JPS62119977A - 光−電気変換器の製造方法 - Google Patents
光−電気変換器の製造方法Info
- Publication number
- JPS62119977A JPS62119977A JP60259321A JP25932185A JPS62119977A JP S62119977 A JPS62119977 A JP S62119977A JP 60259321 A JP60259321 A JP 60259321A JP 25932185 A JP25932185 A JP 25932185A JP S62119977 A JPS62119977 A JP S62119977A
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- JP
- Japan
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- optical fiber
- optical
- sleeve
- electrode
- resist
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4202—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details for coupling an active element with fibres without intermediate optical elements, e.g. fibres with plane ends, fibres with shaped ends, bundles
- G02B6/4203—Optical features
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4202—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details for coupling an active element with fibres without intermediate optical elements, e.g. fibres with plane ends, fibres with shaped ends, bundles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く産業上の利用分野〉
この光明は、光−電気変換器の製造方法に関し、さらに
詳細にいえば、光ファイバにより導いた光に対応する電
気信号を出力する光−電気変換器の製造方法に関する。
詳細にいえば、光ファイバにより導いた光に対応する電
気信号を出力する光−電気変換器の製造方法に関する。
〈従来の技術〉
従来から、光−電気変換器として、光を導く光ファイバ
と、光に対応する電気信号を出力する受光素子とからな
る構成のものが種々提供されている。
と、光に対応する電気信号を出力する受光素子とからな
る構成のものが種々提供されている。
第３図Ａ−Ｃは、それぞれ従来の光−電気変換器の構成
を示している。
を示している。
同図Ａは、受光素子としてのフォトダイオード（１１ン
の内実部まで光ファイバ（１２）を差込んで一体的に結
合させた構成のものであり、製造方法としては、フォト
ダイオード（１１）の表面をエツチングした後、光ファ
イバ（１２）を差込む方法と、フォトダイオードを製造
する工程の途中から光ファイバを組込む方法とがある。
の内実部まで光ファイバ（１２）を差込んで一体的に結
合させた構成のものであり、製造方法としては、フォト
ダイオード（１１）の表面をエツチングした後、光ファ
イバ（１２）を差込む方法と、フォトダイオードを製造
する工程の途中から光ファイバを組込む方法とがある。
尚、（１３）は電極、（１４）は活性層、（１５）は窓
である。
である。
同図Ｂは、フォトダイオード（１１）の表面に、光ファ
イバ（１２）を調心状態で位置決めしてＭＡ脂（１６）
により固定したものである。
イバ（１２）を調心状態で位置決めしてＭＡ脂（１６）
により固定したものである。
同図Ｃは、バックイルミネーション方の受光素子（２１
）をサファイア基板（２３）の上に実装しサファイア基
板（２３）の下面に、光ファイバ（２２）を調心状態で
位置決めして、樹脂（２４）により固定したものである
。尚、（２５）は電極である。
）をサファイア基板（２３）の上に実装しサファイア基
板（２３）の下面に、光ファイバ（２２）を調心状態で
位置決めして、樹脂（２４）により固定したものである
。尚、（２５）は電極である。
〈発明が解決しようとする問題点〉
上記第３図Ａの光−電気変換器であれば、無調心である
が、フォトダイオードと光ファイバが直接接触している
ため、機械的に極めてもろく、特に振動、衝撃に弱いと
いう問題がある。
が、フォトダイオードと光ファイバが直接接触している
ため、機械的に極めてもろく、特に振動、衝撃に弱いと
いう問題がある。
また、第３図Ｂの光−電気変換器であれば、樹脂により
光ファイバを固定しているのみであるから、機械的に弱
いのみならず、調心が困難であるという問題がある。
光ファイバを固定しているのみであるから、機械的に弱
いのみならず、調心が困難であるという問題がある。
さらに第３図Ｃの光−電気変換器であれば、樹脂により
光ファイバを固定しているのみであるから、機械的に弱
いのみならず、調心が困難であるという問題がある。即
ち、何れの構成のものにおいても、光ファイバより受光
素子が大きいので、調心、機械的強度、組立性の面で不
十分なものであった。
光ファイバを固定しているのみであるから、機械的に弱
いのみならず、調心が困難であるという問題がある。即
ち、何れの構成のものにおいても、光ファイバより受光
素子が大きいので、調心、機械的強度、組立性の面で不
十分なものであった。
〈発明の目的〉
この発明は上記の問題点に鑑みてなされたちのであり、
無調心で、しかも機械的に強い光−電気変換器を製造す
る方法を提供することを目的としている。
無調心で、しかも機械的に強い光−電気変換器を製造す
る方法を提供することを目的としている。
く問題点を解決するための手段〉
上記の目的を達成するためのこの発明の光−電気変換器
の製造方法は、光ファイバをスリーブに挿通、固定した
状態で、光ファイバおよびスリーブの一側面を研磨して
得た研磨面に感光性レジストを塗布し、光ファイバの他
端から光を導いて、形成した光フィバのコアに正対する
レジストパターン以外の領域に電極を形成し、次いでバ
ックイルミネーション受光素子をダイボンドするもので
ある。
の製造方法は、光ファイバをスリーブに挿通、固定した
状態で、光ファイバおよびスリーブの一側面を研磨して
得た研磨面に感光性レジストを塗布し、光ファイバの他
端から光を導いて、形成した光フィバのコアに正対する
レジストパターン以外の領域に電極を形成し、次いでバ
ックイルミネーション受光素子をダイボンドするもので
ある。
〈作用〉
上記の光−電気変換器の製造方法であれば、光ファイバ
をスリーブに挿通、固定して、光ファイバの取付の機械
的強度を確保した状態で、光ファイバ、およびスリーブ
の一側面を研磨してバックイルミネーション受光素子取
付面を形成し、この面に感光性レジストを塗布し、光フ
ァイバを通して光を導くことにより、光ファイバのコア
に正対するレジストパターンを形成し、このレジストパ
ターンを利用して、光ファイバのコアと正確に一致する
透光部を有する電極を形成し、最優にバックイルミネー
ション受光素子をダイボンドすることにより光−電気変
換器を臂ることができる。
をスリーブに挿通、固定して、光ファイバの取付の機械
的強度を確保した状態で、光ファイバ、およびスリーブ
の一側面を研磨してバックイルミネーション受光素子取
付面を形成し、この面に感光性レジストを塗布し、光フ
ァイバを通して光を導くことにより、光ファイバのコア
に正対するレジストパターンを形成し、このレジストパ
ターンを利用して、光ファイバのコアと正確に一致する
透光部を有する電極を形成し、最優にバックイルミネー
ション受光素子をダイボンドすることにより光−電気変
換器を臂ることができる。
く実施例〉
以下、実施例を示す添付図面によって詳細に説明する。
第１図Ａ−Ｆはこの発明の光−電気変換器の製造方法を
説明する図である。
説明する図である。
第１図Ａはスリーブ（１）の中央部に形成した貫通孔（
１ａ）に、光ファイバ＋２）を挿通し、樹脂、またはソ
ルダ（３）により固定した状態を示している。
１ａ）に、光ファイバ＋２）を挿通し、樹脂、またはソ
ルダ（３）により固定した状態を示している。
この状態において、スリーブ（１）および光ファイバ（
２）の−側面（図において上側の面）を研磨して得た研
磨面（１Ｃ）に感光性レジスト（４）を所定厚みに塗布
する（同図Ｂ参照）。
２）の−側面（図において上側の面）を研磨して得た研
磨面（１Ｃ）に感光性レジスト（４）を所定厚みに塗布
する（同図Ｂ参照）。
そして、光ファイバ［２１を通して光を導くことにより
、コア（２ａ）に正対する位置における感光性レジスト
（４）のみを感光させ（４ａ）、感光してない感光性レ
ジスト（４）を除去して、コア（２ａ）に正対するレジ
ストパターン（４ａ）のみを残存させ（同図Ｃ参照）、
蒸着法により、コア（２ａ）に正対する位置以外の部分
に電極（５）を形成し、レジストパターン（４ａ）を除
去する（同図り参照）。
、コア（２ａ）に正対する位置における感光性レジスト
（４）のみを感光させ（４ａ）、感光してない感光性レ
ジスト（４）を除去して、コア（２ａ）に正対するレジ
ストパターン（４ａ）のみを残存させ（同図Ｃ参照）、
蒸着法により、コア（２ａ）に正対する位置以外の部分
に電極（５）を形成し、レジストパターン（４ａ）を除
去する（同図り参照）。
その俊は、バックイルミネーション受光素子（６）をダ
イボンドすることにより実装しく同図Ｅ参照）、スリー
ブ（１）を他の機器（図示せず）に組込み同図Ｆに示す
ように外部電極（７）と上記バックイルミネーション受
光素子（６）の電極（６ａ）とをワイヤ（８）で接続す
ることにより、光−電気変換器の製造、組込みを完了す
る。
イボンドすることにより実装しく同図Ｅ参照）、スリー
ブ（１）を他の機器（図示せず）に組込み同図Ｆに示す
ように外部電極（７）と上記バックイルミネーション受
光素子（６）の電極（６ａ）とをワイヤ（８）で接続す
ることにより、光−電気変換器の製造、組込みを完了す
る。
尚、以上の実施例において、スリーブ（１）としては、
バックイルミネーション受光素子（６）の熱膨張率と近
似する熱膨張率を有する材質、例えばセラミック、Ｃｕ
Ｗ等で形成したものを使用することが好ましい。
バックイルミネーション受光素子（６）の熱膨張率と近
似する熱膨張率を有する材質、例えばセラミック、Ｃｕ
Ｗ等で形成したものを使用することが好ましい。
以上のようにして得られた光−電気変換器は、無調心で
あり、しかも機械的強度が優れたものであった。
あり、しかも機械的強度が優れたものであった。
第２図は他の実施例を示す概略図であり、スリーブ（１
ンの厚みを簿くするとともに、大径化している。
ンの厚みを簿くするとともに、大径化している。
この実施例においては、大面積化した研磨面（１Ｃ）に
、電極パターン（９）を形成して、バックイルミネーシ
ョン受光素子（２）以外のデバイス（９ａ） （例えば
プリアンプ等）を実装している。
、電極パターン（９）を形成して、バックイルミネーシ
ョン受光素子（２）以外のデバイス（９ａ） （例えば
プリアンプ等）を実装している。
また、この実施例においては、スペース的にゆとりがあ
るため、外部との電気的接続を簡単に行なうことができ
る。
るため、外部との電気的接続を簡単に行なうことができ
る。
また、上記電極パターン（９）の形成は、バックイルミ
ネーション受光素子（ｚ用の電極（５）を−形成する際
に同時に行なうことができ、この場合における位置合せ
許容誤差を大きくすることができ、さらにバックイルミ
ネーション受光素子（２］との電気的接続をワイヤリン
グにより行なうことにすれば、位置合せ許容誤差を一層
大きくすることができる。
ネーション受光素子（ｚ用の電極（５）を−形成する際
に同時に行なうことができ、この場合における位置合せ
許容誤差を大きくすることができ、さらにバックイルミ
ネーション受光素子（２］との電気的接続をワイヤリン
グにより行なうことにすれば、位置合せ許容誤差を一層
大きくすることができる。
〈発明の効果〉
以上のようにこの発明は、光ファイバを挿通、固定した
状態でバックイルミネーション受光素子取付面を形成す
るので機械的強度を向上させることができ、しかも、上
記光ファイバのコアと正対する位置を除いて電極を形成
し、バックイルミネーション受光素子をダイボンドする
ので、無調心とすることができ、全体として光−電気変
換器の組立性を向上させることができるという特有の効
果を奏する。
状態でバックイルミネーション受光素子取付面を形成す
るので機械的強度を向上させることができ、しかも、上
記光ファイバのコアと正対する位置を除いて電極を形成
し、バックイルミネーション受光素子をダイボンドする
ので、無調心とすることができ、全体として光−電気変
換器の組立性を向上させることができるという特有の効
果を奏する。
第１図はこの発明の光−電気変換器の製造方法を説明す
る図、 第２図はこの発明の方法により得られた光−電気変換器
の他の構成を示す概略図、 第３図は従来の光−電気変換器の構成を示す縦断面図。 （１）・・・スリーブ、（′２Ｊ・・・光ファイバ０、
（２ａ）・・・コア、（４）・・・感光性レジスト、（
４ａ）・・・レジストパターン、（５）・・・電極、（
６１・・・バックイルミネーション受光素子（Ａ）
（Ｂ） （Ｃ）
る図、 第２図はこの発明の方法により得られた光−電気変換器
の他の構成を示す概略図、 第３図は従来の光−電気変換器の構成を示す縦断面図。 （１）・・・スリーブ、（′２Ｊ・・・光ファイバ０、
（２ａ）・・・コア、（４）・・・感光性レジスト、（
４ａ）・・・レジストパターン、（５）・・・電極、（
６１・・・バックイルミネーション受光素子（Ａ）
（Ｂ） （Ｃ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、光ファイバをスリーブに挿通、固定し た状態で、光ファイバおよびスリーブの 一側面を研磨して得た研磨面に感光性レ ジストを塗布し、光ファイバの他端から 光を導いて、形成した光ファイバのコア に正対するレジストパターン以外の領域 に電極を形成し、次いでバックイルミネ ーション受光素子をダイボンドすること を特徴とする光−電気変換器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60259321A JPS62119977A (ja) | 1985-11-19 | 1985-11-19 | 光−電気変換器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60259321A JPS62119977A (ja) | 1985-11-19 | 1985-11-19 | 光−電気変換器の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62119977A true JPS62119977A (ja) | 1987-06-01 |
Family
ID=17332456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60259321A Pending JPS62119977A (ja) | 1985-11-19 | 1985-11-19 | 光−電気変換器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62119977A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002100785A (ja) * | 2000-07-18 | 2002-04-05 | Infineon Technologies Ag | 表面実装可能なオプトエレクトロニクスモジュールおよび該オプトエレクトロニクスモジュールを有するオプトエレクトロニクス結合ユニット |
| JP2008200495A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Ick Hwan Shin | 携帯用ゴルフパッティング演習マット |
-
1985
- 1985-11-19 JP JP60259321A patent/JPS62119977A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002100785A (ja) * | 2000-07-18 | 2002-04-05 | Infineon Technologies Ag | 表面実装可能なオプトエレクトロニクスモジュールおよび該オプトエレクトロニクスモジュールを有するオプトエレクトロニクス結合ユニット |
| JP2008200495A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Ick Hwan Shin | 携帯用ゴルフパッティング演習マット |
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