JPS62137988A - 2値化画像処理方法 - Google Patents
2値化画像処理方法Info
- Publication number
- JPS62137988A JPS62137988A JP60278041A JP27804185A JPS62137988A JP S62137988 A JPS62137988 A JP S62137988A JP 60278041 A JP60278041 A JP 60278041A JP 27804185 A JP27804185 A JP 27804185A JP S62137988 A JPS62137988 A JP S62137988A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oblique
- projection
- oblique projection
- image
- street
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Facsimile Image Signal Circuits (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、傾斜角をもった対象物(例えばウェハ表面
)を、2値化画像を用いて検出する2値化画像処理方法
に関するものである、 〔従来の技術〕 一般にウェハテスト工程中のウエノ・ブローバにおいて
は、ウェハ表面を撮像装置にて撮像し、2値化画像処理
を行ない、オートアライメント(高精度自動位置決め)
を実現している。その際、ウェハ傾斜角を高精度に検知
するには、まずウェハ上の特徴あるパターン、例えばス
トリート部分等を自動的に検出することが必要となる。
)を、2値化画像を用いて検出する2値化画像処理方法
に関するものである、 〔従来の技術〕 一般にウェハテスト工程中のウエノ・ブローバにおいて
は、ウェハ表面を撮像装置にて撮像し、2値化画像処理
を行ない、オートアライメント(高精度自動位置決め)
を実現している。その際、ウェハ傾斜角を高精度に検知
するには、まずウェハ上の特徴あるパターン、例えばス
トリート部分等を自動的に検出することが必要となる。
例えば、第3図は従来の2値化画像を用いて各チップ間
の境界、すなわちストリートを検出する2値化画像処理
方法を説明するための図で、図において、1は! 24
0ビツト、横256ビツトの2値化画像、2aはウェハ
の縦方向ストリート部分、2bは横方向ストリート部分
、3aは2値化画像1の白ビットの数を縦方向に各列ご
とにカウントした値、すなわち縦方向投影値、3bは横
方向に各行ごとにカウントした横方向投影値を示してい
る0 次に動作について説明する。まず、ウエノ・表面の2値
化画像1はストリート部分2a、2bが白となシ、特徴
のあるパターンとなる。そこで、縦方向に256 (b
it)列、横方向に240 (bit)行、各列、各行
ごとに白のビット数をカウントし、縦、横方向ストリー
ト部分3a 、3bの様な投影図を描くと、21部、P
g部にみられるように、ストリート部はピーク部分とし
て変化が現われるため、このピーク部分の変化を検出す
ることにより、21部の位置に対応した縦方向ス)’J
)2aがまた、22部の位置に対応した横力向ス)
リ−) 2 bがそれぞれ検出可能となる。
の境界、すなわちストリートを検出する2値化画像処理
方法を説明するための図で、図において、1は! 24
0ビツト、横256ビツトの2値化画像、2aはウェハ
の縦方向ストリート部分、2bは横方向ストリート部分
、3aは2値化画像1の白ビットの数を縦方向に各列ご
とにカウントした値、すなわち縦方向投影値、3bは横
方向に各行ごとにカウントした横方向投影値を示してい
る0 次に動作について説明する。まず、ウエノ・表面の2値
化画像1はストリート部分2a、2bが白となシ、特徴
のあるパターンとなる。そこで、縦方向に256 (b
it)列、横方向に240 (bit)行、各列、各行
ごとに白のビット数をカウントし、縦、横方向ストリー
ト部分3a 、3bの様な投影図を描くと、21部、P
g部にみられるように、ストリート部はピーク部分とし
て変化が現われるため、このピーク部分の変化を検出す
ることにより、21部の位置に対応した縦方向ス)’J
)2aがまた、22部の位置に対応した横力向ス)
リ−) 2 bがそれぞれ検出可能となる。
従来の2値化画像処理方法におけるストリート検出方法
は、以上のように行っているので、縦方向、横方向に白
ビットの数をカウントするとき、ストリートの傾斜角が
非常に小さい範囲においては、ストリート部の投影値が
ピークとして現われストリート検出が可能であづたが、
第4図に示すように、ストリートがかなシの傾斜角をも
ち、しかもストリート部に、TEGマーク(TEST
ELEMENTGROUP ) 4がある場合には、縦
256列、横240行、各列、各行ごとに白ビットの数
をカウントしても、第4図の21部、PZ部にみられる
ように、ストリート部の投影値がピークとして現われに
くい。そこで、ピーク部を捕えて投影しストリート部を
検出する従来の方法では、正確なストリート検出は困難
であるという問題点があった。
は、以上のように行っているので、縦方向、横方向に白
ビットの数をカウントするとき、ストリートの傾斜角が
非常に小さい範囲においては、ストリート部の投影値が
ピークとして現われストリート検出が可能であづたが、
第4図に示すように、ストリートがかなシの傾斜角をも
ち、しかもストリート部に、TEGマーク(TEST
ELEMENTGROUP ) 4がある場合には、縦
256列、横240行、各列、各行ごとに白ビットの数
をカウントしても、第4図の21部、PZ部にみられる
ように、ストリート部の投影値がピークとして現われに
くい。そこで、ピーク部を捕えて投影しストリート部を
検出する従来の方法では、正確なストリート検出は困難
であるという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、1頃斜角をもった対象物、例えば、かなシの
傾斜角のあるウェハ表面のストリート部を確実に検出で
きる2値化画像処理方法を得ることを目的とする。
たもので、1頃斜角をもった対象物、例えば、かなシの
傾斜角のあるウェハ表面のストリート部を確実に検出で
きる2値化画像処理方法を得ることを目的とする。
この発明に係る2値化画像処理方法は、例えばウェハ表
面の対象物に傾斜角がある場合にもその傾斜角に沿った
方向で白ビツト数をカウントし投影をとるようにしたも
のである。
面の対象物に傾斜角がある場合にもその傾斜角に沿った
方向で白ビツト数をカウントし投影をとるようにしたも
のである。
この発明における斜投影法は、画像メモリの中に設けた
斜投影回路によって対象物の傾斜角に沿って投影をとる
ため、対象物が傾斜角をもたない状態と同一条件で2値
化画像を得るようにする。
斜投影回路によって対象物の傾斜角に沿って投影をとる
ため、対象物が傾斜角をもたない状態と同一条件で2値
化画像を得るようにする。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。図中
第3図及び第4図と同一の部分は同一の符号をもって図
示した第1図において、5aは2値化画像1の白ビット
の数をストリートの傾斜角に沿った方向で縦方向に25
6傾斜列、各列ごとにカウントした値、すなわち縦方向
斜投影値であり、5bは横方向に240傾斜行、各行ご
とにカウントした値、すなわち横方向斜投影値を示して
いる。
第3図及び第4図と同一の部分は同一の符号をもって図
示した第1図において、5aは2値化画像1の白ビット
の数をストリートの傾斜角に沿った方向で縦方向に25
6傾斜列、各列ごとにカウントした値、すなわち縦方向
斜投影値であり、5bは横方向に240傾斜行、各行ご
とにカウントした値、すなわち横方向斜投影値を示して
いる。
また、4はウェハのストリート上に存在するT工(TE
ST E都犯冑GROUP )マークである。
ST E都犯冑GROUP )マークである。
また、第2図は2値化画像処理装置の一実施例を示すシ
ステム構成図で、図において6はITV(イメージテレ
ビ用)カメラ、7はA/DK換回路、8は画像メモリで
内部に斜投影回路9を有している010は画像処理作業
を行うCF’U (中央演算処理装置)である。
ステム構成図で、図において6はITV(イメージテレ
ビ用)カメラ、7はA/DK換回路、8は画像メモリで
内部に斜投影回路9を有している010は画像処理作業
を行うCF’U (中央演算処理装置)である。
次に動作について説明する。まず第1図の縦及び横方向
のスト’) −ト2a、2bはITVカメラ6の基準設
定位置に対してかなシの傾斜角をもち、またTEGマー
ク4をも有している。しかしそのストリー ト2a、2
bの傾斜角に沿って縦方向256傾斜列、横方向240
傾斜行を設け、ITVカメラ6によって撮像しA/I)
変換器7を介して画像メモリ8に入力する。CPU 1
0は前記入力されたLΦ変換器7の出力から各傾斜列、
各傾斜性ごとに白のピット数をカウントし、縦、横方向
投影値5a *5bの様な投影図を描く、そしてPi部
tPz部にみられるように、ストリートに傾斜角があっ
ても、またTEGマークを有していても、ストリート部
はかなシのピーク部分として現われる。すなわち、この
2値化画像処理方法としては第2図の如く画像メモリ8
内の斜投影回路9によって画像の始点位置、画像の辺の
長さ、傾斜角等を指令することにより画像メモリ8に取
込まれた画像の斜投影をとり、斜投影値を出力する。そ
して前記出力された斜投影値のデータはCPU 10の
指令によシ斜投影処理が施される。かくして、ストリー
トのピーク部分を検出することにより、21部の位、′
θから縦方向ストリート2aが、P2部の位置から横方
向ス) IJ −ト2 bがそれぞれ検出できる。なお
、ストリートの傾斜角は最初かられかっていることは少
ないので、通常の場合にはカウントしていく傾斜列、傾
斜性の角度−を除々に変化させて行き、ピーク部Pi
、 P2がはつきシと現われた時点で、21部、 P2
部をストリートとして検出する。またこのようにするこ
とで、ストリートの概略傾斜角の検知も可能となる。
のスト’) −ト2a、2bはITVカメラ6の基準設
定位置に対してかなシの傾斜角をもち、またTEGマー
ク4をも有している。しかしそのストリー ト2a、2
bの傾斜角に沿って縦方向256傾斜列、横方向240
傾斜行を設け、ITVカメラ6によって撮像しA/I)
変換器7を介して画像メモリ8に入力する。CPU 1
0は前記入力されたLΦ変換器7の出力から各傾斜列、
各傾斜性ごとに白のピット数をカウントし、縦、横方向
投影値5a *5bの様な投影図を描く、そしてPi部
tPz部にみられるように、ストリートに傾斜角があっ
ても、またTEGマークを有していても、ストリート部
はかなシのピーク部分として現われる。すなわち、この
2値化画像処理方法としては第2図の如く画像メモリ8
内の斜投影回路9によって画像の始点位置、画像の辺の
長さ、傾斜角等を指令することにより画像メモリ8に取
込まれた画像の斜投影をとり、斜投影値を出力する。そ
して前記出力された斜投影値のデータはCPU 10の
指令によシ斜投影処理が施される。かくして、ストリー
トのピーク部分を検出することにより、21部の位、′
θから縦方向ストリート2aが、P2部の位置から横方
向ス) IJ −ト2 bがそれぞれ検出できる。なお
、ストリートの傾斜角は最初かられかっていることは少
ないので、通常の場合にはカウントしていく傾斜列、傾
斜性の角度−を除々に変化させて行き、ピーク部Pi
、 P2がはつきシと現われた時点で、21部、 P2
部をストリートとして検出する。またこのようにするこ
とで、ストリートの概略傾斜角の検知も可能となる。
以上のように、この発明によれば、画像メモリに取込ん
だ斜投影値をCPUの指令によう斜投影処理し、投影方
向(白ピットをカウントする方向)を任意の方向につい
て可能としたので、傾斜角をもった対象物(ストリート
等)を、その傾斜角に沿った方向で投影値がとれ、対象
物の特徴をよりはつきυとさせ、正確に対象物を検出す
ることができ、また、対象物の概略傾斜角をも検知でき
る効果がある。
だ斜投影値をCPUの指令によう斜投影処理し、投影方
向(白ピットをカウントする方向)を任意の方向につい
て可能としたので、傾斜角をもった対象物(ストリート
等)を、その傾斜角に沿った方向で投影値がとれ、対象
物の特徴をよりはつきυとさせ、正確に対象物を検出す
ることができ、また、対象物の概略傾斜角をも検知でき
る効果がある。
第1図はこの発明の一実施例によるス) IJ−)検出
方法の説明図、第2図は2値化画像処理装置のシステム
構成図、第3図は従来のス) !J −ト検出方法の説
明図、第4図は従来のストリート検出方法の問題点の説
明図。 図において、6はITVカメラ、7はA/D変換回路、
8は画像メモリ、9は斜投影回路、10はCPUである
。
方法の説明図、第2図は2値化画像処理装置のシステム
構成図、第3図は従来のス) !J −ト検出方法の説
明図、第4図は従来のストリート検出方法の問題点の説
明図。 図において、6はITVカメラ、7はA/D変換回路、
8は画像メモリ、9は斜投影回路、10はCPUである
。
Claims (2)
- (1)対象物をITVカメラによつて撮像し、前記撮像
した信号をA/D変換回路によつて2値化し、該2値化
した画像データを画像メモリに格納し、該画像メモリの
中に設けた斜投影回路によつて前記ITVカメラからの
画像信号が入力後、CPUからの指令によつて斜投影処
理を行う2値化画像処理方法。 - (2)前記斜投影回路の機能として画像の始点信号、画
像の辺の長さ、傾斜角等を指令することにより前記画像
メモリ内に取込んだ画像データの斜投影演算を実行し斜
投影値を出力するようにしたことを特徴とする特許請求
の範囲第1項記載の2値化画像処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60278041A JPS62137988A (ja) | 1985-12-12 | 1985-12-12 | 2値化画像処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60278041A JPS62137988A (ja) | 1985-12-12 | 1985-12-12 | 2値化画像処理方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62137988A true JPS62137988A (ja) | 1987-06-20 |
Family
ID=17591821
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60278041A Pending JPS62137988A (ja) | 1985-12-12 | 1985-12-12 | 2値化画像処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62137988A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5252493A (en) * | 1986-09-22 | 1993-10-12 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Laser magnetic immunoassay method and apparatus therefor |
US11316313B2 (en) | 2017-12-27 | 2022-04-26 | Enplas Corporation | Opening/closing mechanism of opening/closing body |
-
1985
- 1985-12-12 JP JP60278041A patent/JPS62137988A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5252493A (en) * | 1986-09-22 | 1993-10-12 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Laser magnetic immunoassay method and apparatus therefor |
US11316313B2 (en) | 2017-12-27 | 2022-04-26 | Enplas Corporation | Opening/closing mechanism of opening/closing body |
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