JPS62143356A - イオン注入制御装置 - Google Patents
イオン注入制御装置Info
- Publication number
- JPS62143356A JPS62143356A JP28460585A JP28460585A JPS62143356A JP S62143356 A JPS62143356 A JP S62143356A JP 28460585 A JP28460585 A JP 28460585A JP 28460585 A JP28460585 A JP 28460585A JP S62143356 A JPS62143356 A JP S62143356A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion beam
- ion
- beam current
- current characteristic
- ion implantation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ｃ産業上の利用分野〕
この発明は、イオン注入条件を与えることによってイオ
ン注入装置を自動制御するイオン注入制御装置に関する
ものである。
ン注入装置を自動制御するイオン注入制御装置に関する
ものである。
イオン注入装置を自動制御するにおいて、イオン注入装
置のイオンビーム加速電圧とイオンビーム電流計測値と
の関係を示すイオンビーム電流特性は非常に重要である
。このイオンビーム電流特性は、イオン種によって異な
るはもちろんであるが、イオンビーム電流を左右する要
素が多いためイオン注入装置毎に異なる。また同じイオ
ン注入装置においても、イオンビーム電流特性は経年変
化する。したがって、イオン注入側？３１１ ”Ａ置が
適確にイオン注入装置を自動制御するためには、試験運
転段階においてイオン種毎にイオンビーム電流特性を測
定する必要があるとともに、実運転期間においても定期
的にイオンビーム電流特性を測定する必要がある。
置のイオンビーム加速電圧とイオンビーム電流計測値と
の関係を示すイオンビーム電流特性は非常に重要である
。このイオンビーム電流特性は、イオン種によって異な
るはもちろんであるが、イオンビーム電流を左右する要
素が多いためイオン注入装置毎に異なる。また同じイオ
ン注入装置においても、イオンビーム電流特性は経年変
化する。したがって、イオン注入側？３１１ ”Ａ置が
適確にイオン注入装置を自動制御するためには、試験運
転段階においてイオン種毎にイオンビーム電流特性を測
定する必要があるとともに、実運転期間においても定期
的にイオンビーム電流特性を測定する必要がある。
従来では、オペレータがイオンビーム加速電圧毎に出力
装置イオンビーム電流計測値を読み取り、イオンビーム
電流特性をグラフ化している。この作業はイオン種毎に
行なわなければならず、たいへんな労力を必要とする。
装置イオンビーム電流計測値を読み取り、イオンビーム
電流特性をグラフ化している。この作業はイオン種毎に
行なわなければならず、たいへんな労力を必要とする。
したがって、従来から自動的にイオンビーム電流特性を
得ることができるイオン圧入制御装置が望まれていた。
得ることができるイオン圧入制御装置が望まれていた。
この発明の目的は、イオンビーム電流特性を自動的に得
ることができるイオン注入制御装置を提供することであ
る。
ることができるイオン注入制御装置を提供することであ
る。
この発明のイオン注入制御装置は、イオン注入条件を与
えることによってイオン注入装置を自動制御するイオン
注入制御装置において、前記イオン注入装置に自動制御
信号を与える制御手段と、この制御手段によって設定さ
れた各イオンビーム加速電圧に対応してイオンビームＭ
ｊＬ流計測値を収集するデータ収集手段と、ｎ；１記イ
オンビーム加速電圧と前記イオンビーム電流計測値との
関係を示すイオンビーム電流特性グラフを出力する出力
手段とを備えたことを特徴とするものである。
えることによってイオン注入装置を自動制御するイオン
注入制御装置において、前記イオン注入装置に自動制御
信号を与える制御手段と、この制御手段によって設定さ
れた各イオンビーム加速電圧に対応してイオンビームＭ
ｊＬ流計測値を収集するデータ収集手段と、ｎ；１記イ
オンビーム加速電圧と前記イオンビーム電流計測値との
関係を示すイオンビーム電流特性グラフを出力する出力
手段とを備えたことを特徴とするものである。
この発明の構成によれば、データ収集手段が制御手段に
よって設定された各イオンビーム加速電圧に対応してイ
オン注入”２にで出力されるイオンビーム電流計測値を
収集し、出力手段が収集されタイオンビーム電流計測値
に基づいてイオンビーム電流特性グラフを出力する。
よって設定された各イオンビーム加速電圧に対応してイ
オン注入”２にで出力されるイオンビーム電流計測値を
収集し、出力手段が収集されタイオンビーム電流計測値
に基づいてイオンビーム電流特性グラフを出力する。
実施例
第１図は、この発明の一実施例の構成を示すブロック図
である。このイオン注入制御装置ｌはイオン注入装置２
に自動制御信号を与える制御手段３と、この制御手段３
によって設定された各イオンビーム加速電圧に対応して
イオンビームａ計測値を収集するデータ収集手段４と、
前記イオンビーム加速電圧を前記イオンビーム電流計測
値との関係を示すイオンビーム電流特性グラフを出力す
る出力手段であるＣＲ７表示装置５およびプリンタ６と
を備えている。
である。このイオン注入制御装置ｌはイオン注入装置２
に自動制御信号を与える制御手段３と、この制御手段３
によって設定された各イオンビーム加速電圧に対応して
イオンビームａ計測値を収集するデータ収集手段４と、
前記イオンビーム加速電圧を前記イオンビーム電流計測
値との関係を示すイオンビーム電流特性グラフを出力す
る出力手段であるＣＲ７表示装置５およびプリンタ６と
を備えている。
この実施例では、ＣＲ７表示装置５およびプリンタ６に
第２図に示すようにイオンビーム電流特性がグラフ化し
て出力されるとともに、イオンビーム電流値を左右する
条件項目であるマス値、アーク電流値、フィラメント電
流値、ガス流量等が出力される。
第２図に示すようにイオンビーム電流特性がグラフ化し
て出力されるとともに、イオンビーム電流値を左右する
条件項目であるマス値、アーク電流値、フィラメント電
流値、ガス流量等が出力される。
この実施例においては、オペレータの指示によって、設
定された各イオンビーム加速電圧毎にデータ収集手段４
からイオンビーム電流計測値を出力させ、ＣＲ７表示装
置５に随時イオンビーム計測値を出力表示することがで
きるとともに、順次人力されるイオンビーム電流計測値
をデータ収集手段４のメモリに記憶しておき、サンプリ
ング終了後にイオンビーム電流特性を表示出力すること
もできる。
定された各イオンビーム加速電圧毎にデータ収集手段４
からイオンビーム電流計測値を出力させ、ＣＲ７表示装
置５に随時イオンビーム計測値を出力表示することがで
きるとともに、順次人力されるイオンビーム電流計測値
をデータ収集手段４のメモリに記憶しておき、サンプリ
ング終了後にイオンビーム電流特性を表示出力すること
もできる。
この発明によれば、データ収集手段が各イオンビーム加
速電圧に対応してイオンビーム電流計測値を収集し、出
力手段が収集されたイオンビーム電流計測値に基づいて
イオンビーム電流特性グラフを出力するようにしたこと
によって、イオンビーム電流特性を自動的に得ることが
できる。
速電圧に対応してイオンビーム電流計測値を収集し、出
力手段が収集されたイオンビーム電流計測値に基づいて
イオンビーム電流特性グラフを出力するようにしたこと
によって、イオンビーム電流特性を自動的に得ることが
できる。
第１図はこの発明の一実施例の構成を示すブロック図、
第２図は出力手段によって出力されるイオンビーム電流
特性グラフの一例を示す図である。 ｌ・・・イオン注入制御装置、２・・・イオン注入装置
、３・・・制御手段、４・・・データ収集手段、５・・
・ＣＲＴ表示装置、６・・・プリンタ
第２図は出力手段によって出力されるイオンビーム電流
特性グラフの一例を示す図である。 ｌ・・・イオン注入制御装置、２・・・イオン注入装置
、３・・・制御手段、４・・・データ収集手段、５・・
・ＣＲＴ表示装置、６・・・プリンタ
Claims (1)
- イオン注入条件を与えることによってイオン注入装置を
自動制御するイオン注入制御装置において、前記イオン
注入装置に自動制御信号を与える制御手段と、この制御
手段によって設定された各イオンビーム加速電圧に対応
してイオンビーム電流計測値を収集するデータ収集手段
と、前記イオンビーム加速電圧と前記イオンビーム電流
計測値との関係を示すイオンビーム電流特性グラフを出
力する出力手段とを備えたことを特徴とするイオン注入
制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28460585A JPS62143356A (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | イオン注入制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28460585A JPS62143356A (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | イオン注入制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62143356A true JPS62143356A (ja) | 1987-06-26 |
Family
ID=17680619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28460585A Pending JPS62143356A (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | イオン注入制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62143356A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100418523B1 (ko) * | 2001-06-29 | 2004-02-11 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조설비의 이온주입 입력파라미터 모니터링장치및 그 방법 |
-
1985
- 1985-12-17 JP JP28460585A patent/JPS62143356A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100418523B1 (ko) * | 2001-06-29 | 2004-02-11 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조설비의 이온주입 입력파라미터 모니터링장치및 그 방법 |
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