JPS62124895A - クリ−ンル−ム用ロボツトの発塵防止方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、クリーンルームで用いる作業用ロボットに関
するものであシ、半導体工場等、超清浄雰囲気中の作業
分野に利用されるものである。

〔従来の技術〕

従来、クリーンルームは外部よシわずかに高圧に維持し
て、ルームの仕切り隙間等から外気が入シ込まないよう
にし、クリーンルームから外部へのみ空気が流出する状
態にし、且つロボットは成可く完全な遮蔽を施こして作
業運転を行なっていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ロボットを略空密的にカバーしただけで作業運転を行な
えば、カバー隙間を介してロボット内とロボット外の作
業雰囲気との間に空気交換が少しづつ生じ、結局クリー
ンルーム内の空気を汚染する結果になっていた。従って
ロゴノド内部からりリーンルームへの空気の流通をより
完全に遮断する方策が待望されていた。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、クリーンルーム内に配設された作業用ロボッ
トを略空密的なカバーを備えた構造にすると共に、カバ
ー内を負圧としてカバーの隙間からは外部の空気のみが
口はット内に流入するように構成すること。

ロボットのカバーに必然的に出来る隙間を可能な限り小
としてロボット内空気をブロワーで吸引し、隙間からの
空気流入速度を高めて隙間部分での圧力損失を高めてロ
ボット内を効果的に負圧とすること。

ロボット内の空気の流れを可能な限り平滑にして、ロボ
ット内部では空気流に圧力損失が成可く生じないように
し、ロボット内の均質な負圧を簡便に得られるようにす
ること。によシ従来のロボットの問題点を解決した。

〔作用〕

ロボット内部が負圧であるためロボット内からクリーン
ルーム中に空気を流出することがなく、ロボットがクリ
ーンルームを汚染することがなくなる。ロボットカバー
の隙間を小としてブロワーでロボット内の空気を吸引す
るためにロボット内への外部空気の流入速度が大となっ
て、流入個所での圧力損失が大となるため、ロボット内
の圧力低下が省エネルギーで達成出来る。

ロボット内部の空気流路の圧力損失を最小限に押えるこ
とが出来、従ってブロワーが比較的弱い吸引力でもロボ
ット内部は比較的均質な負圧に出来る。

〔実施例〕一 作業腕が前後左右動する円筒座標型作業口ゲットに於て
、作業に支障の来たさない全てを空密的にカバーしてカ
バー内空気をブロワーで吸い出すように構成した。

ロボットに空気遮断用カバーを施こすに際して、カバー
内の空気流路の断面積変化を出来るだけ小とし、且つケ
ーブルの挿通している狭い部分に合わせ、カバー全体を
成可く細くて丸い形状に近づけた。

又カバーに必然的に生ずる各運動個所の隙間を小さくし
た。第１図から明らかな如く、（Ｂ）の平滑且つ断面変
化の々い流路で流体を吸引すれば、流体Ｆ□の流入が圧
力損失を受けることなく流出となり通路（Ｗ）内は均等
圧であるが、図（４）の如く、通路Ｗ１→Ｗ２→Ｗ３の
過程に圧力損失を生ずるようなポートＰがあれば、流体
Ｆ１は通路の急激な広がり個所であるボー）Ｐ入口で圧
力損失を生じ、結局図（Ａ）の流路は図（Ｂ）の流路よ
り遥かに大きな吸引力で引かなければ同一流量が得られ
ない。

以上の現象により、本発明のロボット内の空気流路をケ
ーブル挿通個所の如き小断面に成可く一致させて流路の
断面積変化を押えたので、ロボット内部での空気流の圧
力損失が小となった。

第２図は口がットカパーの隙間構造を説明するためのも
のであって、図（Ａ）の側面モデルから明らかな如く、
空隙Ｓが小さければカバーＣ内に流体Ｆ１が流入した瞬
間に流体Ｆａは拡散されて渦を生じ、大きな圧力損失を
生ずる。従ってカバーＣ内の流体Ｆｂを吸引するために
は高い吸引力を要し、この圧力損失がカバー内を容易【
負圧状態にする。この現象によシ、本発明のロボットカ
バーと外気との隙間は可能な限シ小であるので、ブロワ
ーの小さな吸引力でロボット内を効果的に負圧に出来た
。

第３図は縦軸が上下方向に伸縮且つ回動する円筒座標型
口ピットの概略図であって、矢印Ｒ方向に伸縮する作業
用アーム２及び該アーム駆動用モータＭＲを被覆した防
塵カバー１のアームによシ生ずる隙間に防塵環１１を施
こした。

又下方部分は、上下軸モータＭ２からプーリ１５→タイ
ミングベルト１６→プーリ１フ→ギヤ１フ′４ギヤ１８
の経路で回転されるゾールネジ１９からナツト２０の上
下動により軸スライダ５を矢印２方向に上下する駆動系
、及び軸回転モータＭθ→減速機ユニット２１→ギヤ２
２→ギャ２３で軸を矢印θ方向に回動する駆動系とをＲ
−ス４と防塵カバー３とで被覆し、ペース４の１側部に
吸引ロアを設け、防塵カバー３と上下軸スライダ５間の
隙間に防塵環１０を施こした。そして吸引ロアから矢印
Ｆの如くブロワーで吸引して各防塵カバー１，３内の空
気を負圧知出来るようにした。

第３図のものに於て、各カバー内は断面積が非常に大き
いため、モータなどがあっても断面積変化率は小さなた
め問題にならないが、上下動軸部分は断面積が小さいた
め少しの面積変化が変化割合としては非常に大となる。

このため上下軸部分を筒状にし、なるべく断面積変化を
小さくし、内部での圧力損失を少なくした。また防塵カ
バー１０．１１の隙間を小さくした。

〔発明の効果〕

ロボット内部が負圧であるため、クリーンルームの清浄
な空気がロチ、ト内に流入するのみであシ、ロボット内
部の汚染空気がカーぐ−の隙間から外部に漏れる恐れが
なくなった。

ロボット内を負圧にするための空気の吸引は、ロボット
内の流路の断面積変化が小であるため、圧力損失が少く
、従ってロボット内の各所が均斉な負圧に維持出来る。

なお流路の断面積変化を小としたことによりカバーの外
形も可成り細くて丸い形状が達成出来たためクリーンル
ーム内の空気の層流を乱すことも少くなシ、ルームコン
ディショニングに好ましいロボットが得られた。

ロボットと外気との隙間を小としたため、小さなブロワ
ー吸引力で０？ツト内の負圧が達成出来た。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）　、　（Ｂ）は、ロボット内の流路形状に
対する圧力損失を説明するモデル図であって、それぞれ
断面積変化の大な流路と断面積変化の無い流路を表わし
ている。 第２図（ト）、Φ）は、ロゴ、トと外気との隙間を小と
した場合の圧力損失を説明するモデル図であっＦｌ　二
流体、Ｗ　＊　Ｗｌ　　ｅ　Ｗ２　　＊　Ｗ３　　：通
路、Ｐ：ホード、ＦＩＬ：流入時の流体、Ｆｂ：拡散後
の流体、Ｃ：カバー。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、作業用ロボットに略空密的なカバーを施こし、カバ
   ー内を吸引ブロワーに接続してカバー内を負圧とし、カ
   バーの隙間から外部の空気が常時流入するようにしたク
   リーンルーム用ロボットの発塵防止方法。 ２、ロボットに略空密的なカバーを施こし、カバーに必
   然的に出来る隙間を可能な限り小として、ロボット内空
   気をブロワーで吸引して負圧とし、該隙間からの空気流
   入速度を高めて入口部での空気流圧力損失を高めるクリ
   ーンルーム用ロボットの発塵防止方法。 ３、ロボットに略空密的なカバーを施こし、カバー内の
   空気流路断面積の変化を可能な限り小とし、カバー内を
   吸引ブロワーに接続してカバー内を負圧とし、カバー内
   の圧力損失を最小限にするクリーンルーム用ロボットの
   発塵防止方法。