JPS62151534A - モリブデン焼結体及びその製造方法 - Google Patents
モリブデン焼結体及びその製造方法Info
- Publication number
- JPS62151534A JPS62151534A JP29211885A JP29211885A JPS62151534A JP S62151534 A JPS62151534 A JP S62151534A JP 29211885 A JP29211885 A JP 29211885A JP 29211885 A JP29211885 A JP 29211885A JP S62151534 A JPS62151534 A JP S62151534A
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- Japan
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- molybdenum
- sintering
- sintered body
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- transverse rupture
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は、抗折力強度の大きなモリブデン焼結体及びそ
の製造方法に関し、更に詳しくは、例えば、マグネトロ
ン用のエンドハツトを製造する際に用いて有用なモリブ
デン焼結体及びその製造方法に関する。
の製造方法に関し、更に詳しくは、例えば、マグネトロ
ン用のエンドハツトを製造する際に用いて有用なモリブ
デン焼結体及びその製造方法に関する。
［発明の技術的前景とその問題点］
マグネトロン陰極構体用のエンドハツトを製造する時に
は、焼結後、圧延、転打、伸線加工等を施したモリブデ
ン線材とこれら加工処理等をしていない未加工のモリブ
デン焼結体とをバット溶接する。
は、焼結後、圧延、転打、伸線加工等を施したモリブデ
ン線材とこれら加工処理等をしていない未加工のモリブ
デン焼結体とをバット溶接する。
周知のように、バット溶接は、溶接すべき２つの対象物
の溶接すべき端面を突合わせ、かつこの対象物両者間に
大電流を流して行なわれる。そしてこの時の抵抗発熱に
より対象物は軟化し、その突合わせ部の溶接が進行する
。
の溶接すべき端面を突合わせ、かつこの対象物両者間に
大電流を流して行なわれる。そしてこの時の抵抗発熱に
より対象物は軟化し、その突合わせ部の溶接が進行する
。
かかるバット溶接にあっては、それぞれの対象物は、か
なりの圧で突合わされるので、当然のことながら、これ
ら対象物の機械的強度、とりわけ抗折力強度は大きくな
ければならないことになる。
なりの圧で突合わされるので、当然のことながら、これ
ら対象物の機械的強度、とりわけ抗折力強度は大きくな
ければならないことになる。
マグネトロン用のエンドハントを製造する場合にも、こ
のことは該当する。この時、一方の部材である加工処理
されたモリブデン線材は、既に、鍛造、伸線工程等の処
理を経て、靭性が付与され、その抗折力強度は大である
ため、バット溶接にも充分の耐性を具備している。しか
しながら、他方の部材であるモリブデン焼結体は未加工
であるがゆえに、靭性はなくその抗折力強度が一般に小
さい、従ってかかるモリブデン焼結体を上記モリブデン
線材とバット溶接する場合、適用される圧が大きいと、
溶接端面あるいはその近傍にクラックや欠は−が発生し
て良好な溶接状態が得られず、エンドハツトの製造得率
が低下するという問題が生じていた。
のことは該当する。この時、一方の部材である加工処理
されたモリブデン線材は、既に、鍛造、伸線工程等の処
理を経て、靭性が付与され、その抗折力強度は大である
ため、バット溶接にも充分の耐性を具備している。しか
しながら、他方の部材であるモリブデン焼結体は未加工
であるがゆえに、靭性はなくその抗折力強度が一般に小
さい、従ってかかるモリブデン焼結体を上記モリブデン
線材とバット溶接する場合、適用される圧が大きいと、
溶接端面あるいはその近傍にクラックや欠は−が発生し
て良好な溶接状態が得られず、エンドハツトの製造得率
が低下するという問題が生じていた。
［発明の目的］
本発明は、上記した問題を解消し、バット溶接時にクラ
７り、欠は等が生ずることの極めて少ないモリブデン焼
結体及びその製造方法を提供することを目的とする。
７り、欠は等が生ずることの極めて少ないモリブデン焼
結体及びその製造方法を提供することを目的とする。
［発明の概要］
木発明者らは、エンドハツトの製造時におけるモリブデ
ン焼結体のクラック、欠は等の発生を低減しエンド／＼
ットの製造得率を高めるべく鋭意検討したところ、抗折
力強度がある値以上のモリブデン焼結体の場合には、常
法のバ・ント溶接時にあっても上記問題を生ずることが
極めて少ないとの！１９実を見い出した。そしてモリブ
デン焼結体は、従来高い焼結温度でなされる力が良いと
いうことで１８５０℃以上で焼結されていたが本モリブ
デン焼結体は、焼結温度を低い方に移行すれば抗折強度
を容易に高めることができるとの知見を得、本発明を開
発するに到った。
ン焼結体のクラック、欠は等の発生を低減しエンド／＼
ットの製造得率を高めるべく鋭意検討したところ、抗折
力強度がある値以上のモリブデン焼結体の場合には、常
法のバ・ント溶接時にあっても上記問題を生ずることが
極めて少ないとの！１９実を見い出した。そしてモリブ
デン焼結体は、従来高い焼結温度でなされる力が良いと
いうことで１８５０℃以上で焼結されていたが本モリブ
デン焼結体は、焼結温度を低い方に移行すれば抗折強度
を容易に高めることができるとの知見を得、本発明を開
発するに到った。
即ち、本発明のモリブデン焼結体は、抗折力強度が３０
ｋｇ／ｍｍ２以上であることを特徴とし、その製造方法
は、常法により圧粉成形したモリブデン成形体を水素雰
囲気中１６５０〜ｔａｏｏ″Ｃの温度範囲で焼結するこ
とを特徴とする。
ｋｇ／ｍｍ２以上であることを特徴とし、その製造方法
は、常法により圧粉成形したモリブデン成形体を水素雰
囲気中１６５０〜ｔａｏｏ″Ｃの温度範囲で焼結するこ
とを特徴とする。
本発明の焼結体は、その抗折力強度が３０ｋｇ／ｍｍ２
以上である。この値が３０ｋｇ／ｍｍ’より小さい場合
は、エンド／＼ットの製造時に適用される６０〜９０ｋ
ｇの総圧に対する耐性が小さく、シたがって溶接時のク
ラック、欠は等の発生が増加してしまう、かかるモリブ
デン焼結体にあって、その抗折力強度は、好ましくは４
３ｋ ｇ ／ ｍゴ以上であるのがよい。
以上である。この値が３０ｋｇ／ｍｍ’より小さい場合
は、エンド／＼ットの製造時に適用される６０〜９０ｋ
ｇの総圧に対する耐性が小さく、シたがって溶接時のク
ラック、欠は等の発生が増加してしまう、かかるモリブ
デン焼結体にあって、その抗折力強度は、好ましくは４
３ｋ ｇ ／ ｍゴ以上であるのがよい。
このようなモリブデン焼結体は次のようにして製造する
ことができる。
ことができる。
まずモリブデン粉末を所定の型に充填し、加圧成形して
成形体とする。この成形時の条件は、目的とする焼結体
の寸法との関係で適宜選定される。しかしながら、通常
は、平均粒径２〜５μｓのモリブデン粉末を用い、成形
圧１〜３ ｔｏｎ／ ｃ ｍ’の条件を採用すると、得
られる成形体は、５〜８ｇ／ｃｒｔｆの圧粉体密度で比
較的緻密になるので好適である。即ち、成形段階で緻密
なものは１次の焼結処理によって更に緻密化し、したが
って機械的強度例えば抗折力強度も向上するからである
。
成形体とする。この成形時の条件は、目的とする焼結体
の寸法との関係で適宜選定される。しかしながら、通常
は、平均粒径２〜５μｓのモリブデン粉末を用い、成形
圧１〜３ ｔｏｎ／ ｃ ｍ’の条件を採用すると、得
られる成形体は、５〜８ｇ／ｃｒｔｆの圧粉体密度で比
較的緻密になるので好適である。即ち、成形段階で緻密
なものは１次の焼結処理によって更に緻密化し、したが
って機械的強度例えば抗折力強度も向上するからである
。
次いで、得られた成形体を焼結する。焼結は水素等の還
元雰囲気中で行われる。焼結は、通常ｌ〜ｌＯＮｍ’／
ｗｉｎの水素気流中で行えばよい、焼結温度は１６５０
−１８００℃の範囲に設定される。この温度が１６５０
℃より低い場合は、焼結が十分進行せず、抗折力強度を
目的値にすることができず、逆に１８００℃より高い場
合は１粒子が成長して結晶が粗大化するため、粒界強度
が弱くなり、抗折力強度が低下し不都合である。焼結温
度は、好ましくは、１７００−１７５０°Ｃとするのが
よい。焼結時間は、抗折力強度に大きな影響を４える因
子ではないが、通常１〜５時間が好適である。
元雰囲気中で行われる。焼結は、通常ｌ〜ｌＯＮｍ’／
ｗｉｎの水素気流中で行えばよい、焼結温度は１６５０
−１８００℃の範囲に設定される。この温度が１６５０
℃より低い場合は、焼結が十分進行せず、抗折力強度を
目的値にすることができず、逆に１８００℃より高い場
合は１粒子が成長して結晶が粗大化するため、粒界強度
が弱くなり、抗折力強度が低下し不都合である。焼結温
度は、好ましくは、１７００−１７５０°Ｃとするのが
よい。焼結時間は、抗折力強度に大きな影響を４える因
子ではないが、通常１〜５時間が好適である。
［発明の実施例］
τζ“ ｌ〜４ びＹ １〜３
モ均粒径３μｍのモリブデン粉末を有底円筒状の型に充
填し、成形圧２ ｔｏｎ／ ｃ ｍ’で常法により圧粉
成形してモリブデン成形体を得た。ついでこれらを水素
気流中で焼結温度を１５５０″０．１６００℃、１６５
０℃、１７００℃、１７５０°Ｃ１ｔａｏｏ℃、１８５
０℃±５℃と振り、各３時間焼結し、直径８ｍｍφ厚み
２．５ｍｍのモリブデン焼結体を各５本５Ｉ！潰した。
填し、成形圧２ ｔｏｎ／ ｃ ｍ’で常法により圧粉
成形してモリブデン成形体を得た。ついでこれらを水素
気流中で焼結温度を１５５０″０．１６００℃、１６５
０℃、１７００℃、１７５０°Ｃ１ｔａｏｏ℃、１８５
０℃±５℃と振り、各３時間焼結し、直径８ｍｍφ厚み
２．５ｍｍのモリブデン焼結体を各５本５Ｉ！潰した。
次にこれらの焼結体の抗折力強度を常法により測定し、
又焼結体の結晶粒数も測定した。その結果を下記の表に
示す。
又焼結体の結晶粒数も測定した。その結果を下記の表に
示す。
第 １ 表
実施例１〜４及び比較例１〜３で得られたモリブデン焼
結体をマグネトロン用のエンドハント支持部材として用
い、直径１．７５ｍｍφの加工処理したモリブデン線材
と突合わせて、所定の電流条件で圧カフ０ｋｇを加えて
バット溶接を行ない、支持部材の抗折力強度とかかる／
へント溶接時に支持部材において発生するクラック及び
欠けの発生率との関係を検討した。なおかかる抗折力強
度とクラック及び欠けの発生率との関係を調べるにあた
って、同一の抗折力強度を有する支持部材１００本につ
いて試験を行ない、そのうち何本についてクラック及び
欠けが発生したかを下記の表に示す。又マグネトロン陰
極構体にした場合のコイルと焼結体とのロー付けに使用
されたＲｕ−Ｍｏとモリブデン焼結体との反応性につい
ても調べた。
結体をマグネトロン用のエンドハント支持部材として用
い、直径１．７５ｍｍφの加工処理したモリブデン線材
と突合わせて、所定の電流条件で圧カフ０ｋｇを加えて
バット溶接を行ない、支持部材の抗折力強度とかかる／
へント溶接時に支持部材において発生するクラック及び
欠けの発生率との関係を検討した。なおかかる抗折力強
度とクラック及び欠けの発生率との関係を調べるにあた
って、同一の抗折力強度を有する支持部材１００本につ
いて試験を行ない、そのうち何本についてクラック及び
欠けが発生したかを下記の表に示す。又マグネトロン陰
極構体にした場合のコイルと焼結体とのロー付けに使用
されたＲｕ−Ｍｏとモリブデン焼結体との反応性につい
ても調べた。
以下余白
第２表 抗折力強度とクラック及び欠けの発生との関係
才 焼結体とロー材との反応性とは、Ｒｕ−ＭＯのロー
材がモリブデン焼結体をどの程度侵食するかを顕微鏡で
観察し、侵食が０．１ｍｍ以上である場合を良と判断し
、それ以下の場合を否と判断以上、実施例１〜４及び、
比較例１〜３で示したようにモリブデン焼結体の製造方
法において、その製造条件が同一であっても、抗折力強
度はばらついている。しかし、その抗折力強度が３０ｋ
ｇ／ｍｍ２以上の焼結体であれば、試験例から明らかな
ように、マグネトロン用のエンドハラＩ・支持部材を構
成すべく、加工したモリブデン線材とバット溶接する際
のクラック及び欠けの発生をほぼ完全に回避することが
できる。又Ｒｕ −Ｍ 。
材がモリブデン焼結体をどの程度侵食するかを顕微鏡で
観察し、侵食が０．１ｍｍ以上である場合を良と判断し
、それ以下の場合を否と判断以上、実施例１〜４及び、
比較例１〜３で示したようにモリブデン焼結体の製造方
法において、その製造条件が同一であっても、抗折力強
度はばらついている。しかし、その抗折力強度が３０ｋ
ｇ／ｍｍ２以上の焼結体であれば、試験例から明らかな
ように、マグネトロン用のエンドハラＩ・支持部材を構
成すべく、加工したモリブデン線材とバット溶接する際
のクラック及び欠けの発生をほぼ完全に回避することが
できる。又Ｒｕ −Ｍ 。
ロー材との反応性においても結晶粒を同時に管理するこ
とにより脱落等の無いものが得られることが判明した。
とにより脱落等の無いものが得られることが判明した。
１１口ち、抗折力強度が３０ｋｇ／ｍｍ″以上でかつ結
晶粒数１００個／ ｍｍ’ 〜ｌ ８０００個／ｍｍ’
であると、総合的に極めて良好なマグネトロン用モリブ
デン焼結体が得られることが判明した。
晶粒数１００個／ ｍｍ’ 〜ｌ ８０００個／ｍｍ’
であると、総合的に極めて良好なマグネトロン用モリブ
デン焼結体が得られることが判明した。
［発明の効果］
以上述へた通り、本発明のモリブデン焼結体は、その抗
折力強度が大きいために、焼結体そのン用のエンドハツ
ト支持部材を構成する場合の製造得率の向上に資するこ
とが大であってその工業的価値は大きい。
折力強度が大きいために、焼結体そのン用のエンドハツ
ト支持部材を構成する場合の製造得率の向上に資するこ
とが大であってその工業的価値は大きい。
また、本発明のモリブデン焼結体の製造方法によれば、
従来より低い温度で抗折力強度の優れたモリブデン焼結
体を得ることができ、その工業的価値は大である。
従来より低い温度で抗折力強度の優れたモリブデン焼結
体を得ることができ、その工業的価値は大である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、抗折力強度が３０ｋｇ／ｍｍ＾２以上であるモリブ
デン焼結体。 ２、抗折力強度が３０ｋｇ／ｍｍ＾２以上であるモリブ
デン焼結体の製造方法であって、常法により圧粉成形し
たモリブデン成形体を水素雰囲気中１６５０−１８００
℃の温度範囲で焼結することを特徴とするモリブデン焼
結体の製造方法。 ３、前記モリブデン成形体の焼結温度が １７００〜１７５０℃の温度範囲である特許請求の範囲
第２項記載の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29211885A JPS62151534A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | モリブデン焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29211885A JPS62151534A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | モリブデン焼結体及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62151534A true JPS62151534A (ja) | 1987-07-06 |
| JPH0475294B2 JPH0475294B2 (ja) | 1992-11-30 |
Family
ID=17777776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29211885A Granted JPS62151534A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | モリブデン焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62151534A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05345903A (ja) * | 1992-06-11 | 1993-12-27 | Tokyo Tungsten Co Ltd | Ｍｏ焼結体及びその製造方法 |
| JPH0734153A (ja) * | 1993-07-20 | 1995-02-03 | Tokyo Tungsten Co Ltd | モリブデン焼結体素材及びモリブデン材 |
| JP2010516892A (ja) * | 2007-01-16 | 2010-05-20 | ハー ツェー シュタルク インコーポレイテッド | 高密度の耐熱金属及び合金のスパッタリングターゲット |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4952705A (ja) * | 1972-09-22 | 1974-05-22 |
-
1985
- 1985-12-26 JP JP29211885A patent/JPS62151534A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4952705A (ja) * | 1972-09-22 | 1974-05-22 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05345903A (ja) * | 1992-06-11 | 1993-12-27 | Tokyo Tungsten Co Ltd | Ｍｏ焼結体及びその製造方法 |
| JPH0734153A (ja) * | 1993-07-20 | 1995-02-03 | Tokyo Tungsten Co Ltd | モリブデン焼結体素材及びモリブデン材 |
| JP2010516892A (ja) * | 2007-01-16 | 2010-05-20 | ハー ツェー シュタルク インコーポレイテッド | 高密度の耐熱金属及び合金のスパッタリングターゲット |
| JP2014012895A (ja) * | 2007-01-16 | 2014-01-23 | Hc Starck Inc | 高密度の耐熱金属及び合金のスパッタリングターゲット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0475294B2 (ja) | 1992-11-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |