JPS62125308A - レ−ザ光集光レンズ用マウント - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 １１よΩμ月分！ 本発明は、レーザ加工等の大出力レーザに用いるレーザ
光集光レンズ用マウントに関する。更に詳しくは、レン
ズの着脱を容易かつ正確に行うことができ、熱拡散性能
の良い集光レンズ用マウントに関する。

従来の技術 レーザが初めて報告されて以来、その進歩はめざましく
、レーザ加工、計測、通信、医学等様々なかつ広範な分
野にふける応用技術が開発され、一部では既に実用化さ
れており、例えば、医療用としてのレーザメス（ＹＡＧ
レーザ等）、読取り・表示・記録用のレーザビデオディ
スク、レーザプリンタ、レーザ加工機等を挙げることが
できる。

ところで、レーザ光を利用する場合、所定の位置にレー
ザ光を導き、集光照射するためには、共振器用ミラー、
出力窓および外周光学系であるレーザ光の伝達、集光用
ミラー、レンズ、ビームスプリフタ、プリズムなどの光
学部品が不可欠である。特に、レーザ光はきわめて小さ
なスポットに絞られて用いられることが多いため、集光
用ミラーあるいはレンズはレーザ光応用技術における主
要光学部品であるといえる。

一般的に、光学部品は、透過光や反射光の波面収差が小
さく、散乱、吸収などの損失が小さく、所定の波長特性
を有しており、さらに物理的、化学的に安定でなければ
ならない。しかしながら、レーザ光は従来の光源から得
られる光と比較して、単色性、集束性、強度などにおい
て著しく異っているので、その特性を十分に生かしたい
場合には、上記要求は一層厳しいものとなる。例えば、
大出力レーザ用の集光用ミラーあるいはレンズ等の光学
部品に対して共通して要求されることは、特に大出力レ
ーザ光の照射に対して破壊されないことおよびレーザ光
を吸収することによって生ずる熱ひずみができるだけ小
さいことである。

現在、集光レンズ用材料としては、Ｇｅ５ＺｎＳｅ。

ＧａＡｓ５ＣｄＴｅ等が用いられており、連続大出力Ｃ
Ｏ２レーザの出力透過ミラーとしては、Ｚｎ５ｅあるい
はＧａＡｓを基板材料とし、これを誘電体多層膜でコー
ティングした、出力５ＫＷ程度で使用可能なものが開発
されている。

しかしながら、レーザ光吸収による基板の熱変形と屈折
率の温度依存性に基く透過光の波面収差の発生、即ち、
熱レンズ効果が大きく、性能的には依然として不十分で
あり、高価でもある。

このような情況の下で、レーザ用光学部品は、レーザ光
吸収に基く発熱の影響をできるだけ小さくするために水
冷などにより冷却された金属性支持部品（マンウドある
いはホルダ）に装着し、該マウントとの熱伝導により冷
却する方法（端面冷却：　ｅｄｇｅ　−ｃｏｏｌ　ｉｎ
ｇ）が採用されている。例えば、その−例を添付第４図
に沿って説明すると、光学部品４１は一般にＺｎ５ｅな
どの基板４２上に必要な無反射コーテイング膜４３を蒸
着法等によって形成した構造となっており（第４図（ａ
）、ら）参照）、これは第４図（Ｃ）に示したように、
例えばアルミ合金製のマウント材４４に取付けられ、該
マウント材４４を冷却チャンネル４５内に流通されてい
る冷却水などで冷却し、その際の熱伝導により光学部品
４１が冷却されるようになっている。

しかしながら、上記のような方法では、マウント材４４
と集光レンズ等の光学部品４１との接触状態（密着性）
が悪く、そのため熱伝導に対する抵抗が大きかった。そ
の結果、冷却効率が著しく悪くなり、光学部品の破損（
熱破損）を招くことがあった。また、マウント材４４と
コーテイング面とを直接接触させることは、光学部品装
着の際に該コーテイング膜４３の破損をまねくこととな
る。

そこで、このような問題を解決する目的でマウント材４
４と光学部品４１との間にインジウム（１ｎ）線４６な
どをクッションとして介在させるなどの工夫がなされた
が、このＩｎ線を用いた方法には、以下に詳述する様な
問題点があり、上記各種問題点を解決するには依然とし
て不十分であった。

発明が解決しようとする問題点 上記のように、大出力レーザを利用する際には集光レン
ズ等の光学部品は集束性の高い、かつ強度の高いレーザ
光の照射を受け、その反射あるいは透過に際してエネル
ギーの一部を吸収して高温度に加熱される。その結果、
熱変形、熱レンズ効果等による焦点距離のずれ、あるい
は熱変形がはなはだしい場合には熱破損等を起こしやす
かった。

そこで、熱伝導の良好な金属性マウントに装着し、該マ
ウントを水冷等により冷却するエツジクーリング技術が
利用されている。

この集光レンズ冷却法を行う場合、集光レンズを金属製
マウントに装着するに当って、従来では、両者の密着性
を増し、冷却効率を上げ、かつ機械的強度の低い集光レ
ンズ並びに無反射コーテイング膜を保護するために、マ
ウントと集光レンズとの間に柔いＩｎ線を介在させ、そ
のクッション作用を利用していた。

しかしながら、Ｉｎ線は、レンズ装着時に動き易く、か
つ非常に柔いため、レンズ装着操作が非常に困難である
という問題点を有していた。この点を添付第２図（ａ）
に基づき更に詳しく述べる。

この図は従来の集光レンズ装着操作の概略を示す流れ図
であるが、この図からも明らかな様に、従来のレンズ装
着作業はまず工程Ａに従ってＩｎ線をマウント内周に沿
って配置し、次いで第１回目のＩｎ線のはみ出しの有無
を確認する（工程Ｂ）。ここで、Ｉｎ線のはみ出しがあ
った場合には再度工程へに戻り最初から操作を行うこと
が必要となる。

次にマウント内周に沿って配置されたＩｎ線を介してマ
ウントにレンズを設置する（工程Ｃ）。この時点で第２
回目のＩｎ線のはみ出しの有無の確ＡＩＪ（工程Ｄ）が
必要であり、その存在が認められた場合には同様に各装
着部材をはずし、工程Δから再度装着作業を繰り返す必
要がある。ここでＩｎ線のはみ出しのないことが確認さ
れたら工程ＥおよびＦに従って旨線をレンズ上かつマウ
ント内周に沿って配置させ、押え板によりマウントに締
結・固定されるが、ここでもＩｎ線のはみ出しの有無の
確認が必要とされ、また同様な作業を繰り返さねばなら
ないことはしばしある。

このように従来のマウントではクッション部材の固有の
特性のために同じ作業を何回となく繰り返さねばならな
い場合がしばしば生じ、はみ出しが認められて最初の工
程から繰り返したとしても、そのまま完全な装着が行な
えるという保証もない。

レンズのレーザ光透過部に１ｎ線のはみ出し部が存在す
ると、該はみ出し部にレーザ光が照射され、大きな発熱
を生じ、レンズが破損する場合があるため、Ｉｎ線のは
み出しの有無を確認する作業（工程Ｂ、ＤおよびＧ）は
Ｉｎ線を用いたレンズの装着方法において不可欠である
が、このことにより、上記の如くレンズの装着作業は著
しく複雑かつ面倒なものとなる。

また、Ｉｎ線は非常に柔い（指先の微妙な力によっても
変形する）ので、当然押え板で圧することにより、変形
し、はみ出す場合があると予想される。このため、マウ
ントの内径をレンズ外径より大きくして、Ｉｎ線の変形
に対する逃げを設けていたが、その結果、装着したレン
ズがレーザ光の光軸に垂直な方向にずれたり、はなはだ
しい場合には、がたつくという問題が生じた。レンズが
がたついている場合、レンズ−マウント間の密着性に問
題を生じ、効率のよい冷却は行い得ない。さらに、この
レンズのがたつきあるいはずれは、レーザ光の焦点位置
に影響を及ぼすため、厳密な焦点合せが要求されるレー
ザ加工装置等に用いるには、重大な不都合となる。

また、このレンズ装着法は、Ｉｎ線の厚さ方向の変化量
が実測できないため、マウントからの正確な焦点距離が
わからないという問題点を有している。このことは、上
記同様、レーザ加工装置に用いるに際して不利な条件と
なる。

以上述べてきたように、Ｉｎ線を用いた従来の装着方法
は、作業工程が複雑であり、従って多大な時間を要する
割に歩留りが悪く、また組み立てられた製品にも、レー
ザ光軸に垂直な方向へのレンズのずれ、あるいはがたつ
きおよびマウント上における焦点位置の不明確さ等、種
々の問題点を有していた。そこでこの様な集光レンズ装
着の問題点を解決することのできる、即ち、熱拡散がよ
く集光レンズの装着が簡単であり、かつ、レンズのずれ
およびがたつきがなく、焦点位置あるいは焦点距離を正
確に把握できる集光レンズマウントを開発することは、
非常に重要であり、本発明の目的もそこにある。

問題点を解決するための手段　゛ 本発明者は、上記従来の集光レンズ用マウントの問題点
を解決すべく種々検討した結果、特に従来問題となって
いたレンズ着脱作業の簡易化、作業時間の短縮化並びに
レンズ表面のコーテイング膜の保護などが、レンズをそ
の側面で押え固定するように工夫することによって達成
し得ることを見出し、本発明を完成した。

即ち、本発明による集光レンズ用マウントは、中空マウ
ント本体と、該本体側壁から直角に少なくとも部分的に
内側に張出すように設けられたレーザ光集光レンズ支持
部材と、同様に上記マウント本体側壁に取付けられ、該
レンズを側方から締結・固定する少なくとも２つの締結
手段とを具備することを特徴するものである。

本発明のレーザ光集光レンズ用マウントは各種の形状で
あり得、装着すべきレンズの形状に応じて変化する。従
って、マウント本体は矩形、楕円形、円形断面を有する
中空体のいずれであってもよい。また、レンズの形状が
円形である場合には、マウント本体は正方形断面を有す
る中空角柱であってもよい。

マウント本体に取付けられ、レンズを支持する上記支持
部材はマウント本体下部にあることが好ましく、更に作
製の容易さ、部材の寸法精度、レンズの焦点位置設定精
度等の観点からマウント本体と一体化されたものである
ことが有利である。

この支持部材の態様としては必ずしもマウント本体の同
一断面の内面全体に亘り設ける必要はなく、複数の位置
にあれば十分である。しかし、レンズの冷却効率の点か
らすれば、レンズとの接触面積が大きい程有利である。

本発明のマウントにおいても、第４図に示した従来例と
同様にその本体内に冷却チャンネルを有し、例えば水な
どの冷却液を流通させることによりレンズの発熱を防止
し、その機能が十分に発揮し１尋るようになっている。

該マウント本体および支持部材の材料としては、熱伝導
性良好な金属並びに合金であればいずれも使用可能であ
り、例えば、ＡＩ、Ｎ１、Ｎｉ−Ｆｅ合金などを例示で
きる。

また、上記レンズの側面締結手段は、該レンズ側面に密
着して当接される押え板と、レンズを装着・脱着するた
めにあるいはレンズの焦点位置の修正（位置合わせ）の
ためにこの押え板をマウント本体側壁に対して直角の方
向あるいは法線方向に往復運動させ得る手段とで構成す
ることができる。上記押え板はレンズと当接されるもの
であることから、そのレンズ側の面はレンズ側面に対応
する形状である必要があるが、マウント内壁側の面につ
いては特に制限されない。この押え板を往復運動する手
段として好ましいものはネジスピンドルであり、スピン
ドルと、これを回転により移動させるシンプルとで構成
される。更に、このネジスピンドルは、レンズ焦点位置
決定の容易さからマイクロメータであることが好ましい
。このレンズ側面締結手段は直接あるいは適当な手段を
介してマウント本体側壁部に取付けられる。この締結手
段は少なくとも２つ必要であり、マウント本体の同一の
横断面上に等間隔で設置する。締結手段の押え板と、そ
の駆動手段としての例えばスピンドルとは押え板を回転
することなくスピンドルのみが回転するように軸受け、
例えば玉軸受けを介して連結される。あるいはまた、押
え板はスピンドルとは接続されていなくともよく、例え
ばスピンドル先端を鋭くし、押え板に設けられた孔と嵌
合させるだけでも同様な機能を十分に果たし得る。

該側面締結手段の材料としては、上記マウント本体材料
と同様のものが用い得るが、特に、押え板は、集光レン
ズ側面との密着性を確保するために、集光レンズ材料と
ほぼ等しい熱膨張率を有するものを選択することが好ま
しい。

更に、本発明のレンズマウントの別の態様においては、
レンズ支持部材上にクッション部材を設け、このクッシ
ョン部材を介してレンズを支持させることも可能であり
、この態様によればレンズ下面周縁部の無反射コーテイ
ング膜の保護は一層改善されたものとなる。このクッシ
ョン部材の形状もレンズ形状に応じて適宜変えることが
でき、これは支持部材先端部に設けられた突出部に嵌合
するか、あるいは同様に支持部材上面に設けられたクッ
ション部材嵌合用溝に嵌込むことにより固定することが
できる。これは耐熱樹脂製であることが好ましい。

上記耐熱性樹脂クッション部材は、上記マウント本体上
に、該クッション保持部にそうか、あるいは、はめ込む
様に配置されることにより、該マウント本体上にずれな
く保持されレンズ表面を有効に保護する。即ち、上記集
光レンズは、該クッション上に配置されることにより、
底面　（コーテイング面）は直接マウントと接触するこ
とはない。

該耐熱性樹脂クッション部材としては、熱による変形あ
るいは変質を起こさない樹脂であればよく、例えば、ポ
リテトラフルオロエチレン（デュポン（ｄｕ　Ｐａｎｔ
）社よりテフロン（Ｔｅｆｌｏｎ）の名称で、あるいは
大阪金属工業よりポリフロン（Ｐｏｌｙｆｌｏｎ）の名
称でそれぞれ市販されている）、ポリクロルトリフルオ
ロエチレン、ポリイミド、ポリベンゾイミダゾール等が
挙げられる。

ここで、本発明によるレーザ光集光レンズ用マウントを
、添付第１図に基づいて更に具体的に説明する。添付第
１図（ａ）は、本発明による集光レンズ用マウントの好
ましい−（態様を示した（概略断面図であり、（ｂ）は
その平面図である。添付第１図（ａ）から明らかな髄に
、本態様による集光レンズ用マウントにおいて、マウン
ト本体１は支持部材２と一体化されており、その上に耐
熱性樹脂クッション３が配置され、該マウント本体１に
固定された集光レンズ側面締結手段４により、該耐熱性
樹脂クッション３上の集光レンズ５を締めつけている。

この例においては、添付第１図（ｂ）からも明らかな様
に、該耐熱性樹脂クッション３は、リング状であり該マ
ウント本体１の下部縁部から内側に一様に直角に張り出
している支持部材２の内側（即ち中空部６側の）端部に
これと一体化して設けられた環状突出部７によってずれ
ない様に保持されているが、この耐熱性樹脂リング保持
部７は、該リング３を上記中空部６にはみ出ないように
保持することができればよく、例えば中空部６側の支持
部材２の端部全体にわたって存在する膜状あるいは、そ
の環の一゛部を構成する突出部であってよい。またその
保持部７は、耐熱性樹脂クッション３をはめ込める様に
なった環状の溝であってもよい。

また耐熱性樹脂製クッション３は、マウント１−集光レ
ンズ５間の緩衝体として働き、集光レンズ５をマウント
１上に水平にぶれなく配置できれると共にレンズ表面を
有効に保護できるものであればよく、添付第１図（ｂ）
に示す様な環状もしくはその環の一部を構成する複数の
環状片であってもよく、その形状は特に限定されない。

マウント本体１上の保持部７の形状はレンズあるいはま
た耐熱性樹脂クッション３の形状に応じて適宜選択され
る。

添付第１図（ｂ）に示した様に、該集光レンズ締結手段
４は、レンズ５側面を押える側面押え板８と、該押え板
８に取り付けられたねじスピンドル（ここではマイクロ
メータ）９とによって構成され、上記マウント本体１の
外周にそって、該本体１の側壁に適当な手段、例えばネ
ジ嵌めなどによって等間隔で固定されている。即ち、該
マイクロメータ９のスピンドル１０の軸と押え板８の法
線は一致するようになっており、さらに該マイクロメー
タ９はスピンドル１０の軸が上記マウント本体１の外周
の法線と一致するように、マウント本体１の側壁を貫通
し、固定されている。

上記押え板８は、上記集光レンズ５の側面に密着し、熱
拡散を効率よく行える形状であればよく、例えば、この
実施例で示すような集光レンズ外周にそった環状片が挙
げられるが、装着される集光レンズ５の形状に合せて、
適宜選択されることは言うまでもない。

また、本例においては、該集光レンズ側面締結手段４は
、上記マウント本体１上の２ケ所に設けられているが、
集光レンズ５を密着性よく、確実に固定できればよく、
その場所および数は特に限定しない。

本発明において、集光レンズ５の装着は、添付第３図（
ｂ）にフローチャートで示したような作業手順に従って
実施することができる。即ち、まず工程Ａに従ってマろ
ント本体１上に一体化されている支持部材２の固定部材
７に樹脂製リング３を嵌合し、次いで該リング３上に集
光レンズ５を配置しく工程Ｂ）、更にマウント本体１の
側壁に設けられた側面締結手段４のシンプル１１を回転
させることにより、スピンドルＩＯを前進させ、押え板
を集光レンズ５に密着・固定する。最後にマウント中心
と集光レンズ５の中心が同軸上に配列しているか確認し
、そうでない場合は工程Ｃに戻り、締結手段を調整する
ことにより組み立てと同時に集光レンズ中心とマウント
本体中空部の中心とを同軸上に配列させる位置合わせを
行う。使用に際して、集光レンズ５は、マウント本体１
、例えば該本体内に設けられた冷却チャンネル（図示せ
ず）を冷却する。従って、本発明のマウントによればレ
ンズの冷却はクッション３、支持部材２を介して、更に
は押え板１１、スピンドル１０等を介して冷却されるこ
とになる。

作用 従来の集光レンズマウントの問題点を解決し、本発明の
目的を達成するためには、該マウントの構成を上記の様
にすることが有利である。

即ち、従来のＩｎ線を用いたレーザ光集光レンズ用マウ
ントは、集光レンズの装着が複雑であり、その装着に多
くの時間を必要とし、またその製品も集光レンズのがた
つき、ずれを有する場合があり、さらにＩｎ線の変形量
が測定できないために焦点位置が不正確であるという問
題点を有していた。

しかしながら、本発明の集光レンズ用マウントにおいて
はレンズの締結・固定をその側面によって実施できるよ
うな構成としたことにより、上記従来法の問題点をほぼ
完全に解決することが可能となった。

まず、集光レンズのマウントへの着脱作業の点から考察
すると、変形し易い柔軟なＩｎ線等のクッション部材を
使用する必要がないので、その使用に基づくレンズ着脱
作業の煩雑さが解消される。

即ち、１０線のはみ出しの有無を１段階毎に行い、はみ
出しがｆｌｉａｎされた場合にはその都度最初の工程ま
で戻り、同一の工程を何回となく繰り返す必要があった
が、このような面倒な作業はまったく不要となった。従
って、作業が単純化され、しかも作業時間も大巾に短縮
できることとなった。

次に、冷却効率の点からは、クッション部材を必要とし
ないので、冷却に寄与するレンズ支持部材との接触面積
が十分に確保でき、さらに側面締結手段も冷却に寄与す
るので、冷却効率は著しく改善されることになる。

更に、無反射コーテイング膜の保護並びにレンズ焦点位
置に関していえば、レンズ裏面と支持部材との接触はあ
るものの従来の如く、装着時あるいは装着後にこれらの
間に押圧力、回転力が印加されることは殆どないので、
コーテイング膜損傷の可能性は大巾に低下する。また、
Ｉｎ線などといったレンズ装着後の変形ｌを測定できな
いクッション材を用いることなく、直接レンズと支持部
材とを接触させ得るので、マウントからのレンズの焦点
位置は明らかであり、その不正確さの問題は有利に回避
できる。更に、側面締結手段によってレンズの光軸合わ
せを正確に行うことができ、この問題は該締結手段の構
成要素としてマイクロメータを用いることによって一層
精度の高いものとすることが可能となる。

また、本発明のもう一つの態様によれば、耐熱性樹脂例
えばテフロン製のクッション部材を使用するが、本発明
のレンズ締結手段は側面固定方式であるためにクッショ
ン部材には集光レンズ自体の荷重しかかからず、また１
ｎ線に比べて変形し難い（＊以下変形し難いというのは
、Ｉｎ線に比べて、変形し難いことを意味する）材質で
あるために、マウントからの焦点位置が不明確になるこ
とはない。このクッション部材の存在のためにレンズ表
面、特に裏面のコーテイング膜の保護はより確実なもの
となる。尚、このクッション部材を設けた態様ではレン
ズの冷却効率の点では上記のクッション部材を設けない
態様と比較すれば多少劣るが、熱は締結手段を介してマ
ウントに伝えられ、また多少ともクッション部材を介し
て、あるいは輻射熱の形でマウントあるいは支持部材に
伝達されるため、以下の実施例に示すように従来のもの
と殆ど同等でる。この点に関して、締結部材の押え板と
マウントあるいはレンズ支持部材とを接触するように構
成することにより、冷却効率を多少とも上げることが可
能である。

実施例 本発明による集光レンズ用マウントを、実施例によって
更に具体的に説明する。

添付第１図に示したものと同様の構造を有するマウント
を用い、添付第２図（ｂ）に示した手順によって集光レ
ンズの装着を行った。この装着は、製品１個につき５分
で行うことができ、従来の装着に用する時間（１個につ
き３０分）と比較して非常に短い。

また、上記マウントを用い、平板（ＺｎＳｅ窓（両面、
無反射コーティング済）〕を装着し、レーザ光（ＣＯ□
レーザ光；出力５００　Ｗ　）を透過させ、その透過光
のバーンパターンの観察を行った。添付第３図は、その
方法の概略図であり、マウント２０に平板２１を装着し
、該平板２１と２枚のアクリル板２２ａ、２２ｂをそれ
ぞれ５ｍ間隔で光路上に配置し、矢印の方向よりレーザ
光を透過させ、その透過光のアクリル板２２ａ、２２ｂ
上のバーンパターンを観察し、従来のマウントとの比較
を行った（従来のマウントを用いた場合のバーンパター
ン３０ａ、３０ｂおよび本発明のマウントを用いた場合
のバーンパターン３１ａ、３１ｂをそれぞれアクリル板
２２ａ１２２ｂの真下に示した）。２枚のアクリル板上
のバーンパターンは、本発明によるマウントを用いたも
のも、従来のマウントを用いたものもあまり差異はなく
、熱レンズ効果の度合いに差がないことがわかった。よ
って、両者とも同程度の冷却効果を有すると考えられる
。

発明の効果 以上詳しく説明したように、本発明のレーザ光集光レン
ズ用マウントによれば、レンズをその側面で固定してい
るために、レンズ表面および／またはその裏面のコーテ
イング膜の破損を生じることがなく、また従来のように
容易に変形し、はみ出し等の不（油を生じやすく取扱が
困難なＩｎ線を用いていないので、レンズの装・脱着が
容易で作業時間は著しく短縮される。

更に、レンズとその支持部材との間にテフロンなどの樹
脂性クッション部材を介在させた場合には、特にレンズ
裏面のコーティングの保護は更に完全なものとなる。

このようにレンズ支持を側面で行い、またクッション部
材として変形し難いテフロンなどを用いた場合には、そ
のレンズの位置合わせが容易であるので、その焦点位置
、焦点距離は容易に把握でき、あるいはまた締結部材と
してマイクロメータを使用した場合、その目盛りによっ
てレンズを所定の位置にセットできるので、位置合わせ
の精度は一層良好なものとなる。

本発明に従って側面支持し、またクッション部材として
テフロン等を使用したとしても、実施例で証明したよう
に冷却効率はまったく損なわれることがなく、従来のマ
ウントと同程度の効率が達成でき、熱レンズ効果におい
て差異はない。

従って、本発明のマウントは特に大出力のＣ○、ＣＯ２
レーザ加工機並びにその主要光学部品である集光レンズ
等の支持のために有利に使用できる。

【図面の簡単な説明】

添付第１図（ａ）は、本発明のマウントの好ましい４態
様を部分的に示した概略断面図であり、添付第１図（ｂ
）　は、本発明による集光レンズマウントの好ましい４
態様を示す平面図であり、添付第２図（ａ）　は、従来
のマウントの集光レンズ装着手順を示すフローチャート
であり、添付第２図（ｂ）　は、本発明によるマウント
の集光レンズ装着手順を示すフローチャートであり、添
付第３図は、バーンパターン観察実験の概略およびその
結果を示す図であり、 第４図（ａ）〜（ｃ）は、従来の光学部品の構成を説明
するための側面部（ａ）および正面図（ｂ）であり、第
４図（Ｃ）は該光学部品をマウントに取付けた状態を示
した図である。 （主な参照番号） １・・マウント本体、　２・・支持部材、３・・耐熱性
樹脂リング、 ４・・集光レンズ締結手段、 ５・・集光レンズ、　　　６・・中空部、７・・耐熱性
樹脂リング保持用突出部、８・・押え仮、 ９・・マイクロメータ、１０・・スピンドル、１１・・
シンプル、２ｏ・・マウント、２１・・平板、　　２２
ａ、２２ｂ・・アクリル板、３０ａ、３０ｂ・・従来の
マウントを用いた場合のバーンパターン、 ３１ａ、３１ｂ・・本発明によるマウントを用いた場合
のバーンパターン、

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. （１）中空マウント本体と、該本体側壁から内側に直角
   に少なくとも部分的に張出すように設けられたレーザ光
   集光用レンズ支持部材と、同様に上記マウントの側壁に
   設けられ、該レンズを側方から締結・固定するための少
   なくとも２つの締結手段とを具備することを特徴とする
   レーザ光集光レンズ用マウント。
2. （２）上記締結手段がレンズ側面と当接する押さえ板と
   、これを上記マウント側壁に対し直角方向に往復運動さ
   せる手段とで構成されることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項に記載のレーザ光集光レンズ用マウント。
3. （３）上記押え板の往復運動手段がネジスピンドルであ
   ることを特徴とする特許請求の範囲第２項に記載のレー
   ザ光集光レンズ用マウント。
4. （４）上記レンズ支持部材がマウント本体側部から内側
   に直角に伸びた突出部であることを特徴とする特許請求
   の範囲第１〜３項のいずれか１項に記載のレーザ光集光
   レンズ用マウント。
5. （５）上記レンズ支持部材が上記マウント本体と一体化
   されていることを特徴とする特許請求の範囲第４項に記
   載のレーザ光集光レンズ用マウント。
6. （６）上記レンズ支持部材がクッション部材を有してお
   り、上記レンズが該クッション部材を介して支持部材と
   接するようになっていることを特徴とする特許請求の範
   囲第１〜５項のいずれか１項に記載のレーザ光集光レン
   ズ用マウント。
7. （７）上記クッション部材が耐熱性樹脂製であり、上記
   支持部材の端部に設けられた突出部に嵌合されているこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第６項に記載のレーザ光
   集光レンズ用マウント。
8. （８）上記クッション部材がポリフルオロエチレン製で
   あることを特徴とする特許請求の範囲第６項または第７
   項に記載のレーザ光集光レンズ用マウント。
9. （９）上記マウント本体が環状であり、その下方縁部か
   ら直角に少なくとも部分的に内側に張出したレンズ支持
   部を有し、上記締結部材の押え板が上記レンズ側面の曲
   率に等しい曲率を有する曲面板であることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項に記載のレーザ光集光レンズ用マ
   ウント。
10. （１０）上記支持部材の先端部に上方に伸びた突出部が
    上記マウント本体と同一の中心を有する同心円周上に設
    けられ、該突出部に環状のクッション部材が嵌合されて
    いることを特徴とする特許請求の範囲第９項に記載のレ
    ーザ光集光レンズ用マウント。
11. （１１）上記締結手段が上記押え板に自由回転し得るよ
    うに連結されたスピンドルを備えたネジスピンドルであ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第９項または第１０
    項に記載のレーザ光集光レンズ用マウント。
12. （１２）上記ネジスピンドルがマイクロメータである特
    許請求の範囲第１１項に記載のレーザ光集光レンズ用マ
    ウント。