JPS62124751A - 帯状部検出装置 - Google Patents
帯状部検出装置Info
- Publication number
- JPS62124751A JPS62124751A JP60263686A JP26368685A JPS62124751A JP S62124751 A JPS62124751 A JP S62124751A JP 60263686 A JP60263686 A JP 60263686A JP 26368685 A JP26368685 A JP 26368685A JP S62124751 A JPS62124751 A JP S62124751A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image information
- street
- band
- detected
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Dicing (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は半導体集積回路等を作るとぎに用いるウェハ
ーのストリートを検出してウェハーをファインアライメ
ントをするためのウエノ・−のストリート検出装置とし
て好適な帯状部検出装置に関するものである。
ーのストリートを検出してウェハーをファインアライメ
ントをするためのウエノ・−のストリート検出装置とし
て好適な帯状部検出装置に関するものである。
第６図及び第７図は特開昭５８−１９１４４４号公報等
に示された従来の帯状部検出装置、即ちウェー・−のス
トリート検出装置を説明するためのものである。図にお
いて、符号１及び２はウェー・−内のチップ、３はスト
リート、４は反射光、５Ａ。
に示された従来の帯状部検出装置、即ちウェー・−のス
トリート検出装置を説明するためのものである。図にお
いて、符号１及び２はウェー・−内のチップ、３はスト
リート、４は反射光、５Ａ。
５Ｂは受光素子である。
次に動作について説明する。第６図はストＩＪ−トロの
部分の反射光４と、受光素子５Ａ、５Ｂとをオーバーラ
ツプさせて図示したもので、受光素子５Ａと５Ｂがスト
リート３に直角になるように配置されている。受光素子
５Ａと５Ｂは密着させても、また離してもよく、受光素
子５Ａと５８の距離Ｌ１を式で示せば、次のようになる
。
部分の反射光４と、受光素子５Ａ、５Ｂとをオーバーラ
ツプさせて図示したもので、受光素子５Ａと５Ｂがスト
リート３に直角になるように配置されている。受光素子
５Ａと５Ｂは密着させても、また離してもよく、受光素
子５Ａと５８の距離Ｌ１を式で示せば、次のようになる
。
Ｌ、≧０・・・・・・・・・（１）
第７図は反射光４と受光素子５Ａ、５Ｂを示すものであ
り、第７図において、Ｌ２は受光素子５Ａ。
り、第７図において、Ｌ２は受光素子５Ａ。
５Ｂの外縁間の距離、Ｄは反射光４のビーム径である。
上記ストリート６の幅Ｗ１反射光４のビーム径り及び受
光素子５Ａと５Ｂの距離り、の間に久の関係が設定され
ている。
光素子５Ａと５Ｂの距離り、の間に久の関係が設定され
ている。
Ｄ）Ｗ・・・・・・・・・（２）
Ｄ）ＬＰ・・・・・・・・ （３）
上記式（２）のように、ビーム径りはストリート３の幅
Ｗよりも犬ぎいので、第６図に示す如く、テップ１、ス
トリート６及びテンプ２にまたがって反射光４が得られ
る。
Ｗよりも犬ぎいので、第６図に示す如く、テップ１、ス
トリート６及びテンプ２にまたがって反射光４が得られ
る。
また、上記式（３）から、受光素子５Ａと５Ｂは同時に
反射光４を受光することができることが分かる。従って
、受光素子５Ａの出力と受光素子５Ｂの出力が等しい？
きハ、ストリート乙の中心と反射光４の中心が一致して
いることになる。逆ニ受光素子５Ａ、５Ｂの出力が異な
るとぎは、出力が等しくなるようにウェハーを移動させ
ることにより、ストリート３のファインアライメントを
することができる。
反射光４を受光することができることが分かる。従って
、受光素子５Ａの出力と受光素子５Ｂの出力が等しい？
きハ、ストリート乙の中心と反射光４の中心が一致して
いることになる。逆ニ受光素子５Ａ、５Ｂの出力が異な
るとぎは、出力が等しくなるようにウェハーを移動させ
ることにより、ストリート３のファインアライメントを
することができる。
従来の上記したウェハーのス） ＩＪ−ト検出装置は、
上記のように構成されているので、一度に処理できる部
分は非常に微少な範囲であり、このためウェハーを少し
づつ移動させてストリートを検出する必要があり、また
ストリート内にテストパターン等があるウェハーには適
用できないという問題点があった。
上記のように構成されているので、一度に処理できる部
分は非常に微少な範囲であり、このためウェハーを少し
づつ移動させてストリートを検出する必要があり、また
ストリート内にテストパターン等があるウェハーには適
用できないという問題点があった。
この発明は上記の問題点を解消するためになされたもの
で、一度に処理できる範囲を拡大して。
で、一度に処理できる範囲を拡大して。
より高速でのストリート検出ができ、またストリート内
の島のよ５ ｒ、（テストパターンの有無に関係なく、
ストリート検出ができる帯状部検出装置、例えばウェハ
ーのＡ ） ＩＪ −）検出装置を得ることを目的とす
る。
の島のよ５ ｒ、（テストパターンの有無に関係なく、
ストリート検出ができる帯状部検出装置、例えばウェハ
ーのＡ ） ＩＪ −）検出装置を得ることを目的とす
る。
この発明に係る帯状部検出装置は、ストリート等の帯状
部を有するウェー・−等が取シ付けられるテーブルと、
該テーブルに取り付けられたウェハー等の帯状部の存る
面を照射する照明手段と、該帯状部の存る面を監視する
ＩＴＶカメラと、該カメラにより得られた画像情報を処
理する画像情報処理装置とを備え、該画像情報処理装置
により前記の画像情報中における帯状部に相当するとこ
ろが、前記画像情報により形成された画面を横切るもの
であるか否かを、所定範囲の方向から連続的に調べ、こ
の画面を横切る帯状部が検知されないとぎには、上記テ
ーブルとカメラとの相対位置を移動して前記ウェハー等
上における画像情報を得る位置を変え、再度帯状部に相
当するところが前記画面を横切るものであるか否かを調
べることにより帯状部を検出するようにしたものである
。
部を有するウェー・−等が取シ付けられるテーブルと、
該テーブルに取り付けられたウェハー等の帯状部の存る
面を照射する照明手段と、該帯状部の存る面を監視する
ＩＴＶカメラと、該カメラにより得られた画像情報を処
理する画像情報処理装置とを備え、該画像情報処理装置
により前記の画像情報中における帯状部に相当するとこ
ろが、前記画像情報により形成された画面を横切るもの
であるか否かを、所定範囲の方向から連続的に調べ、こ
の画面を横切る帯状部が検知されないとぎには、上記テ
ーブルとカメラとの相対位置を移動して前記ウェハー等
上における画像情報を得る位置を変え、再度帯状部に相
当するところが前記画面を横切るものであるか否かを調
べることにより帯状部を検出するようにしたものである
。
この発明においては１画像情報中における帯状部に相当
するところが、前記画像情報により形成された画面を横
切るものであるか否かを、所定範囲の方向から連続的に
調べ、この画面を横切る帯状部が検知されないとぎには
、上記テーブルとカメラとの相対位置を移動して前記ウ
ェハー等上における画像情報を得る位置を変え、再度帯
状部に相当するところが前記画面を横切るものであるか
否かを調べることにより帯状部を検出する。従って、こ
の発明の帯状部検出装置をストリート検出に適用した場
合に）”！、ＩＴＶカメラに対してウェハーが傾いても
、またストリート内にテストパターンｂ−あっても、ス
トリートとして貫通している箇所は必ずあるというウェ
ハーそのものの特徴を積極的に利用することになり、的
確なストリートの検出が可能となる。
するところが、前記画像情報により形成された画面を横
切るものであるか否かを、所定範囲の方向から連続的に
調べ、この画面を横切る帯状部が検知されないとぎには
、上記テーブルとカメラとの相対位置を移動して前記ウ
ェハー等上における画像情報を得る位置を変え、再度帯
状部に相当するところが前記画面を横切るものであるか
否かを調べることにより帯状部を検出する。従って、こ
の発明の帯状部検出装置をストリート検出に適用した場
合に）”！、ＩＴＶカメラに対してウェハーが傾いても
、またストリート内にテストパターンｂ−あっても、ス
トリートとして貫通している箇所は必ずあるというウェ
ハーそのものの特徴を積極的に利用することになり、的
確なストリートの検出が可能となる。
μ下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、符号６はウェハー、７は該ウェハーを吸着
した状態で移動する移動テーブル。
図において、符号６はウェハー、７は該ウェハーを吸着
した状態で移動する移動テーブル。
８はウェハー面より斜方上方に取り付けられた照明ラン
プ、９は拡大レンズ、１０はＩＴＶカメラ。
プ、９は拡大レンズ、１０はＩＴＶカメラ。
１１は該カメラのコントローラ、１２は画像処理装置で
ある。また、第２図はウェー・−６を第１図上方から見
たものであり、１３はチップ、１４はストリート、１５
はテストパターンであり、１６は前記移動テーブル８の
移動前のカメラ１０の視野中心、１７は前記移動テーブ
ル８の移動後の前記カメラ１０の視野中心を示すもので
ある。
ある。また、第２図はウェー・−６を第１図上方から見
たものであり、１３はチップ、１４はストリート、１５
はテストパターンであり、１６は前記移動テーブル８の
移動前のカメラ１０の視野中心、１７は前記移動テーブ
ル８の移動後の前記カメラ１０の視野中心を示すもので
ある。
第３図は前記視野中心１６での画像情報、第４図は視野
中心１７での画像情報である。第５図は斜投影の方向、
即ち後述のようにストリートが画像情報により形成され
た画面を横切るものであるか否かを調べろ方向な賢すも
のである。
中心１７での画像情報である。第５図は斜投影の方向、
即ち後述のようにストリートが画像情報により形成され
た画面を横切るものであるか否かを調べろ方向な賢すも
のである。
次に動作について説明する。移動テーブル７はウェハー
６を吸着してカメラ１０の下の指定されり位置で停止す
る。この時のカメラ視野の中心がチップ１３上の符号１
６で示す位置であったとすると、ここで得られた画像情
報は第３図のようになる。第３図は画像処理装置１２内
で原画像を２値化し、テンプ１３の部分は白、即ち１１
′、ストリート１４の部分は黒、即ち１０１として処理
された結果のものである。ここで更に画像処理装置１２
はストリートを検出するため、第５図に示すよう、な各
角度（所定範囲の連続した角度）例えば、右上、水平、
右下等の各方向で黒点の連続している個数をカウントす
る。そしてこのカウント値が画面、即ち画像情報を完全
に横切った値であるか否かを検知し、横切っていなけれ
ば、ス）ＩＪ−Ｎ４は存在していないと判断する。第３
図の場合は。
６を吸着してカメラ１０の下の指定されり位置で停止す
る。この時のカメラ視野の中心がチップ１３上の符号１
６で示す位置であったとすると、ここで得られた画像情
報は第３図のようになる。第３図は画像処理装置１２内
で原画像を２値化し、テンプ１３の部分は白、即ち１１
′、ストリート１４の部分は黒、即ち１０１として処理
された結果のものである。ここで更に画像処理装置１２
はストリートを検出するため、第５図に示すよう、な各
角度（所定範囲の連続した角度）例えば、右上、水平、
右下等の各方向で黒点の連続している個数をカウントす
る。そしてこのカウント値が画面、即ち画像情報を完全
に横切った値であるか否かを検知し、横切っていなけれ
ば、ス）ＩＪ−Ｎ４は存在していないと判断する。第３
図の場合は。
ス） ＩＪ −） １４は一部見えているのみであるの
で、ストリートなしと判断する。ストリート１４が検出
できない場合は、移動テーブル７を駆動し、画面長さく
この実施例では縦方向の長さＬ）の１７２゜即ちＬ／２
に相当する距離だけウェー・−６を移動し。
で、ストリートなしと判断する。ストリート１４が検出
できない場合は、移動テーブル７を駆動し、画面長さく
この実施例では縦方向の長さＬ）の１７２゜即ちＬ／２
に相当する距離だけウェー・−６を移動し。
視野中心を符号１７の位置に移動する。ここで得られた
画像情報は第４図のようにナリ、ここではス） ＩＪ
−） １４が画面を完全に横切っているので。
画像情報は第４図のようにナリ、ここではス） ＩＪ
−） １４が画面を完全に横切っているので。
図中Ｂ方向でとらえた斜投影（右上方向に黒点カウント
）により、符号１５で示すテストパターンの有無に関係
す（、ストリート１４が検出される。
）により、符号１５で示すテストパターンの有無に関係
す（、ストリート１４が検出される。
上記の説明では、ストリートが横方向の場合について説
明したが、縦方向のストリートを検出するときにも同様
にして検出することができる。また、上記実施例では、
照明を斜上方１点としたが。
明したが、縦方向のストリートを検出するときにも同様
にして検出することができる。また、上記実施例では、
照明を斜上方１点としたが。
リング照明でもよい。また、上記実施例では、ウェハー
のストリート検出について説明したが、この発明を他の
帯状部の検出に適用しても同様の効果を奏する。
のストリート検出について説明したが、この発明を他の
帯状部の検出に適用しても同様の効果を奏する。
なお、上記の実施例では、移動テーブル７の移動量をＬ
／２としたので、ストリートを見逃すことなく、最短時
間でストリートを検出することができる。
／２としたので、ストリートを見逃すことなく、最短時
間でストリートを検出することができる。
この発明はμ上説明したとおシ、ストリート等の帯状部
を有するワエ・・−等が取り付けられるテーブルと、該
テーブルに取り付けられたウェハー等の帯状部の存る面
を照射する照明手段と、該帯状部の存る面を監視するＩ
ＴＶカメラと、該カメラにより得られた画像情報を処理
する画像情報処理装置とを備え、該画像情報処理装置に
より前記の画像情報中における帯状部に相当するところ
が。
を有するワエ・・−等が取り付けられるテーブルと、該
テーブルに取り付けられたウェハー等の帯状部の存る面
を照射する照明手段と、該帯状部の存る面を監視するＩ
ＴＶカメラと、該カメラにより得られた画像情報を処理
する画像情報処理装置とを備え、該画像情報処理装置に
より前記の画像情報中における帯状部に相当するところ
が。
前記画像情報により形成された画面を横切るものである
か否かを、所定範囲の方向から連続的に調べ、この画面
を横切る帯状部が検知されないとぎには、上記テーブル
とカメラとの相対位置を移動して前記ウェハー等上にお
ける画像情報を得る位置を変え、再度帯状部に相当する
ところが前記画面を横切るものであるか否かを調べるこ
とにより帯状部を検出するようにしたから、前記帯状部
中に、島のようにテストパターン等の該帯状部とは異な
る画像情報の得られるものが存在した場合でも前記帯状
部を確実に、しかも高速で検出することができろという
効果がある。
か否かを、所定範囲の方向から連続的に調べ、この画面
を横切る帯状部が検知されないとぎには、上記テーブル
とカメラとの相対位置を移動して前記ウェハー等上にお
ける画像情報を得る位置を変え、再度帯状部に相当する
ところが前記画面を横切るものであるか否かを調べるこ
とにより帯状部を検出するようにしたから、前記帯状部
中に、島のようにテストパターン等の該帯状部とは異な
る画像情報の得られるものが存在した場合でも前記帯状
部を確実に、しかも高速で検出することができろという
効果がある。
第１図はこの発明の一実施例を示すストリート検出装置
の正面図、第２図乃至第５図はこの発明のストリート検
出の原理を説明する説明図、第６図及び第７図は従来の
ストリート検出の原理を説明する説明図である。 ６：ウェハー、７：移動テーブル、８：照明ランプ、９
：拡大レンス、１０：工Ｔｖカメラ、１１：コントロー
ラ、１２：画像処理装置、１５：チツブ、１４：ストリ
ート、１５：テストパターン、１６：視野中心、１７：
視野中心。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す、代理人
弁理士 佐 藤 正 年 第１図
の正面図、第２図乃至第５図はこの発明のストリート検
出の原理を説明する説明図、第６図及び第７図は従来の
ストリート検出の原理を説明する説明図である。 ６：ウェハー、７：移動テーブル、８：照明ランプ、９
：拡大レンス、１０：工Ｔｖカメラ、１１：コントロー
ラ、１２：画像処理装置、１５：チツブ、１４：ストリ
ート、１５：テストパターン、１６：視野中心、１７：
視野中心。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す、代理人
弁理士 佐 藤 正 年 第１図
Claims (1)
- ストリート等の帯状部を有するウェハー等が取り付け
られるテーブルと、該テーブルに取り付けられたウェハ
ー等の帯状部の存る面を照射する照明手段と、該帯状部
の存る面を監視するＩＴＶカメラと、該カメラにより得
られた画像情報を処理する画像情報処理装置とを備え、
該画像情報処理装置により前記の画像情報中における帯
状部に相当するところが、前記画像情報により形成され
た画面を横切るものであるか否かを、所定範囲の方向か
ら連続的に調べ、この画面を横切る帯状部が検知されな
いときには、上記テーブルとカメラとの相対位置を移動
して前記ウェハー等上における画像情報を得る位置を変
え、再度帯状部に相当するところが前記画面を横切るも
のであるか否かを調べることにより帯状部を検出するよ
うにしたことを特徴とする帯状部検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60263686A JPS62124751A (ja) | 1985-11-26 | 1985-11-26 | 帯状部検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60263686A JPS62124751A (ja) | 1985-11-26 | 1985-11-26 | 帯状部検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62124751A true JPS62124751A (ja) | 1987-06-06 |
Family
ID=17392929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60263686A Pending JPS62124751A (ja) | 1985-11-26 | 1985-11-26 | 帯状部検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62124751A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999066543A1 (fr) * | 1998-06-15 | 1999-12-23 | Nikon Corporation | Procedes et dispositif de detection de position et d'exposition, realisations et procedes de fabrication correspondants |
-
1985
- 1985-11-26 JP JP60263686A patent/JPS62124751A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999066543A1 (fr) * | 1998-06-15 | 1999-12-23 | Nikon Corporation | Procedes et dispositif de detection de position et d'exposition, realisations et procedes de fabrication correspondants |
| US6985209B2 (en) | 1998-06-15 | 2006-01-10 | Nikon Corporation | Position detecting method, position detecting apparatus, exposure method, exposure apparatus, making method thereof, and device and device manufacturing method |
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