食性皮膜に関する。
従来、耐食性皮膜を得る方法としては、溶射、メッキ、
化成処理等の方法があシ、金属（例えばｚｎ、 Ａ／、
Ｎ１）やセラミック（Ｔｈｏ、、ムｌｘ Ｏｓ等）を
該方法によりコーティングすることで耐食性向上を計っ
ていた。
化成処理等の方法があシ、金属（例えばｚｎ、 Ａ／、
Ｎ１）やセラミック（Ｔｈｏ、、ムｌｘ Ｏｓ等）を
該方法によりコーティングすることで耐食性向上を計っ
ていた。
しかしながら、これらの方法によって生成した皮膜は、
下地に達する貫通欠陥（以下ピンホールという）を多数
含んでいるため、耐食性能としては不十分であった。こ
れに対して、物理蒸着法（ｐｖｎ法）および化学蒸着法
（ａｖｎ法）Ｋよるセラミックコーティングは、原子あ
るいは分子レベルで皮膜が形成されるためピンホールの
極めて少ない高性能の嗅が得られる。
下地に達する貫通欠陥（以下ピンホールという）を多数
含んでいるため、耐食性能としては不十分であった。こ
れに対して、物理蒸着法（ｐｖｎ法）および化学蒸着法
（ａｖｎ法）Ｋよるセラミックコーティングは、原子あ
るいは分子レベルで皮膜が形成されるためピンホールの
極めて少ない高性能の嗅が得られる。
しかしながら、極めて少ないとけいえ、ピンホールが存
在するということは完全な耐食性皮膜とはいえず、厳し
ｂ腐食環境のもとでは実用できなかった。
在するということは完全な耐食性皮膜とはいえず、厳し
ｂ腐食環境のもとでは実用できなかった。
本発明者らは、このピンホールの生成原因について調査
した結果、ピンホールは、ＰＶＤ又はＯＶＤ皮膜が、基
材表面上から皮膜表面に至る柱状晶の集合したものであ
シ、この隣接する柱状晶の境界だ欠陥があるため、基材
に貫通するピンホールが生成するのであり、この境界の
貫通欠陥除去が最大の問題点であることを見出し念〇 〔問題点を解決するための手段〕 この柱状晶は基材表面から、皮膜表面に至るまで１つの
結晶として成長しているために境界の欠陥が貫通欠陥と
なるのであり、この柱状晶の成長を、不連続にすること
で貫通欠陥を除去すればよいことを見出し、この手段と
してセラミックス膜と金属膜を交互に積層することによ
りピンホールの無い耐食性皮膜が得られることを確認し
た。
した結果、ピンホールは、ＰＶＤ又はＯＶＤ皮膜が、基
材表面上から皮膜表面に至る柱状晶の集合したものであ
シ、この隣接する柱状晶の境界だ欠陥があるため、基材
に貫通するピンホールが生成するのであり、この境界の
貫通欠陥除去が最大の問題点であることを見出し念〇 〔問題点を解決するための手段〕 この柱状晶は基材表面から、皮膜表面に至るまで１つの
結晶として成長しているために境界の欠陥が貫通欠陥と
なるのであり、この柱状晶の成長を、不連続にすること
で貫通欠陥を除去すればよいことを見出し、この手段と
してセラミックス膜と金属膜を交互に積層することによ
りピンホールの無い耐食性皮膜が得られることを確認し
た。
本発明は上記の知見によって完成したもので、本発明は
セラミックス蒸着膜と金属蒸着膜とを交互に複数積層し
てなることを特徴とする耐食性皮膜である。
セラミックス蒸着膜と金属蒸着膜とを交互に複数積層し
てなることを特徴とする耐食性皮膜である。
セラミックス層の間に金属層を挿入することにより、セ
ラミックスの柱状晶が不連続となシ例え柱状晶境界に欠
陥があっても皮膜を貫通する欠陥とはならず、ピンホー
ルの無い膜が得られる。
ラミックスの柱状晶が不連続となシ例え柱状晶境界に欠
陥があっても皮膜を貫通する欠陥とはならず、ピンホー
ルの無い膜が得られる。
〔実、ＰＡ例１〕
３０園Ｘ３（］ｗＸ５曙厚さの炭素鋼（８４５０）板に
、ＰＶＤ法の一種であるＨ ＯＤ （ｕｏｌｘｏｍａａ
ｔｈｏａｅ Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ ＋中空陰極放電）法
イオングレーティングによる反応性コーティングにより
ＴｉＮ皮膜を生成した。コーティング条件は以下の通り
である。
、ＰＶＤ法の一種であるＨ ＯＤ （ｕｏｌｘｏｍａａ
ｔｈｏａｅ Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ ＋中空陰極放電）法
イオングレーティングによる反応性コーティングにより
ＴｉＮ皮膜を生成した。コーティング条件は以下の通り
である。
（１１ＨＯＤガン出力 ： ４５ｖｘ４００Ａ（
２）基板温度 ＝ ５００°０ （３１イオンボンバード ： ５００Ｖｘ２
ム×１０分（４）蒸発材料 ：Ｔ１ （５） 反応ガス 二Ｎｔガス （６） 反応ガス分圧 ： ４ Ｘ １０−’
ＴＯｒｒ試作した膜は２種類であシ、試料１け従来と
同じ方法で’ｆ’ｉＮを５μｍ コーティングした。試
料２は、本発明によるものでＴ１と’Ｉ”ｉＮ の積
層膜を生成したものであり、第１図に示すようにＴｉＮ
１を（Ｌ９μＩ コーティングした後、反応ガスを止
めてＴｉ ２をα１μｍコーティングし、これを５回繰
返すことによシ、厚さ５μｍのＴｉ−ＴｉＮ積層膜を作
成したものである。次に、この試作膜のピンホールの有
無を調査するため、１０％ＨＯｊ水溶液中に常温で浸漬
し、腐食の有無を調査した結果、従来法であるＴｉＮ単
層膜の試料１は、浸漬１時間後に微少な腐食点が検出さ
れたのに対して、本発明の試料２は１０時間浸漬後も腐
食は認められず良好な耐食性を示したＯ 〔実施例２〕 実施例１と同じ基板を用いて、ＯＶＤ法によりＴｉＯ皮
膜を生成した。コーティング条件は以下の通りである。
２）基板温度 ＝ ５００°０ （３１イオンボンバード ： ５００Ｖｘ２
ム×１０分（４）蒸発材料 ：Ｔ１ （５） 反応ガス 二Ｎｔガス （６） 反応ガス分圧 ： ４ Ｘ １０−’
ＴＯｒｒ試作した膜は２種類であシ、試料１け従来と
同じ方法で’ｆ’ｉＮを５μｍ コーティングした。試
料２は、本発明によるものでＴ１と’Ｉ”ｉＮ の積
層膜を生成したものであり、第１図に示すようにＴｉＮ
１を（Ｌ９μＩ コーティングした後、反応ガスを止
めてＴｉ ２をα１μｍコーティングし、これを５回繰
返すことによシ、厚さ５μｍのＴｉ−ＴｉＮ積層膜を作
成したものである。次に、この試作膜のピンホールの有
無を調査するため、１０％ＨＯｊ水溶液中に常温で浸漬
し、腐食の有無を調査した結果、従来法であるＴｉＮ単
層膜の試料１は、浸漬１時間後に微少な腐食点が検出さ
れたのに対して、本発明の試料２は１０時間浸漬後も腐
食は認められず良好な耐食性を示したＯ 〔実施例２〕 実施例１と同じ基板を用いて、ＯＶＤ法によりＴｉＯ皮
膜を生成した。コーティング条件は以下の通りである。
（１）炉温 １０００°Ｃ
（３）炉圧 寥 大気圧
２種類の膜を試作した。試料１は従来法と同じく（ｌ）
式の反応でＴｉｅを５μｍ コーティングした０ＴｉＣ
／４＋ ０Ｈ４−＋ ＴｉＯ＋４ＨＯ／ ＠＠＠＠＊
＠ （１１これに対して試料２は、本発明のもので、
Ｔ１０を（り式の反応でａ９μｍ コーティングした後
、ＣｊＨ，ガスのみを止めて、（２）式によりＴ１を１
９μｍコーティングし、この操作を５回繰返すことＫよ
り厚さ５μｍのＴｉ −Ｔｉｅ 積層膜を作成したもの
である。
式の反応でＴｉｅを５μｍ コーティングした０ＴｉＣ
／４＋ ０Ｈ４−＋ ＴｉＯ＋４ＨＯ／ ＠＠＠＠＊
＠ （１１これに対して試料２は、本発明のもので、
Ｔ１０を（り式の反応でａ９μｍ コーティングした後
、ＣｊＨ，ガスのみを止めて、（２）式によりＴ１を１
９μｍコーティングし、この操作を５回繰返すことＫよ
り厚さ５μｍのＴｉ −Ｔｉｅ 積層膜を作成したもの
である。
Ｔｉｅ／４＋ ２Ｈ，→Ｔｉ ＋ ４ＵＯ１！ ・・
・・・・ 【２）次に〔実施例１〕と同様の方法により
試料１゜２の耐食試験を実施した結果、試料１け浸漬２
時間後に腐食が認められたのに対して、試料２け１０時
間後も腐食は認められなかった。
・・・・ 【２）次に〔実施例１〕と同様の方法により
試料１゜２の耐食試験を実施した結果、試料１け浸漬２
時間後に腐食が認められたのに対して、試料２け１０時
間後も腐食は認められなかった。
〔実施例３〕
実施例１と同じ基板を用いＨＯＤ法により、８１、Ｎ４
皮膜を生成した。コーティング条件は以下の通りである
。
皮膜を生成した。コーティング条件は以下の通りである
。
（１１ＨＯＤガン出力 ： ４５ＶＸ４５０Ａ（２）
゛ 基板温度 ＝ ５００°Ｃ（３） イ
オンボンバード ： ５０１］ＶＸ２ム×１０分Ｃ４
１蒸発材料 ：８１ （５） 反応ガス 二Ｎ。
゛ 基板温度 ＝ ５００°Ｃ（３） イ
オンボンバード ： ５０１］ＶＸ２ム×１０分Ｃ４
１蒸発材料 ：８１ （５） 反応ガス 二Ｎ。
（６） 反応ガス分圧 ： ５ｘ１ｏ−’ Ｔ
Ｏｒｒ実施例１と同じように１９１．Ｎ４皮膜を有する
試料とＳｉ、Ｎ、とを交互に有する試料（本発明皮膜）
を作製し、耐食試験に供したところ、実施例１とはソ同
様な結果が得られた。
Ｏｒｒ実施例１と同じように１９１．Ｎ４皮膜を有する
試料とＳｉ、Ｎ、とを交互に有する試料（本発明皮膜）
を作製し、耐食試験に供したところ、実施例１とはソ同
様な結果が得られた。
〔実施例４〕
実施例１と同じ基板を用いＨＯＤ法によシ、Ｏｒココ−
ィング、 、 ＴｉＮコーティングを交互に繰返した。
ィング、 、 ＴｉＮコーティングを交互に繰返した。
ＴｉＮコーティングは実施例１と同様に行い、Ｏｒココ
−ィング条件は以下の通りにした。
−ィング条件は以下の通りにした。
（１１１（ＣＤガン出力 ： ３５ＶＸ３５０Ａ（２
） 基板温度 ： ５００”０（３） イ
オンボンバード ： ５ｏｏＶＸ２人×１０分（４）
蒸発材料 ：Ｃｒ このようにじて得られたＯｒ、ＴｉＮ複合皮膜は耐食試
験の結果十分耐食性があることを確認した。
） 基板温度 ： ５００”０（３） イ
オンボンバード ： ５ｏｏＶＸ２人×１０分（４）
蒸発材料 ：Ｃｒ このようにじて得られたＯｒ、ＴｉＮ複合皮膜は耐食試
験の結果十分耐食性があることを確認した。
なおセラミックスと金属の元素が異なる場合は、ルツボ
を２つ準備し、コーアイング材料変更時にルツボを切換
えるようにできる装置を使用する。
を２つ準備し、コーアイング材料変更時にルツボを切換
えるようにできる装置を使用する。
以上、実施例で詳述したように本発明による耐食皮膜は
、耐食皮膜の組織を不連続にすることでピンホールの発
生を防止することができ、良好な耐食コーティングであ
る０
、耐食皮膜の組織を不連続にすることでピンホールの発
生を防止することができ、良好な耐食コーティングであ
る０
第１図は本発明の耐食性皮瞭の腟弐図である０１・１・
・セラミック ２・・・・・金属 ３・・・・・基板 復代理人 内 １） 明 復代理人 萩 原 亮 − 復代理人 安 西 篤 夫
・セラミック ２・・・・・金属 ３・・・・・基板 復代理人 内 １） 明 復代理人 萩 原 亮 − 復代理人 安 西 篤 夫
Claims (1)
- セラミックス蒸着膜と金属蒸着膜とを交互に複数積層し
てなることを特徴とする耐食性皮膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29200685A JPS62151555A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | 耐食性皮膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29200685A JPS62151555A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | 耐食性皮膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62151555A true JPS62151555A (ja) | 1987-07-06 |
Family
ID=17776306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29200685A Pending JPS62151555A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | 耐食性皮膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62151555A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989010426A1 (en) * | 1988-04-25 | 1989-11-02 | Kawasaki Steel Corporation | Steel sheet having dense ceramic coating with excellent adhesion,smoothness and corrosion resistance and process for its production |
| EP0595075A2 (en) * | 1992-10-30 | 1994-05-04 | Corning Incorporated | Microlaminated composites and method for preparing them |
| JPH06248425A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-09-06 | Riken Corp | ピストンリング |
| WO2014162700A1 (ja) * | 2013-04-03 | 2014-10-09 | 株式会社デンソー | 熱交換器の製造方法および熱交換器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5864380A (ja) * | 1981-10-13 | 1983-04-16 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 時計用外装部品 |
-
1985
- 1985-12-26 JP JP29200685A patent/JPS62151555A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5864380A (ja) * | 1981-10-13 | 1983-04-16 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 時計用外装部品 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989010426A1 (en) * | 1988-04-25 | 1989-11-02 | Kawasaki Steel Corporation | Steel sheet having dense ceramic coating with excellent adhesion,smoothness and corrosion resistance and process for its production |
| EP0595075A2 (en) * | 1992-10-30 | 1994-05-04 | Corning Incorporated | Microlaminated composites and method for preparing them |
| EP0595075A3 (en) * | 1992-10-30 | 1994-11-17 | Corning Inc | Microlaminated compound materials and process for their manufacture. |
| JPH06248425A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-09-06 | Riken Corp | ピストンリング |
| WO2014162700A1 (ja) * | 2013-04-03 | 2014-10-09 | 株式会社デンソー | 熱交換器の製造方法および熱交換器 |
| JP2014202390A (ja) * | 2013-04-03 | 2014-10-27 | 株式会社デンソー | 熱交換器の製造方法および熱交換器 |
| US9956654B2 (en) | 2013-04-03 | 2018-05-01 | Denso Corporation | Method for manufacturing heat exchanger, and heat exchanger |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH05507115A (ja) | 薄膜状のアルファＴａを形成するための方法および構造 | |
| JPH04311569A (ja) | 硬質多層膜形成体およびその製造方法 | |
| KR20020003367A (ko) | 플라즈마처리 용기 내부재 및 그 제조방법 | |
| KR910009840B1 (ko) | 내식성 및 내열성을 갖는 알루미늄 합금 박막 및 이의 제조방법 | |
| DE3141567C2 (de) | Verfahren zum Herstellen von aus Tantal, Wolfram oder Molybdän bestehenden Schichten bei niedrigen Temperaturen und Verwendung dieser Schichten | |
| JP6931008B2 (ja) | ハフニウムを含まないニッケル系単結晶超合金部品を腐食及び酸化から保護する方法 | |
| JPS62151555A (ja) | 耐食性皮膜 | |
| US6274257B1 (en) | Forming members for shaping a reactive metal and methods for their fabrication | |
| JPH03232978A (ja) | 高温複合材中の強化材のための多層コーティング | |
| Constantin et al. | Effects of Zr, Nb, or Si addition on the microstructural, mechanical, and corrosion resistance of TiCN hard coatings | |
| JP3074873B2 (ja) | 真空装置用表面被覆金属材 | |
| JP2004269951A (ja) | 耐ハロゲンガス皮膜被覆部材およびその製造方法 | |
| JPH0995772A (ja) | 真空装置用の窓材 | |
| JPH0525636A (ja) | 装飾用乾式ＴｉＮめつきステンレス鋼材の製造方法 | |
| JPH07180029A (ja) | 耐食性材料及びその製造方法 | |
| JP3908291B2 (ja) | 耐ハロゲン系ガス腐食性及び耐ハロゲン系プラズマ腐食性に優れたコーティング膜並びに該コーティング膜を施した積層構造体 | |
| JPS62130270A (ja) | セラミツクコ−テイング法 | |
| DE1765091C3 (de) | Verfahren zur Herstellung eines hochkonstanten Metallschichtwiderstandselementes | |
| EP1236813B1 (en) | Members coated with composite oxide coatings for preventing the permeation of hydrogen isotopes and a process for producing such members | |
| Wen et al. | Salt spray corrosion and electrochemical corrosion characteristics of CAIP and LTPN fabricated AlCrN/NL composite coating | |
| JPS59205468A (ja) | 高温耐食性材料 | |
| KR920003441A (ko) | CVD코팅된 Si를 함침한 SiC제품 및 그 제조방법 | |
| JPS62193639A (ja) | 真空容器及び真空機器用部品 | |
| CA1128423A (en) | Boron cantilever and method of making the same | |
| JP3634460B2 (ja) | 耐ハロゲン系ガス腐食性及び耐ハロゲン系プラズマ腐食性に優れたコーティング膜並びに該コーティング膜を施した積層構造体 |