JPS62135749A - 微粒子測定用濾過ホルダ− - Google Patents
微粒子測定用濾過ホルダ−Info
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- JPS62135749A JPS62135749A JP27598985A JP27598985A JPS62135749A JP S62135749 A JPS62135749 A JP S62135749A JP 27598985 A JP27598985 A JP 27598985A JP 27598985 A JP27598985 A JP 27598985A JP S62135749 A JPS62135749 A JP S62135749A
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- filtration
- filter
- suction
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- membrane filter
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
- G01N15/0606—Investigating concentration of particle suspensions by collecting particles on a support
- G01N15/0618—Investigating concentration of particle suspensions by collecting particles on a support of the filter type
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は微粒子測定用戸過ホルダーに関するものである
。電子工業用超純水においては、微粒子数に厳しい制限
があり、現在0. 2μm以上の微粒子が14中に10
0個以ドとなっており、今後,更に厳しくなることが予
想される。ところが現在,超純水中の微粒子の信頼でさ
る測定装置がな《、超純水中の微粒子数の測定は,スク
リーンタイプのメンブレンフィルターを使用して超純水
を一定:tF過し、炉過後のメンブレンフィルターヲ光
学顕微鏡あるいは、電子顕微差により、500〜100
00倍に拡大して直接あるいは写真を撮影して観察し,
メンブ1/ンフィルターの表面に捕集した微粒子の数か
ら超純水中の微粒子の数を計算で出すのが一般的方法と
なっている。
。電子工業用超純水においては、微粒子数に厳しい制限
があり、現在0. 2μm以上の微粒子が14中に10
0個以ドとなっており、今後,更に厳しくなることが予
想される。ところが現在,超純水中の微粒子の信頼でさ
る測定装置がな《、超純水中の微粒子数の測定は,スク
リーンタイプのメンブレンフィルターを使用して超純水
を一定:tF過し、炉過後のメンブレンフィルターヲ光
学顕微鏡あるいは、電子顕微差により、500〜100
00倍に拡大して直接あるいは写真を撮影して観察し,
メンブ1/ンフィルターの表面に捕集した微粒子の数か
ら超純水中の微粒子の数を計算で出すのが一般的方法と
なっている。
(従来技術)
従来の微粒子測定用戸過ホルダーVC>1問題があった
。従来の微粒子測定用p過ホルダーの一例を第1図に示
す。
。従来の微粒子測定用p過ホルダーの一例を第1図に示
す。
ファンネルエと呼ばれる水受4の下にスクリーンタイプ
のメンフ゛レンフィルター2を置き,その下にメンブレ
ンフィルターのサポート4のあるベース3を瞳いて,全
体をクラングで止めてペースの下のノズルより吸引戸過
する。サポートは通常焼結ガラス、プラスチックのメッ
シュ、金属多孔板等で出来ている。
のメンフ゛レンフィルター2を置き,その下にメンブレ
ンフィルターのサポート4のあるベース3を瞳いて,全
体をクラングで止めてペースの下のノズルより吸引戸過
する。サポートは通常焼結ガラス、プラスチックのメッ
シュ、金属多孔板等で出来ている。
第2図に示したように、メンブレンフィルターの下側の
一部とサポートの表面の基材の一部は接触する。この接
触部分では、メンブレンフィルターの孔5を通っての濾
過は、殆んど行なわれていないことになる。この様IC
フィルターにサポートがちることは、メンブレンフィル
ター上に捕集した微粒子め数に場所によるむらを生む原
因となる。
一部とサポートの表面の基材の一部は接触する。この接
触部分では、メンブレンフィルターの孔5を通っての濾
過は、殆んど行なわれていないことになる。この様IC
フィルターにサポートがちることは、メンブレンフィル
ター上に捕集した微粒子め数に場所によるむらを生む原
因となる。
もう一つの問題点は、ファンネルの容量と有効濾過面積
から決まる単位膜面積当りの濾過量(以後これを濾過高
さと呼ぶ)が従来のタイプでは小さいことである。この
濾過高さと濾過した後のメンブレンフィルター上に捕集
した微粒子数の単位面積当りの個数は正、比例の関係に
ある。超純水の場合、微粒子数が少ないので、この濾過
高さを十分にとらないと拡大してみたとぎ1視野の中に
微粒子がl <raもないと言うことがおこる。そのた
め50〜100視野を観察しているのが現状である。
から決まる単位膜面積当りの濾過量(以後これを濾過高
さと呼ぶ)が従来のタイプでは小さいことである。この
濾過高さと濾過した後のメンブレンフィルター上に捕集
した微粒子数の単位面積当りの個数は正、比例の関係に
ある。超純水の場合、微粒子数が少ないので、この濾過
高さを十分にとらないと拡大してみたとぎ1視野の中に
微粒子がl <raもないと言うことがおこる。そのた
め50〜100視野を観察しているのが現状である。
又メンブレンフィルターには、もともと微粒子が付着し
ており、これと捕集した微粒子を区別できないので誤差
を生じる原因となる。濾過高さを十分大きくとれば、視
野数を大幅に減らすことができ、又もともとフィルター
上に微粒子が付着していることも、大した誤差にならな
いことになる。
ており、これと捕集した微粒子を区別できないので誤差
を生じる原因となる。濾過高さを十分大きくとれば、視
野数を大幅に減らすことができ、又もともとフィルター
上に微粒子が付着していることも、大した誤差にならな
いことになる。
今迄のことを1つの例で示す。
1−に100個の微粒子を含む超純水100dを孔径0
.2μmのニュクリポアー■メンプ1/ンで濾過する(
有効濾過面積ICrI)。
.2μmのニュクリポアー■メンプ1/ンで濾過する(
有効濾過面積ICrI)。
この場合の濾過高さは、100((、i)+1(d)=
100(crn)とな。次にこのメンブレンを拡大倍率
3000倍の電子顕微鏡で拡大後の視野1oodについ
てしらべる。そうするとこの視野に微粒子が存在する期
待値は、 1−中の微粒子数X濾過量 HUft&)夷Ofi、噴
濾過面積 =1d中の微粒子数×1視野の実面積×濾過高さ= 1
00 x x100=写となる。
100(crn)とな。次にこのメンブレンを拡大倍率
3000倍の電子顕微鏡で拡大後の視野1oodについ
てしらべる。そうするとこの視野に微粒子が存在する期
待値は、 1−中の微粒子数X濾過量 HUft&)夷Ofi、噴
濾過面積 =1d中の微粒子数×1視野の実面積×濾過高さ= 1
00 x x100=写となる。
3000X3000
従って最低でも9視野観ないと微粒子が存在しないこと
になる。尚、3000倍に拡大しても0.2μmは0.
6絹になるだけなので、この程変は最低でも拡大する必
要がある。
になる。尚、3000倍に拡大しても0.2μmは0.
6絹になるだけなので、この程変は最低でも拡大する必
要がある。
この例からして濾過高さは、10m〜500m程度必要
になる。濾過高さを大きくするために。
になる。濾過高さを大きくするために。
従来の濾過ホルダーでは、1回の濾過が終わるごとにフ
ァンネルに水を汲む操作が必要となり不便であった。
ァンネルに水を汲む操作が必要となり不便であった。
この様な状況に鑑み、本発明者らは、鋭意検討した結果
1本発明に到達した。
1本発明に到達した。
(発明の構成)
即ち、本発明は「スクリーンタイプのメンブレンフィル
ターを使用して、液体中の微粒子を吸引濾過し、濾過後
のメンブレンフィルター表面を顕微鏡を使い測定する液
体中の微粒子数測定装置に於いて、濾過ホルダーの吸引
側を平滑面とそこに開けられた1個の直径3伐以下の円
形の穴で構成し、この穴でのみ吸引濾過し、吸引側に全
く濾過サポートを置かないことを特徴とする微粒子測定
用濾過ホルダー」である。
ターを使用して、液体中の微粒子を吸引濾過し、濾過後
のメンブレンフィルター表面を顕微鏡を使い測定する液
体中の微粒子数測定装置に於いて、濾過ホルダーの吸引
側を平滑面とそこに開けられた1個の直径3伐以下の円
形の穴で構成し、この穴でのみ吸引濾過し、吸引側に全
く濾過サポートを置かないことを特徴とする微粒子測定
用濾過ホルダー」である。
第3図に示すように本発すjのポイントは、有効濾過面
積を非常に小さくするためと、濾過サポートを(置かな
くてもメンブレンフィルターが自身の強度で圧力に耐え
られるようにメンズ17ンの吸引側の濾過ホルダーに直
径3m以下の円形の穴6をあけ、この穴で吸引し濾過す
ることにある。この穴の大きさはメンブレンフィルター
の強度と、必要濾過高さによ−り決定する。
積を非常に小さくするためと、濾過サポートを(置かな
くてもメンブレンフィルターが自身の強度で圧力に耐え
られるようにメンズ17ンの吸引側の濾過ホルダーに直
径3m以下の円形の穴6をあけ、この穴で吸引し濾過す
ることにある。この穴の大きさはメンブレンフィルター
の強度と、必要濾過高さによ−り決定する。
この様な濾過ホルダーを作れば、1回の濾過て濾過高さ
を十分にとることができる。
を十分にとることができる。
例えば濾過jiiloO++d、有効濾過直径1繕とす
れば、濾過高さは127mとなる。又有幼部のフィルタ
ーに接触するサポートはないのでフィルターの均一性が
向上する。
れば、濾過高さは127mとなる。又有幼部のフィルタ
ーに接触するサポートはないのでフィルターの均一性が
向上する。
(発明の幼果)
本発明の濾過ホルダーを使用することによりメンブレン
フィルター上の微粒子の分布は均一になり、又濾過高さ
も大きいので、視野数を大幅に減らしても微粒子数測定
の精度は顕著に向上する。
フィルター上の微粒子の分布は均一になり、又濾過高さ
も大きいので、視野数を大幅に減らしても微粒子数測定
の精度は顕著に向上する。
第1図は従来の微粒子測定用濾過ホルダー、第2図は第
1図に於けるメンブレンフィルターとサポートの接触部
拡大図、第3図は本発明に於ける微粒子測定用濾過ホル
ダーを示す。 1・・・・・・ファンネル(Funnel )、2・・
・・・・メンブレンフィルター、3・・・・・・ベース
。 4・・・・・・サポート、 5・・・・・・メンブレンフィルターの孔、6・・・・
・・円形の穴。 特許出願人 ダイセル化学工業株式会社代理人 弁
理士 越場 隆 第 1 図 吸引濾過 第2図 第3図
1図に於けるメンブレンフィルターとサポートの接触部
拡大図、第3図は本発明に於ける微粒子測定用濾過ホル
ダーを示す。 1・・・・・・ファンネル(Funnel )、2・・
・・・・メンブレンフィルター、3・・・・・・ベース
。 4・・・・・・サポート、 5・・・・・・メンブレンフィルターの孔、6・・・・
・・円形の穴。 特許出願人 ダイセル化学工業株式会社代理人 弁
理士 越場 隆 第 1 図 吸引濾過 第2図 第3図
Claims (1)
- スクリーンタイプのメンブレンフィルターを使用して、
液体中の微粒子を吸引ろ過し、ろ過後のメンブレンフィ
ルター表面を顕微鏡を使い測定する液体中の微粒子数測
定装置に於いて、ろ過ホルダーの吸引側を平滑面とそこ
に開けられた1個の直径3mm以下の円形の穴で構成し
、この穴でのみ吸引ろ過し、吸引側に全くろ過サポート
を置かないことを特徴とする微粒子測定用ろ過ホルダー
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27598985A JPS62135749A (ja) | 1985-12-10 | 1985-12-10 | 微粒子測定用濾過ホルダ− |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27598985A JPS62135749A (ja) | 1985-12-10 | 1985-12-10 | 微粒子測定用濾過ホルダ− |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62135749A true JPS62135749A (ja) | 1987-06-18 |
JPH0476572B2 JPH0476572B2 (ja) | 1992-12-04 |
Family
ID=17563221
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27598985A Granted JPS62135749A (ja) | 1985-12-10 | 1985-12-10 | 微粒子測定用濾過ホルダ− |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62135749A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012154648A (ja) * | 2011-01-21 | 2012-08-16 | Nomura Micro Sci Co Ltd | 超純水中の微粒子数測定方法及び測定装置 |
JP2012530256A (ja) * | 2009-06-17 | 2012-11-29 | ロイコケア・アクチェンゲゼルシャフト | 血液フィルタおよび血液をろ過するための方法 |
JP2012255720A (ja) * | 2011-06-09 | 2012-12-27 | Konica Minolta Holdings Inc | 細胞平面展開方法 |
-
1985
- 1985-12-10 JP JP27598985A patent/JPS62135749A/ja active Granted
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012530256A (ja) * | 2009-06-17 | 2012-11-29 | ロイコケア・アクチェンゲゼルシャフト | 血液フィルタおよび血液をろ過するための方法 |
US10406271B2 (en) | 2009-06-17 | 2019-09-10 | Leukocare Ag | Method for filtering blood to produce plasma or serum |
JP2012154648A (ja) * | 2011-01-21 | 2012-08-16 | Nomura Micro Sci Co Ltd | 超純水中の微粒子数測定方法及び測定装置 |
JP2012255720A (ja) * | 2011-06-09 | 2012-12-27 | Konica Minolta Holdings Inc | 細胞平面展開方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0476572B2 (ja) | 1992-12-04 |
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