JPS62137988A - ２値化画像処理方法 - Google Patents
２値化画像処理方法Info
- Publication number
- JPS62137988A JPS62137988A JP60278041A JP27804185A JPS62137988A JP S62137988 A JPS62137988 A JP S62137988A JP 60278041 A JP60278041 A JP 60278041A JP 27804185 A JP27804185 A JP 27804185A JP S62137988 A JPS62137988 A JP S62137988A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oblique
- projection
- oblique projection
- image
- street
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Facsimile Image Signal Circuits (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、傾斜角をもった対象物（例えばウェハ表面
）を、２値化画像を用いて検出する２値化画像処理方法
に関するものである、 〔従来の技術〕 一般にウェハテスト工程中のウエノ・ブローバにおいて
は、ウェハ表面を撮像装置にて撮像し、２値化画像処理
を行ない、オートアライメント（高精度自動位置決め）
を実現している。その際、ウェハ傾斜角を高精度に検知
するには、まずウェハ上の特徴あるパターン、例えばス
トリート部分等を自動的に検出することが必要となる。
）を、２値化画像を用いて検出する２値化画像処理方法
に関するものである、 〔従来の技術〕 一般にウェハテスト工程中のウエノ・ブローバにおいて
は、ウェハ表面を撮像装置にて撮像し、２値化画像処理
を行ない、オートアライメント（高精度自動位置決め）
を実現している。その際、ウェハ傾斜角を高精度に検知
するには、まずウェハ上の特徴あるパターン、例えばス
トリート部分等を自動的に検出することが必要となる。
例えば、第３図は従来の２値化画像を用いて各チップ間
の境界、すなわちストリートを検出する２値化画像処理
方法を説明するための図で、図において、１は！ ２４
０ビツト、横２５６ビツトの２値化画像、２ａはウェハ
の縦方向ストリート部分、２ｂは横方向ストリート部分
、３ａは２値化画像１の白ビットの数を縦方向に各列ご
とにカウントした値、すなわち縦方向投影値、３ｂは横
方向に各行ごとにカウントした横方向投影値を示してい
る０ 次に動作について説明する。まず、ウエノ・表面の２値
化画像１はストリート部分２ａ、２ｂが白となシ、特徴
のあるパターンとなる。そこで、縦方向に２５６ （ｂ
ｉｔ）列、横方向に２４０ （ｂｉｔ）行、各列、各行
ごとに白のビット数をカウントし、縦、横方向ストリー
ト部分３ａ 、３ｂの様な投影図を描くと、２１部、Ｐ
ｇ部にみられるように、ストリート部はピーク部分とし
て変化が現われるため、このピーク部分の変化を検出す
ることにより、２１部の位置に対応した縦方向ス）’Ｊ
）２ａがまた、２２部の位置に対応した横力向ス）
リ−） ２ ｂがそれぞれ検出可能となる。
の境界、すなわちストリートを検出する２値化画像処理
方法を説明するための図で、図において、１は！ ２４
０ビツト、横２５６ビツトの２値化画像、２ａはウェハ
の縦方向ストリート部分、２ｂは横方向ストリート部分
、３ａは２値化画像１の白ビットの数を縦方向に各列ご
とにカウントした値、すなわち縦方向投影値、３ｂは横
方向に各行ごとにカウントした横方向投影値を示してい
る０ 次に動作について説明する。まず、ウエノ・表面の２値
化画像１はストリート部分２ａ、２ｂが白となシ、特徴
のあるパターンとなる。そこで、縦方向に２５６ （ｂ
ｉｔ）列、横方向に２４０ （ｂｉｔ）行、各列、各行
ごとに白のビット数をカウントし、縦、横方向ストリー
ト部分３ａ 、３ｂの様な投影図を描くと、２１部、Ｐ
ｇ部にみられるように、ストリート部はピーク部分とし
て変化が現われるため、このピーク部分の変化を検出す
ることにより、２１部の位置に対応した縦方向ス）’Ｊ
）２ａがまた、２２部の位置に対応した横力向ス）
リ−） ２ ｂがそれぞれ検出可能となる。
従来の２値化画像処理方法におけるストリート検出方法
は、以上のように行っているので、縦方向、横方向に白
ビットの数をカウントするとき、ストリートの傾斜角が
非常に小さい範囲においては、ストリート部の投影値が
ピークとして現われストリート検出が可能であづたが、
第４図に示すように、ストリートがかなシの傾斜角をも
ち、しかもストリート部に、ＴＥＧマーク（ＴＥＳＴ
ＥＬＥＭＥＮＴＧＲＯＵＰ ） ４がある場合には、縦
２５６列、横２４０行、各列、各行ごとに白ビットの数
をカウントしても、第４図の２１部、ＰＺ部にみられる
ように、ストリート部の投影値がピークとして現われに
くい。そこで、ピーク部を捕えて投影しストリート部を
検出する従来の方法では、正確なストリート検出は困難
であるという問題点があった。
は、以上のように行っているので、縦方向、横方向に白
ビットの数をカウントするとき、ストリートの傾斜角が
非常に小さい範囲においては、ストリート部の投影値が
ピークとして現われストリート検出が可能であづたが、
第４図に示すように、ストリートがかなシの傾斜角をも
ち、しかもストリート部に、ＴＥＧマーク（ＴＥＳＴ
ＥＬＥＭＥＮＴＧＲＯＵＰ ） ４がある場合には、縦
２５６列、横２４０行、各列、各行ごとに白ビットの数
をカウントしても、第４図の２１部、ＰＺ部にみられる
ように、ストリート部の投影値がピークとして現われに
くい。そこで、ピーク部を捕えて投影しストリート部を
検出する従来の方法では、正確なストリート検出は困難
であるという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、１頃斜角をもった対象物、例えば、かなシの
傾斜角のあるウェハ表面のストリート部を確実に検出で
きる２値化画像処理方法を得ることを目的とする。
たもので、１頃斜角をもった対象物、例えば、かなシの
傾斜角のあるウェハ表面のストリート部を確実に検出で
きる２値化画像処理方法を得ることを目的とする。
この発明に係る２値化画像処理方法は、例えばウェハ表
面の対象物に傾斜角がある場合にもその傾斜角に沿った
方向で白ビツト数をカウントし投影をとるようにしたも
のである。
面の対象物に傾斜角がある場合にもその傾斜角に沿った
方向で白ビツト数をカウントし投影をとるようにしたも
のである。
この発明における斜投影法は、画像メモリの中に設けた
斜投影回路によって対象物の傾斜角に沿って投影をとる
ため、対象物が傾斜角をもたない状態と同一条件で２値
化画像を得るようにする。
斜投影回路によって対象物の傾斜角に沿って投影をとる
ため、対象物が傾斜角をもたない状態と同一条件で２値
化画像を得るようにする。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。図中
第３図及び第４図と同一の部分は同一の符号をもって図
示した第１図において、５ａは２値化画像１の白ビット
の数をストリートの傾斜角に沿った方向で縦方向に２５
６傾斜列、各列ごとにカウントした値、すなわち縦方向
斜投影値であり、５ｂは横方向に２４０傾斜行、各行ご
とにカウントした値、すなわち横方向斜投影値を示して
いる。
第３図及び第４図と同一の部分は同一の符号をもって図
示した第１図において、５ａは２値化画像１の白ビット
の数をストリートの傾斜角に沿った方向で縦方向に２５
６傾斜列、各列ごとにカウントした値、すなわち縦方向
斜投影値であり、５ｂは横方向に２４０傾斜行、各行ご
とにカウントした値、すなわち横方向斜投影値を示して
いる。
また、４はウェハのストリート上に存在するＴ工（ＴＥ
ＳＴ Ｅ都犯冑ＧＲＯＵＰ ）マークである。
ＳＴ Ｅ都犯冑ＧＲＯＵＰ ）マークである。
また、第２図は２値化画像処理装置の一実施例を示すシ
ステム構成図で、図において６はＩＴＶ（イメージテレ
ビ用）カメラ、７はＡ／ＤＫ換回路、８は画像メモリで
内部に斜投影回路９を有している０１０は画像処理作業
を行うＣＦ’Ｕ （中央演算処理装置）である。
ステム構成図で、図において６はＩＴＶ（イメージテレ
ビ用）カメラ、７はＡ／ＤＫ換回路、８は画像メモリで
内部に斜投影回路９を有している０１０は画像処理作業
を行うＣＦ’Ｕ （中央演算処理装置）である。
次に動作について説明する。まず第１図の縦及び横方向
のスト’） −ト２ａ、２ｂはＩＴＶカメラ６の基準設
定位置に対してかなシの傾斜角をもち、またＴＥＧマー
ク４をも有している。しかしそのストリー ト２ａ、２
ｂの傾斜角に沿って縦方向２５６傾斜列、横方向２４０
傾斜行を設け、ＩＴＶカメラ６によって撮像しＡ／Ｉ）
変換器７を介して画像メモリ８に入力する。ＣＰＵ １
０は前記入力されたＬΦ変換器７の出力から各傾斜列、
各傾斜性ごとに白のピット数をカウントし、縦、横方向
投影値５ａ ＊５ｂの様な投影図を描く、そしてＰｉ部
ｔＰｚ部にみられるように、ストリートに傾斜角があっ
ても、またＴＥＧマークを有していても、ストリート部
はかなシのピーク部分として現われる。すなわち、この
２値化画像処理方法としては第２図の如く画像メモリ８
内の斜投影回路９によって画像の始点位置、画像の辺の
長さ、傾斜角等を指令することにより画像メモリ８に取
込まれた画像の斜投影をとり、斜投影値を出力する。そ
して前記出力された斜投影値のデータはＣＰＵ １０の
指令によシ斜投影処理が施される。かくして、ストリー
トのピーク部分を検出することにより、２１部の位、′
θから縦方向ストリート２ａが、Ｐ２部の位置から横方
向ス） ＩＪ −ト２ ｂがそれぞれ検出できる。なお
、ストリートの傾斜角は最初かられかっていることは少
ないので、通常の場合にはカウントしていく傾斜列、傾
斜性の角度−を除々に変化させて行き、ピーク部Ｐｉ
、 Ｐ２がはつきシと現われた時点で、２１部、 Ｐ２
部をストリートとして検出する。またこのようにするこ
とで、ストリートの概略傾斜角の検知も可能となる。
のスト’） −ト２ａ、２ｂはＩＴＶカメラ６の基準設
定位置に対してかなシの傾斜角をもち、またＴＥＧマー
ク４をも有している。しかしそのストリー ト２ａ、２
ｂの傾斜角に沿って縦方向２５６傾斜列、横方向２４０
傾斜行を設け、ＩＴＶカメラ６によって撮像しＡ／Ｉ）
変換器７を介して画像メモリ８に入力する。ＣＰＵ １
０は前記入力されたＬΦ変換器７の出力から各傾斜列、
各傾斜性ごとに白のピット数をカウントし、縦、横方向
投影値５ａ ＊５ｂの様な投影図を描く、そしてＰｉ部
ｔＰｚ部にみられるように、ストリートに傾斜角があっ
ても、またＴＥＧマークを有していても、ストリート部
はかなシのピーク部分として現われる。すなわち、この
２値化画像処理方法としては第２図の如く画像メモリ８
内の斜投影回路９によって画像の始点位置、画像の辺の
長さ、傾斜角等を指令することにより画像メモリ８に取
込まれた画像の斜投影をとり、斜投影値を出力する。そ
して前記出力された斜投影値のデータはＣＰＵ １０の
指令によシ斜投影処理が施される。かくして、ストリー
トのピーク部分を検出することにより、２１部の位、′
θから縦方向ストリート２ａが、Ｐ２部の位置から横方
向ス） ＩＪ −ト２ ｂがそれぞれ検出できる。なお
、ストリートの傾斜角は最初かられかっていることは少
ないので、通常の場合にはカウントしていく傾斜列、傾
斜性の角度−を除々に変化させて行き、ピーク部Ｐｉ
、 Ｐ２がはつきシと現われた時点で、２１部、 Ｐ２
部をストリートとして検出する。またこのようにするこ
とで、ストリートの概略傾斜角の検知も可能となる。
以上のように、この発明によれば、画像メモリに取込ん
だ斜投影値をＣＰＵの指令によう斜投影処理し、投影方
向（白ピットをカウントする方向）を任意の方向につい
て可能としたので、傾斜角をもった対象物（ストリート
等）を、その傾斜角に沿った方向で投影値がとれ、対象
物の特徴をよりはつきυとさせ、正確に対象物を検出す
ることができ、また、対象物の概略傾斜角をも検知でき
る効果がある。
だ斜投影値をＣＰＵの指令によう斜投影処理し、投影方
向（白ピットをカウントする方向）を任意の方向につい
て可能としたので、傾斜角をもった対象物（ストリート
等）を、その傾斜角に沿った方向で投影値がとれ、対象
物の特徴をよりはつきυとさせ、正確に対象物を検出す
ることができ、また、対象物の概略傾斜角をも検知でき
る効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるス） ＩＪ−）検出
方法の説明図、第２図は２値化画像処理装置のシステム
構成図、第３図は従来のス） ！Ｊ −ト検出方法の説
明図、第４図は従来のストリート検出方法の問題点の説
明図。 図において、６はＩＴＶカメラ、７はＡ／Ｄ変換回路、
８は画像メモリ、９は斜投影回路、１０はＣＰＵである
。
方法の説明図、第２図は２値化画像処理装置のシステム
構成図、第３図は従来のス） ！Ｊ −ト検出方法の説
明図、第４図は従来のストリート検出方法の問題点の説
明図。 図において、６はＩＴＶカメラ、７はＡ／Ｄ変換回路、
８は画像メモリ、９は斜投影回路、１０はＣＰＵである
。
Claims (2)
- （１）対象物をＩＴＶカメラによつて撮像し、前記撮像
した信号をＡ／Ｄ変換回路によつて２値化し、該２値化
した画像データを画像メモリに格納し、該画像メモリの
中に設けた斜投影回路によつて前記ＩＴＶカメラからの
画像信号が入力後、ＣＰＵからの指令によつて斜投影処
理を行う２値化画像処理方法。 - （２）前記斜投影回路の機能として画像の始点信号、画
像の辺の長さ、傾斜角等を指令することにより前記画像
メモリ内に取込んだ画像データの斜投影演算を実行し斜
投影値を出力するようにしたことを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の２値化画像処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60278041A JPS62137988A (ja) | 1985-12-12 | 1985-12-12 | ２値化画像処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60278041A JPS62137988A (ja) | 1985-12-12 | 1985-12-12 | ２値化画像処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62137988A true JPS62137988A (ja) | 1987-06-20 |
Family
ID=17591821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60278041A Pending JPS62137988A (ja) | 1985-12-12 | 1985-12-12 | ２値化画像処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62137988A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5252493A (en) * | 1986-09-22 | 1993-10-12 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Laser magnetic immunoassay method and apparatus therefor |
| US11316313B2 (en) | 2017-12-27 | 2022-04-26 | Enplas Corporation | Opening/closing mechanism of opening/closing body |
-
1985
- 1985-12-12 JP JP60278041A patent/JPS62137988A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5252493A (en) * | 1986-09-22 | 1993-10-12 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Laser magnetic immunoassay method and apparatus therefor |
| US11316313B2 (en) | 2017-12-27 | 2022-04-26 | Enplas Corporation | Opening/closing mechanism of opening/closing body |
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