JPS62124086A

JPS62124086A - レ−ザトリミング装置

Info

Publication number: JPS62124086A
Application number: JP60262973A
Authority: JP
Inventors: Yoshiaki Nakajima; 中島　義昭
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1985-11-22
Filing date: 1985-11-22
Publication date: 1987-06-05

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明はレーザトリミング装置に関し、特に厚膜抵抗体
ヲトリミングするための、ガルバノメータ形オプティカ
ルスキャナ方式の加工光学系をもつレーザトリミング装
置に関する。

（従来技術）従来、この種のレーザトリミング装置は、トリミング用
レーザ光線を照射するトリミング位置で、レーザ光線の
照射の可否や、抵抗値の良否判定を行っていた。

（発明が解決しようとする問題点）上述したように従来のレーザトリミング装置は、トリミ
ングのためのレーザ光線を照射するトリミング位置で抵
抗値計測用のプローブを使用しているが、この場合のプ
ローブはレーザ光線が抵抗体に達するまでの光路に対し
て障害とならない様に配置する必要がある。しかし厚膜
抵抗体のパターンが微細になってくると、電極や抵抗体
の間隔が狭くなり、レーザ光線の通過に対して障害とな
らない様にプローブを配置しようとすると、１度に広範
囲にプローブを配置することが困難となる欠点がある。

レーザ光線を走査させるためのガルバノメータ形オプテ
ィカルスキャナ方式の加工光学系ｈ、スキャンエリア７
５Ｘ７５ｍｇ角がすでに実用化されているが、プローブ
の配置により１度に走査出来るスキャンエリアが制限さ
れるのが欠点である。

トリミングを行うには、基板内に形成される同一してプ
ローブを配置し、残りの同一パターンのトリミングに対
しては、プローブ側あるいは基板側を移動させるステッ
プアンドリピート動作によってトリミングを行っていた
が、このステップアンドリピート時にはトリミングに不
可欠のレーザ光線の照射は行われないため、トリミング
に対してステップアンドリピート動作の時間は無効時間
となり、処理能力を低下させるという欠点があった。

（問題点を解決するための手段）本発明のレーザトリミング装置は、厚膜抵抗体のトリミ
ングを行う前に抵抗値を計測する測定部と、抵抗値の計
測を行わないでトリミングを行うトリミング部と、トリ
ミングを行ったあとの抵抗値の良否判定を行う判定部と
をそれぞれ独立に設けることにより、トリミング部にお
いてガルバノメータ形オプティカルスキャナ方式の加工
光学系のスキャンエリアを最大限に活用し、ステップア
ンドリピート動作をなくし、トリミングに対する無効時
間を削減し、処理時間の向上を図ったものである。

（実施例）次に、本発明について図面を参照して実施例につき説明
する。

図面は本発明の１実施例のブロック図である。

トリミングする基板をターンテーブル１８の測定部９に
乗せて、測定用プローブカード７、測定・判定切替部６
　、ＤＣスキャナ部５．抵抗測定・判定部４により、ト
リミング前の抵抗値を測定し、その測定結果をコントロ
ーラ３を経由してマイクロコンピュータ２へ入力し、か
つその測定値より各抵抗体の最適トリミング条件を演算
部１′／ｃより演算し各抵抗体のトリミング長と決定す
る。

測定部９で測定が終了した基板は、ターンテーブル１８
がターンテーブル駆動部１２により１１駆動されて１２
０°回転し、トリミング部１０に搬送される。このトリ
ミング部は抵抗値計測のためのプローブ等は有していな
い。前述の演算結果に基づ〈最適トリミング条件とトリ
ミング長がマイクロコンピュータ２より出力され、レー
ザ発振器部１４及びガルバノメータ形オプティカルスキ
ャナ、駆動部１３を経由してガルバノメータ形オプティ
カルスキャナ方式の加工光学系１６に入力され、レーザ
発振器部１４より出射されたレーザ光線１５が、ガルバ
ノメータ形オプティカルスキャナ方式の加工光学系１６
により集光されたレーザ光線１７により基板の抵抗体を
トリミングする。トリミングが終了した基板は、ターン
テーブルエ８が再び１２０°回転して判定部１１へ搬送
され１判定用プローブカード８により各抵抗体の良否判
定を行う。

（発明の効果）以上説明したように本発明は、トリミングを行う前の抵
抗値を計測する測定部と、抵抗値の計測を行わないでト
リミングを行うトリミング部と、トリミングを行ったあ
との抵抗値の良否判定を行う判定部とをそれぞれ独立さ
せることにより、前記測定部ではレーザ光線の光路を考
慮することなく計測用のプローブを配置することができ
るために、一度に広範囲の測定が可能となる。トリミン
グ部では、計測用のプローブがない為に加工光学系のス
キャンエリアの全域が常に利用可能となる。

判定部ではレーザ加工知よる熱影響から一定時間をおい
なのちに判定を行うため、正確な良否判定ができる効果
がある。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の１実施例を示すレーザトリミング装置の
ブロック図である。１・・・演算部、　　　２・・・マイクロコンピュータ
部、３・・・コントローラ部、　　４・・・抵抗測定・
判定部、５・・・ＤＣスキャナ部、　６・・・測定・判
定切替部、７・・・測定用プローブカード、８・・・判定用プローブカード、９・・・測定部、　　　　１０・・・トリミング部、１
１・・・判定部、　　　１２・・・ターンテープ駆動部
、１３・・・ガルバノメータ形オプティカルスキャナ駆
動部。１４・・・レーザ発振器部、　　１５・・・レーザ光線
、１６・・・ガルバノメータ形オプティカルスキャナ方
式の加工光学系、１７・・・レーｆ！１．　　　ｔｓ・・・ターンテーブ
ル。

Claims

【特許請求の範囲】

厚膜抵抗体を所定の抵抗値にトリミングをするために、
ガルバノメータ形オプティカルスキヤナ方式の加工光学
系をもつレーザトリミング装置に於いて、トリミングの
ためのレーザ光線照射時に抵抗値計測を行わないトリミ
ング部を有することを特徴とするレーザトリミング装置
。