JPS62147344U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62147344U JPS62147344U JP3521986U JP3521986U JPS62147344U JP S62147344 U JPS62147344 U JP S62147344U JP 3521986 U JP3521986 U JP 3521986U JP 3521986 U JP3521986 U JP 3521986U JP S62147344 U JPS62147344 U JP S62147344U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal layer
- base metal
- bump electrode
- wiring metal
- wiring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010953 base metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例のバンプ電極部を
示し、ａは断面図、ｂは上面図、第２図は従来の
バンプ電極部を示し、同様にａが断面図、ｂが上
面図である。 １：シリコンチツプ、２：酸化膜、３：Ａｌ配
線、４：窒化膜、６：下地金属層、７：バンプ電
極。
示し、ａは断面図、ｂは上面図、第２図は従来の
バンプ電極部を示し、同様にａが断面図、ｂが上
面図である。 １：シリコンチツプ、２：酸化膜、３：Ａｌ配
線、４：窒化膜、６：下地金属層、７：バンプ電
極。
Claims (1)
- 端子導体に接続されるバンプ電極が半導体片上
の配線金属層と下地金属層を介して接触するもの
において、配線金属層が下地金属層の周縁部の下
より外まで延在することを特徴とする半導体素子
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3521986U JPS62147344U (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3521986U JPS62147344U (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62147344U true JPS62147344U (ja) | 1987-09-17 |
Family
ID=30844508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3521986U Pending JPS62147344U (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62147344U (ja) |
-
1986
- 1986-03-11 JP JP3521986U patent/JPS62147344U/ja active Pending