JPS62136320A - 微小凹凸パタ−ンの形成方法 - Google Patents
微小凹凸パタ−ンの形成方法Info
- Publication number
- JPS62136320A JPS62136320A JP60275518A JP27551885A JPS62136320A JP S62136320 A JPS62136320 A JP S62136320A JP 60275518 A JP60275518 A JP 60275518A JP 27551885 A JP27551885 A JP 27551885A JP S62136320 A JPS62136320 A JP S62136320A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- laser beam
- residual stress
- work
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は例えば摺動部表面に施される油溜めのディン
プル（くぼみ）及び溝等の微小な凹凸を形成する方法に
関するものである。
プル（くぼみ）及び溝等の微小な凹凸を形成する方法に
関するものである。
従来、摺動部表面に施されるディンプル及び溝はエンド
ミルを用いた機械加工またはフォトエツチング等によ多
形成されていた。
ミルを用いた機械加工またはフォトエツチング等によ多
形成されていた。
従来の機械加工では、１つ１つのくぼみまたは溝をエン
ドミルで加工するため多大の加工時間を必要とするばか
シか、円筒部材等の曲面への加工が難しいという問題点
があった。
ドミルで加工するため多大の加工時間を必要とするばか
シか、円筒部材等の曲面への加工が難しいという問題点
があった。
ま九、フォトエツチング法でば１工程で多数のくぼみ、
溝が加工できるがマス＋ンタ等工程が多く繁雑で曲面へ
の加工が難しいという問題点があった。
溝が加工できるがマス＋ンタ等工程が多く繁雑で曲面へ
の加工が難しいという問題点があった。
この発明はかかる問題点を解決するためになされたもの
で、所望の微小凹凸パターンを簡便に例えば円筒面など
の平面以外にもフレ＋シづルに、形成できる方法を提供
することを目的とする。
で、所望の微小凹凸パターンを簡便に例えば円筒面など
の平面以外にもフレ＋シづルに、形成できる方法を提供
することを目的とする。
Ｃ問題点を解決する念めの手段〕
この発明の微小凹凸パターンの形成方法は、被加工材表
面に所望のビーム径及びエネルギを有するレーザビーム
を所望のパターンに照射し、上記被加工材表面に残留応
力分布を所望のパターンに生成させた後、研摩すること
により、上記被加工材表面が上記残留応力分布に対応し
て選択研摩されるようにしたものである。
面に所望のビーム径及びエネルギを有するレーザビーム
を所望のパターンに照射し、上記被加工材表面に残留応
力分布を所望のパターンに生成させた後、研摩すること
により、上記被加工材表面が上記残留応力分布に対応し
て選択研摩されるようにしたものである。
この発明において所望のパターンにレーザビームを照射
することによシ被加工材表面に所望パターンの残留応力
分布が生成する。この残留応力の有無及び不均一性に起
因して研摩速度に相異が生じるため、残留応力分布に対
応して所望パターンに微小な凹凸が形成される。
することによシ被加工材表面に所望パターンの残留応力
分布が生成する。この残留応力の有無及び不均一性に起
因して研摩速度に相異が生じるため、残留応力分布に対
応して所望パターンに微小な凹凸が形成される。
以下、この発明を実施例に基き説明する。
第１図はこの発明の一実施例によシ微小凹凸パターンが
形成された軸を示す斜視図で、（１１は被加工材で、こ
の場合は軸、（２）はこの軸、（２）に形成された微小
な凹部で、この場合は油だめである。
形成された軸を示す斜視図で、（１１は被加工材で、こ
の場合は軸、（２）はこの軸、（２）に形成された微小
な凹部で、この場合は油だめである。
被加工材である軸＋＋１の表面に所望のビーム径及びエ
ネルギを有するレーザビームを被加工材を動かしてラン
タムに照射する。レーザビームを照射された部分は局部
的に熱膨張し、極めて微小な凸状に変形を起こす。塑性
ひずみが残るまで変形を与えた後、ビーム照射をやめる
と残留塑性ひずみに相当する微小な凹凸が生じる。さら
にその凹凸部には凹部に圧縮、凸部に引張の残留応力が
残る。
ネルギを有するレーザビームを被加工材を動かしてラン
タムに照射する。レーザビームを照射された部分は局部
的に熱膨張し、極めて微小な凸状に変形を起こす。塑性
ひずみが残るまで変形を与えた後、ビーム照射をやめる
と残留塑性ひずみに相当する微小な凹凸が生じる。さら
にその凹凸部には凹部に圧縮、凸部に引張の残留応力が
残る。
このような引張、圧縮の残留応力の点在した状態で軸（
１）に化学研摩を施す。引張、圧縮の残留応力の相異（
不均一性）に起因して研摩速度に相異が生じるため微小
なランタムに凹凸が生じる。引張応力部は圧縮応力部に
比べて破壊されやすい状況にあるため、先に選択研摩さ
れ、ビーム照射部が凸を呈する。従って、軸（１）に簡
便に油だめ（２）をランタムに点在させて形成できる。
１）に化学研摩を施す。引張、圧縮の残留応力の相異（
不均一性）に起因して研摩速度に相異が生じるため微小
なランタムに凹凸が生じる。引張応力部は圧縮応力部に
比べて破壊されやすい状況にあるため、先に選択研摩さ
れ、ビーム照射部が凸を呈する。従って、軸（１）に簡
便に油だめ（２）をランタムに点在させて形成できる。
第２図はこの発明の他の実施例によシ微小凹凸パターン
が形成された平板状の摺動部を示す斜視図で、（３）は
被加工材で、この場合は焼入れされた平板状の硬化材で
ある。
が形成された平板状の摺動部を示す斜視図で、（３）は
被加工材で、この場合は焼入れされた平板状の硬化材で
ある。
被加工材である硬化材（１）の表面に所望のビーム径及
びエネルギを有するレーザビームを硬化材（１）を動か
してランタムに照射する。硬化材（１）の移動は、例え
ば硬化材（１）をステージ制御系により制御されたステ
ージ上に載置し、ステージを動かすことにより行う。レ
ーザビームを照射された部分は焼純され軟化し、内部応
力が解放されるため、残留応力が失くなる。ところが焼
入れされた硬化部には一般に圧縮残留応力が残っている
。このように圧縮残留応力を有する硬化部、残留応力の
無い軟化部がうニアジムに点在した状態で硬化材（３）
表面をパフ研摩する。圧縮応力がある部分（レーザビー
ムの非照射部）は破壊されにくく、しかも硬いため、研
摩されにくく凸状に残シ、硬化材（３）表面に微小な凹
凸が形成される。従って硬化材（３）表面に簡便に油だ
め（２）をランタムに点在して形成できる。この実施例
においては、上記実施例の残留応力の相異（不均一性）
だけでなく、硬軟の硬化差によっても研摩速度が異なる
ため選択研摩が加速される。
びエネルギを有するレーザビームを硬化材（１）を動か
してランタムに照射する。硬化材（１）の移動は、例え
ば硬化材（１）をステージ制御系により制御されたステ
ージ上に載置し、ステージを動かすことにより行う。レ
ーザビームを照射された部分は焼純され軟化し、内部応
力が解放されるため、残留応力が失くなる。ところが焼
入れされた硬化部には一般に圧縮残留応力が残っている
。このように圧縮残留応力を有する硬化部、残留応力の
無い軟化部がうニアジムに点在した状態で硬化材（３）
表面をパフ研摩する。圧縮応力がある部分（レーザビー
ムの非照射部）は破壊されにくく、しかも硬いため、研
摩されにくく凸状に残シ、硬化材（３）表面に微小な凹
凸が形成される。従って硬化材（３）表面に簡便に油だ
め（２）をランタムに点在して形成できる。この実施例
においては、上記実施例の残留応力の相異（不均一性）
だけでなく、硬軟の硬化差によっても研摩速度が異なる
ため選択研摩が加速される。
上記実施例においてはレーザビームを所望のパターンに
照射するのに被加工材を動かす場合を示したが、レンズ
系などを動かしてレーザの方を移動させてもよい。
照射するのに被加工材を動かす場合を示したが、レンズ
系などを動かしてレーザの方を移動させてもよい。
ま之、研摩方法として化学研摩及びパフ研摩に限らずメ
カノケミカルボリジング等の他の方法でも良い。
カノケミカルボリジング等の他の方法でも良い。
〔発明の効果〕
この発明は以上説明したとおシ、被加工材表面に所望の
ビーム径及びエネルギを有するレーザビームを所望のパ
ターンに照射し、上記被加工材表面に残留応力分布を所
望のパターンに生成させた後、研摩することによシ上記
被加工材表面が上記残留応力分布に対応して選択研摩さ
れるようにすることに二り、所望の微小凹凸パターンを
簡便に円筒面などの平面以外にもフレ士シづルに形成す
る効果がある。
ビーム径及びエネルギを有するレーザビームを所望のパ
ターンに照射し、上記被加工材表面に残留応力分布を所
望のパターンに生成させた後、研摩することによシ上記
被加工材表面が上記残留応力分布に対応して選択研摩さ
れるようにすることに二り、所望の微小凹凸パターンを
簡便に円筒面などの平面以外にもフレ士シづルに形成す
る効果がある。
第１図はこの発明の一実施例により微小凹凸パターンが
形成された軸を示す斜視図、第２図はこの発明の他の実
施例によシ微小凹凸パターンが形成された平板状硬化材
を示す斜視図である。 図において、（１）は被加工材（軸）、（２）は微小凹
部（油だめ）、（３）は被加工材（平板状硬化材）であ
る。 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
形成された軸を示す斜視図、第２図はこの発明の他の実
施例によシ微小凹凸パターンが形成された平板状硬化材
を示す斜視図である。 図において、（１）は被加工材（軸）、（２）は微小凹
部（油だめ）、（３）は被加工材（平板状硬化材）であ
る。 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (3)
- （１）被加工材表面に所望のビーム径及びエネルギを有
するレーザビームを所望のパターンに照射し、上記被加
工材表面に残留応力分布を所望のパターンに生成させた
後、研摩することにより、上記被加工材表面が上記残留
応力分布に対応して選択研摩されるようにした微小凹凸
パターンの形成方法。 - （２）被加工材表面に所望のビーム径及びエネルギを有
するレーザビームを所望のパターンに照射し、レーザビ
ームが照射された被加工材表面に圧縮、引張の残留応力
を生成させるようにした特許請求の範囲第１項記載の微
小凹凸パターンの形成方法。 - （３）被加工材は焼入れされた硬化材で、上記被加工材
表面に所望のビーム径及びエネルギを有するレーザビー
ムを所望のパターンに照射し、レーザビームが照射され
た被加工材表面の圧縮残留応力を失くすようした特許請
求の範囲第１項記載の微小凹凸パターンの形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60275518A JPS62136320A (ja) | 1985-12-05 | 1985-12-05 | 微小凹凸パタ−ンの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60275518A JPS62136320A (ja) | 1985-12-05 | 1985-12-05 | 微小凹凸パタ−ンの形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62136320A true JPS62136320A (ja) | 1987-06-19 |
Family
ID=17556582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60275518A Pending JPS62136320A (ja) | 1985-12-05 | 1985-12-05 | 微小凹凸パタ−ンの形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62136320A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007237307A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層が重切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具 |
| JP2007237308A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層が重切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具 |
| CN106363356A (zh) * | 2016-10-12 | 2017-02-01 | 南通大学 | 一种微造型球阀阀芯及其加工方法 |
-
1985
- 1985-12-05 JP JP60275518A patent/JPS62136320A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007237307A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層が重切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具 |
| JP2007237308A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層が重切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具 |
| JP4761136B2 (ja) * | 2006-03-07 | 2011-08-31 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層が重切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具 |
| JP4761137B2 (ja) * | 2006-03-07 | 2011-08-31 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層が重切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具 |
| CN106363356A (zh) * | 2016-10-12 | 2017-02-01 | 南通大学 | 一种微造型球阀阀芯及其加工方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH06198518A (ja) | 工作物の表面を精密加工する方法 | |
| JP2004504166A (ja) | 超音波を利用したマイクロバニシ仕上げ装置 | |
| Xi et al. | Modeling surface roughness in the stone polishing process | |
| WO2001094100A3 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines werkstückes mit exakter geometrie | |
| JP4576255B2 (ja) | 工具砥石の形状創成方法 | |
| JPS62136320A (ja) | 微小凹凸パタ−ンの形成方法 | |
| JPH06304769A (ja) | レーザ彫刻加工方法 | |
| CN112059406B (zh) | 摩擦面上微纳结构的激光干涉诱导电解加工方法和装置 | |
| JPS62133016A (ja) | 摺動表面の硬化方法 | |
| JPS6176260A (ja) | 研摩方法 | |
| JP2001239795A (ja) | 打刻方法及びその装置 | |
| JPH04344887A (ja) | レーザ加工方法 | |
| Masuzawa et al. | A new method for three dimensional excimer laser micromachining, Hole Area Modulation (HAM) | |
| JPH03257117A (ja) | 動圧発生溝の加工方法 | |
| JPS6013045B2 (ja) | 炭素鋼部品の焼入れ加工方法 | |
| JPS63134163A (ja) | 研磨加工法 | |
| JP2007290052A (ja) | 表面加工方法 | |
| Chow et al. | Impact of overlapping trajectories in laser micro-polishing | |
| RU2082595C1 (ru) | Способ изготовления трафарета для декорирования изделий | |
| JPS5930434A (ja) | 打抜型の製造方法 | |
| KR20080049402A (ko) | 차체부품 스프링백 저감장치 | |
| JPH0479827B2 (ja) | ||
| JPH06285576A (ja) | 揺動鍛造パンチの製造装置及び揺動鍛造パンチの製造方法 | |
| JPS58179588A (ja) | 動圧流体軸受用軸の溝加工方法 | |
| Wang et al. | Micro-actuation in precision grinding |