JPS62118205A - ヘツド浮上量測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 以下の順序で本発明を説明する。

Ａ産業上の利用分野 Ｂ発明の概要 Ｃ従来の技術 り発明が解決しようとする問題点 Ｅ問題点を解決するための手段（第１図及び第６図） Ｆ作用（第１図及び第６図） Ｇ実施例（第１図〜第７図） Ｈ発明の効果 Ａ産業上の利用分野 本発明はヘッド浮上量測定装置に関し、例えばヘッド部
の浮上姿勢情報を得るようにしたものである。

Ｂ発明の概要 本発明は回転するディスクと、このディスクの表面に生
ずる空気流を利用して浮上するように配設されたヘッド
部との間に生ずる光学的干渉縞によって上記ヘッド部の
浮上量を測定するヘッド浮上量測定装置において、撮像
装置が撮像した光学的干渉縞情報（干渉光量情報）を多
数のエレメントに分割してメモリに記憶し、各エレメン
トの干渉光量情報ごとに浮上量を演算してヘッド部のス
ライド面全面における浮上量を得るようにすることによ
り、ヘッド部の浮上姿勢、浮上状態等、すなわちヘッド
部やバネ系の全体を評価させ得るようにしたものである
。

Ｃ従来の技術 いわゆるハードディスクを用いた情報記録再生装置にお
いては、高速回転する磁気ディスクに対して磁気ヘッド
を微小空隙を保って対向させるようにすることにより、
磁気ディスク上に情報を高密度記録し又は再生できるよ
うな工夫がされており、従来、微小空隙を保って磁気ヘ
ッドを磁気ディスク表面に対向させる手段として、磁気
ディスクがその高速回転に伴って連れ回る空気流によっ
て磁気ヘッドを浮上させる方法が採用されている。

この種の情報記録再生装置において、磁気ヘッドを浮上
させた際に、その浮上態様を詳細に把握する手段があれ
ば、ヘッドが設計値通りに安定に浮上しているか否かを
評価したり、ヘッドの問題点を改善するための手段を講
する際に有効であると考えられる。

このような考え方に基づいて、ヘッドの浮上安定性を測
定する装置が、特開昭６０−１２４０７１号公報及び特
開昭６０−１２４０７２号公報に開示されている。

Ｄ発明が解決しようとする問題点 この従来の浮上安定性測定装置は、いずれも磁気ヘッド
が対向すべき高速回転する磁気ディスクに代えて磁気デ
ィスクと等価であると考えられるほぼ同一形状の透明ガ
ラス板を用意し、白色光線をこの透明ガラス板を介して
磁気ヘッドに照射し、磁気ヘッド及び透明ガラス板間に
ヘッド浮上による空隙があるために生ずる光学的色干渉
に基づき浮上安定性を測定しようとしたものであり、さ
らに、この光学的色干渉をビデオカメラによって撮像し
て記録手段により記憶するようにしている。

ところで、この従来の安定性測定装置は光学的色干渉を
利用し、撮像された色パターンを基準の色パターンと比
較してヘッドの浮上量を測定するものであるので浮上量
として高精度のものを得ることができない。

そこで、従来、単色光を用いてより高精度に浮上量を検
出できるようにしたものが提案されている（特願昭６０
−３２３８８号明細書）。これは単色光を透明ガラス板
を介して磁気ヘッドに照射することにより生ずる光学的
干渉縞に基づき、縞次数、単色光の波長、観測点の干渉
光の強度から観測点における浮上量を測定するようにし
たものである。

情報記録再生装置としては、記録及び再生が適確に行わ
れるか否かが重要な観点であり、従って、例えば、ヘッ
ドのギャップ位置のような特定点の浮上量が問題となり
、上述のように特定の観測点における浮上量を高精度に
測定できることは有効である。

しかしながら、ヘッド部を評価したり、ヘッド部を固着
しているバネ系を評価したりしようとした場合には、特
定点の浮上量だけでは十分な評価はできない、従来の装
置においてはテレビジョンカメラによりヘッド部のスラ
イド面全体から輝度情報を得るようにしているので、こ
れら情報を有効に利用すればヘッド部の評価やバネ系の
評価をより適確になし得ると考えられる。

本発明は以上の点を考慮してなされたもので、テレビジ
ョンカメラから取り込んだ情報を最大限有効に利用し、
ヘッド部やバネ系の全体の評価をより適確になし得るよ
うにしたヘッド浮上量測定装置を提供しようとしたもの
である。

Ｅ問題点を解決するための手段 かかる問題点を解決するため本発明においては、回転す
るディスク３と、このディスク３の表面に生ずる空気流
を利用して浮上するように配設されたヘッド部４との間
に生ずる光学的干渉縞によって、ヘッド部４の浮上量を
測定するヘッド浮上量測定装置１において、光学的干渉
縞を撮像する撮像装置２４と、撮像装置２４による干渉
光量情報を多数のエレメントに分割して各エレメントご
とに記憶するメモリ　（５０）と、記憶されている各エ
レメントの干渉光量情報ごとに浮上量を演算する浮上量
演算手段１５と、ヘッド部４のスライド面４Ｌ及び４Ｒ
全面における演算された浮上量を出力する出力手段（３
５，３６，５２）とを具えた。

Ｆ作用 撮像装置２４が撮像した光学的干渉縞情報（干渉光量情
報）を多数のエレメントに分割してメモＵ（５０）に記
憶し、各エレメントの干渉光量情報を浮上量演算手段１
５が演算してヘッド部４のスライド面４Ｌ及び４Ｒ全面
における浮上量を得るようにした。

その結果、ヘッド部４の浮上姿勢や浮上状態を評価でき
、ひいてはヘッド部４やバネ系（６）を評価できるよう
になった。

Ｇ実施例 以下、図面について本発明の一実施例を詳述する。

第１図において、１は全体として本発明によるヘッド浮
上量測定装置を示し、モータ２によって回転駆動される
透明材料でなる透明ディスク３と対向するようにヘッド
部４か配設され、このヘッド部４が根元部分をヘッド支
持板５に固着されているアーム状の弾性部材６の先端に
固着されている。これにより、ヘッド部４は弾性部材６
によって透明ディスク３の方向に押圧偏倚されている。

ヘッド支持板５は、固定部７に固定されている基台８上
を矢印ａで示す方向（透明ディスク３の半径方向及びそ
の直交方向）に進退する移動ステージ９上に固定され、
移動ステージ９がステージ送りドライバ１０の制御出力
Ｓｌによって矢印ａの方向に進退されると、これに応じ
てヘッド部４が透明ディスク３の半径方向の所定位置に
位置決め制御される。

モータ２は、回転制御回路１）の駆動出力Ｓ２によって
回転駆動され、その出力軸に装着された透明ディスク３
の回転速度に対応するパルス間隔を有するパルス出力Ｓ
３を回転センサ１２において発生し、これをタコメータ
１３によって回転速度に相当する直流レベルに変換し、
さらにディジタル信号に変換して得られる回転速度検出
出力Ｓ４を回転制御回路１）にフィードバックする。

かくしてモータ２に対するサーボ系が形成され、回転制
御回路１）に中央処理ユニット１５から供給される速度
基準信号Ｓ５に対応する速度で、透明ディスク３を高速
回転させるようになされている。

中央処理ユニット１５には、回転速度検出出力Ｓ４が、
モータ２の現在の回転速度を表すデータとして入力され
る。

透明ディスク３は、高速回転する際に、表面に接触して
いる空気流を連れ回ることにより、第２　”図に示すよ
うに、ヘッド部４と透明ディスク３の表面との間に空気
流ＡＲを発生し、ヘッド部４はこの空気流ＡＲによって
浮上刃を与えられ、かくしてヘッド部４が弾性部材６の
押圧力に抗して透明ディスク３から離れる方向に浮上す
る。

ヘッド部４は空気流ＡＲに対して必要に応じて所定量だ
け浮上し得るような第３図に示す構成を有する。

ヘッド部４は横断面が凹状のスライダ４Ａを有し、表面
上に透明ディスク３の表面に対向する一対のスライド面
４Ｌ及び４Ｒが形成されている。

スライド面４Ｌ及び４Ｒは空気流ＡＲに沿う方向に溝４
Ｂを挟んで平行に延長し、その表面は鏡面仕上げされて
いる。

スライド面４Ｌ及び又は４Ｒの後端部には、磁気ヘッド
４Ｃが装着されている。第３図の場合のヘッド部４は１
つの磁気ヘッド４ｃを含んでなるブロックを、一方のス
ライド面４Ｒの後縁部に穿設された切り溝４Ｄ内に挿入
され、接着剤によってスライダ４Ａに装着されている。

かかるヘッド部４の構成をモノリシックな構造と呼ぶが
、これに対して第３図において破線で示すように、スラ
イド面４Ｌ側の後縁部にも、ヘッド４Ｅを搭載するいわ
ゆるコンポジット構造にも構成し得る。

スライダ４Ａのスライド面４Ｌ及び４Ｒの先端部には、
斜めに面取りされた空気流流入用斜面４Ｍ及び４Ｎが形
成され、この空気流流入用斜面４Ｍ及び４Ｎから流入し
た空気流ＡＲが、この空気流流入用斜面４Ｍ及び４Ｎを
透明ディスク３がら離す方向に押しながらスライド面４
Ｌ及び４Ｒと、透明ディスク３との間に流れ込むように
なされている。

ここで、スライダ４Ａのスライド面４Ｌ及び４Ｒが鏡面
仕上げされているのに対して、１４Ｂの内表面は鏡面仕
上げされていない。従って、第２図に示すように透明デ
ィスク３の上方から単色照射光■、が照射されたとき、
透明ディスク３を透過した光はスライド面４Ｌ及び４Ｒ
では反射され、溝４Ｂの内表面では乱反射され、かくし
てスライド面４Ｌ及び４Ｒにおいて反射された反射光１
２１と透明ディスク３のヘッド部対向面の内側において
反射された反射光１．とが光学的干渉を起こす。

実際上ヘツド部４は、第２図に示すように、空気流ＡＲ
が流入する前端縁が比較的高く浮き上がるのに対して、
磁気ヘッド４Ｃが搭載されている後端部と、透明ディス
ク３との間の空隙が狭くなる（例えば０．２〜０．３〔
μｍ〕から０．５〔μｍ〕程度まで）ような姿勢で浮上
する。これにより、スライド面４Ｌ及び４Ｒの各位置に
おける反射光Ｉｇ＋及びＩｔ□間の光学的光路差が変化
し、かくして、光学的干渉縞が生ずる。

光源２２から発生される白色光のうち所定の波長の単色
光が色フィルタ２３によってフィルタリングされた後、
顕微鏡２１内に設けられたハーフミラ−２１Ｂで反射さ
れて対物レンズ２１Ａから透明ディスク３に照射光１．
とじて照射される。

その結果光学的干渉を起こした合成反射光（干渉光）Ｒ
は、対物レンズ２１Ａ、ハーフミラ−２１Ｂを通して描
像装置としてのテレビジョンカメラ２４に入射されてラ
スク映像信号ＶＤＩＮに変換される。このラスク映像信
号ＶＤＩＮはモニタ３０に与えられ、第４図（Ｂ）に示
すように、その表示画面ＤＩＳ上に、スライダ４Ａのス
ライド面４Ｌ、４Ｒと共に、スライド面４Ｌ、４Ｒ上に
発生した光学的干渉縞（暗部をＤＰで示す）を映し出す
。なお、テレビジョンカメラ２４は水平走査方向が撮像
されたスライド面４Ｌ、４Ｒの延長方向に一致するよう
に配設されている。

ここで、テレビジョンカメラ２４としてはガンマ補正回
路及びＡ　Ｇ　Ｃ（ａｕｔｏＩＩＩａｔｉｃ　ｇａｉｎ
　ｃｏｎｔｒｏｌ）回路を有しないものを適用する。本
装置は干渉光Ｒの光量に応じて浮上量を検出するもので
あるので、テレビジョンカメラ２４から送出されるビデ
オ信号Ｖ　Ｄ　Ｉ　Ｎは干渉光Ｒの光量に比例した輝度
情報を有するものであることが必要である。入力信号を
非線形な出力信号に変換するガンマ補正回路やＡＧＣ回
路を有するテレビジョンカメラを適用すると、干渉光Ｒ
の光量と輝度情報とは非線形な関係となりＪ従って、こ
の輝度情報に基づき、検出した浮上量は不正確なものと
なる。そこで、ガンマ補正向路及びＡＧＣ回路等の非線
形回路部分を有しないテレビジョンカメラ２４を適用す
る。

実際上、市販されているテレビジョンカメラはテレビジ
ョン受像機を含めた系全体の線形性を考慮しているため
、ガンマ補正回路等を具えている。

従って、本測定装置にテレビジョンカメラを装着すると
きには装着に先立ち、ガンマ補正回路等の非線形回路を
取り去ることが必要となる。

このテレビジョンカメラ２４から送出されるラスク映像
信号ＶＤ工はＩＨ切取り回路３１に与えられる。ＩＨ切
取り回路３１には中央処理ユニット１５からモード選択
信号ＳＥＬが与えられており、モード選択信号ＳＥＬが
特定点浮上量検出モードを表しているとき、ラスク映像
信号ＶＤ１．から１本の走査ライン分の映像信号を抜き
取るようになされ、そのＩＨ映像信号をアナログ／ディ
ジタル変換回路３２においてディジタル信号に変換して
画像処理回路５０を介して中央処理ユニット１５に取り
込ませる。このＩＨ映像信号は、第４図（Ｂ）に示すよ
うに、表示画面ＤＩＳのうち、スライド面４Ｌ又は４Ｒ
の一方（例えば４Ｒ）上の１本の走査ラインＳＣＨによ
って抽出された映像信号を内容とし、かくしてこのＩＨ
映像信号から干渉縞の位置及び干渉縞の間隔についての
データを、中央処理ユニット１５に取り込むことができ
るようになされている。

なお、モニタ３０の表示画面ＤＩＳ上に、走査ラインＳ
ＣＨを表示させるための表示信号Ｓ７がＩＨ切取り回路
３１からモニタ３０に与えられる。

また、ＬＨ切取り回路３１はモード選択信号ＳＥＬがヘ
ッド部浮上状態検出モードを表しているとき、ラスク映
像信号ＶＤＩＮをそのまま通過させ、アナログ／ディジ
タル変換回路３２においてディジタル信号に変換して画
像処理回路５０内に設けられているフレームメモリに格
納する。このフレームメモリに格納されたデータを中央
処理ユニット１５が必要に応じて取り出して浮上状態を
演算するようになされている。

中央処理ユニット１５はキーボード入力装置５１からの
指令に基づき、到来するデータを外部記憶装置、例えば
ハードディスク３５に蓄積し、必要に応じて読み出して
演算データとして用いたり、フレームメモリに転送した
りすると共に、プリンタ３６によってプリントアウトし
たり、モニタ５２に表示したりする。

中央処理ユニット１５は、かかる光学的干渉縞の明暗に
ついてのデータに基づいて、ヘッド部４のスライド面４
Ｌ及び４Ｒ上の任意の点について、対向する透明ディス
ク３の表面との間の距＃（従って浮上量ｈ）を次のよう
な原理に基づいて演算により求める。

先ず第２図において反射光ｙｇ＋及びＩｔｔを合成して
得られる合成反射光Ｒ（すなわち干渉光）の強度は、次
式 ％式％ で表される。ここで両反射光■、及びＩｔｔの位相差δ
は λ で表され、λは照射される単色光１．の波長（例えば０
．４〜０．８〔μｍ〕程度）、Ｉｔｔはスライダ４への
表面からの反射光ｒｔ、の振幅を表し、Ｉｔｔは透明デ
ィスク３の表面からの反射光１）１の振幅を表すものと
する。

従って単色光の波長λを固定したときの合成反射光Ｒの
値は、スライド面４Ｌ、４Ｒ（第４図（Ｂ））の各部分
について、反射光■ｚ＋及び１．の位相差δ、従って透
明ディスク３の表面からのスライド面４Ｌ、４Ｒの浮上
量ｈ（第４図（Ｃ））に応じた明るさをもっている。

ところで、実際上中央処理ユニット１５に得られる情報
は第４図（Ａ）に示すようなスライド面４Ｒにおける長
手方向の位置Ｘに対する干渉光Ｒの強度の情報である。

ここで、スライド面４Ｒが平面の場合、位置Ｘは浮上ｉ
１ｈと比例関係にある。

任意の点についてみた場合、干渉光Ｒが最も明ろくなる
位置、すなわち最大値Ｒ１，８をとる浮上Ｍ（以下、第
５図上のその点を明点と呼ぶ）における両反射光ｔｘｔ
及びＩｔｔの位相差δは（１）式より明らかなように２
π（ｎ＋１）（ｎは縞次数で、０．１．２・・・・・・
）のときであり、従って、明一点の浮上量り、□　（ｎ
）は次式 ％式％） で表すことができる。また、干渉光Ｒが最も暗くなる位
置、すなわち最小値Ｒｓｉｎをとる浮上量（以下、第５
図上のその点を暗点と呼ぶ）における位相差δは（１）
弐より明らかなように（２ｎ＋ｌ）πのときであり、そ
のときの浮上１ｔｈ、ｉ、　　（ｎ）は次式 ・・・・・・（４） で表すことができる。

この（３）式及び（４）式より明点及び暗点における浮
上ｉ１ｈ（ｍ）は次式のようにλ ｈ　（ｍ）　＝　−ｍ　　　　　　　・・・・・・（５
）長さλ／４の整数倍として表すことができる（ｍは０
．１，２・・・・・・をとるパラメータである）。

ここで、浮上量を観測する任意の座標位置Ｘ０（例えば
ヘッド４Ｃのギャップの座標位置（以下、ヘッド位置と
呼ぶ））の浮上量り、は光量が最大値Ｒ０，の明点にお
ける浮上Ｈｈ　、、、　　（ｎ　）又は光量が最小値Ｒ
＃ｉ、の暗点における浮上量ｈ１．７（ｎ）を基準とし
て明点又は暗点の光量と当該光量との差に応じて定まる
距離を加算して求めることができる。

ところで、中央処理ユニット１５に取り込まれる情報は
光量の大小だけであり、何次（ｎ）の明点か又は暗点か
は一義的に定まらない。そこで、浮上状態の測定に先立
ち中央処理ユニット１５はフィルタ交換指令Ｓ１０を色
フイルタドライバ４３に与えて２枚の色フィルタ２３を
交換し、照射光Ｉ、の波長をλ、及びλ２に変え、各単
色光（λ、とλ２）における明点及び暗点の位置情報か
ら次数ｎ、従って、パラメータｍを予め算定するように
している。これにより、観測するヘッド位置のパラメー
タｍを判定でき、ヘッド位置Ｘ０における浮上量ｈ０を
例えば次式 ％式％（６） により求めることができる。なお、この（６）式におい
て、第１項は当該浮上量り、に近い明点の浮上量ｈｌ（
第５図）を表し、第２項は明点及び暗点の情報（Ｒ，、
、及びＲ，ｔ、　）を補間して求められた明点における
浮上量ｈ１からの偏差分ｈ２を表す。

中央処理ユニット１５はかかる（６）式に従う演算を特
定点浮上量検出モードにおいては例えばキーボード人力
装置５１から指示された特定点について行い、また、ヘ
ッド部浮上杖態検出モードにおいては第６図に示す処理
手順に従いスライダ４Ａのスライド面４Ｌ及び４Ｒの各
点について実行する。

すなわち、中央処理ユニット１５はキーボード入力装置
５１によりヘッド部浮上状態検出モードが選択されると
、ステップＳＰＩにおいて当該プログラムを開始した後
、次のステップＳＰ２において演算に用いる干渉光Ｒの
光量（強度）に応じた画像データとしてハードディスク
３５に既に格納されているものを用いるか、又はテレビ
ジョンカメラ２４より得られるものを用いるかをキーボ
ード入力装ｆｆ５１をセンスすることにより判別する。

ハードディスク３５に既に格納されている画像データを
用いると判別したときには、中央処理ユニット１５はキ
ーボード入力装置５１からステップＳＰ３において、使
用する画像データに関するファイル名を読み出し、次い
で、ステップＳＰ４においてその画像データを得たとき
のモータ２の回転速度、ヘッド部の位置、弾性部材６の
押圧力等の各種パラメータを画像データファイルに対応
するパラメータファイルより読み込み、ステップＳＰ５
でその読み込んだ各種パラメータをモニタ５２に表示し
てステップ５Ｐ２０に進む。

これに対して、上述のステップＳＰ２においてテレビジ
ョンカメラ２４から得た画像データを用いると判別した
ときには、中央処理ユニット１５はステップＳＰ６に進
む。このステップＳＰ６は橋像時の各種パラメータをオ
ペレータがどのように入力したいかを判断するステップ
で、パラメータファイルを利用するか、又は最初から入
力するかをキーボード入力装置５１をセンスして判別す
る。最初から入力し直すと判別することにより、ステッ
プＳＰ６において否定結果を得ると、ステップＳＰ９に
直ちに進み、パラメータファイルを利用すると判別する
ことにより肯定結果を得ると、ステップＳＰ７において
パラメータファイル名を読み込み、ステップＳＰ８にお
いて入力されたファイル名のパラメータファイルから各
種パラメータを読み込んだ後、ステップＳＰ９に進む。

このステップＳＰ９は各種パラメータの値をモニタ５２
上に表示してオペレータにパラメータ値を目視確認させ
るステップで、パラメータファイルを使用しないとして
ステップＳＰ６において否定結果を得て当該ステップに
進んできた場合には各種パラメータの値として初期値を
表示させ、パラメータファイルから読み込まれて当８亥
ステツフ。

に進んできた場合にはその読み込まれた値が表示される
。

次のステップ５ＰＩＯはキーボード入力装置５１から変
更されたパラメータの値を取り込むステップであり、当
該取込み動作を終了すると、次のステップ５ＰＩＩに進
んで、オペレータがパラメータの変更動作を終了させる
終了キーを押したか否かを判断する。終了キーが押され
ないことにより否定結果を得ると、上述のステップ５Ｐ
ＩＯに戻って変更されたパラメータを取り込み、これに
対して終了キーが押されることにより肯定結果を得ると
、次のステップ５Ｐ１２に進んで、中央処理ユニット１
５はＩＨ切取り回路３１及び画像処理回路５０にモード
選択信号ＳＥＬを送出してテレビジョンカメラ２４から
送出されるラスク映像信号ＶＤＩＮを画像処理回路５０
のフレームメモリに取り込ませる。

フレームメモリは第７図（Ａ）に示すように画像を水平
方向Ｈ及び垂直方向■にそれぞれ例えば２５６個に分割
してできる各エレメントＥ　（ｈ、　ｖ）ごとにそのビ
デオ信号を格納する。

このようにフレームメモリを起動させた後、中央処理ユ
ニツ）１５はステップ５Ｐ１３においてモータ２の回転
速度を設定するなど、各種パラメータに応じるように各
部を動作させ、ステップ５Ｐ１４において動作状態が定
常状態になるまで待機し、定常状態になった後にステッ
プ５Ｐ１５においてフレームメモリに対する次の書込み
を禁止し画像を固定する。その後、ステップ５Ｐ１６に
おいてフレームメモリに格納されている画像データをハ
ードディスク３５に転送し、次いで所定数の画像に対す
る画像データが得られたか否かをステップ５Ｐ１７で判
断し、さらに画像を取り込むと判別すると上述のステッ
プ５Ｐ１２に戻り、所定数の画像に対する画像データが
得られたと判別したとき次のステップ５Ｐ２０に進む。

中央処理ユニット１５はステップ５Ｐ２０において１枚
の画像に対する画像データをハードディスク３５から取
り出し、画像処理回路５０のフレームメモリにロードし
、次いで、ステップ５Ｐ２１においてフレームメモリに
ロードされた画像を第７図（Ａ）に示すようにモニタ５
２に表示する。

その後、ステップ５Ｐ２２において、画像処理回路５０
にノイズ除去、平滑化等の画像処理を実行させる。

次に、中央処理ユニット１５はステップ５Ｐ２３におい
て画像処理回路５０に画像データの中から第７図（Ｂ）
に示すようにスライダ４Ａのスライド面４Ｌ及び４Ｒの
部分のデータを取り出させ、次のステップ５Ｐ２４にお
いて中央処理ユニット１５に転送させる。

その後、中央処理ユニット１５はステップ５Ｐ２５にお
いてスライド面４Ｌ及び４Ｒの各点（各エレメント）に
ついて上述の（６）式を実行して浮上量を求め、次のス
テップ５Ｐ２６で求めた浮上量を第７図（Ｃ）に示すよ
うに３次元表示できるようにデータ変換してモニタ５２
に与え表示させる。すなわち、透明ディスク３の面ＤＳ
ＵＲ上にスライド面４Ｌ及び４Ｒが接触しているときの
位置ＰＬ、ＰＲを描き、その上方に演算により求めた浮
上量を結んでできるスライド面４Ｌ及び４Ｒの位置ＰＬ
Ｈ，ＰＲＨを例えばいわゆるワイヤフレームで描き、複
数のエレメントについては位置ＰＬＳＰＲと位置ＰＬＨ
，ＰＲＨとの対応点を結ぶ直線をも描いて表示する。こ
れにより、オペレータは浮上状態を容易に目視ｌｉ１！
認できる。

中央処理ユニット１５は次のステップ５Ｐ２７において
スライド面４Ｌ及び４Ｒの複数のエレメントを特定し、
ステップ５Ｐ２８において、特定したエレメントの浮上
量に基づきローリング角（スライド面４Ｌ及び４Ｒを結
ぶ方向と透明ディスク３の面とのなす角）及びピッチン
グ角（スライド面４Ｌ及び４Ｒの長手方向と透明ディス
ク３の面とのなす角）を演算し、モニタ５２上の３次元
表示の余白部に演算値を表示する。これにより、１枚の
画像から得られた画像データの処理が終了する。

そこで、次のステップ５Ｐ２９において全画像に対する
処理が終了したか否かを判断し、終了していない場合に
は上述のステップ５Ｐ２０に戻って次の画像の画像デー
タを処理するようにし、他方、全ての画像に対する処理
が終了すると次のステップ５Ｐ３０において、画像デー
タをハードディスク３５にそのまま保存しておくか否か
を判断する。

オペレータがキーボード人力袋２５１を介して保存不必
要を指示すると、中央処理ユニット１５はステップ５Ｐ
３０において否定結果を得てステップ５Ｐ３１に進み、
当該画像ファイルをハードディスク３５より消去し、そ
の後ステップ５Ｐ３２に進んで終了メツセージをモニタ
５２に表示させてステップ５Ｐ３３において当該プログ
ラムを終了させる。

これに対して、画像データの保存が指示されると、ステ
ップ５Ｐ３４で当該処理におけるパラメータを有するパ
ラメータファイルをハードディスク３５に書き込み、さ
らにステップ５Ｐ３５においてオペレータにより入力さ
れた日付、時刻、コメント等をハードディスク３５に書
き込み、その後上述のステップ５Ｐ３２に進んで終了メ
ツセージをモニタ５２に表示して当該プログラムをステ
ップＳＰ３３で終了する。

以上の構成において、オペレータが特定点浮上量検出モ
ードを選択すると、中央処理ユニット１５はテレビジョ
ンカメラ２４からのラスタ映像信号ＶＤＩＮをＩＨ切取
り回路３１が切り取って得た映像信号に基づき、特定点
の浮上量を上述の（６）式により演算して検出する。

これに対して、オペレータがヘッド部浮上状態検出モー
ドを選択し、画像データとしてテレビジョンカメラ２４
からの出力を利用するように選択すると、テレビジョン
カメラ２４からのラスタ映像信号ＶＤ１Ｎが画像処理回
路５０のフレームメモリに与えられて格納され、これに
基づき中央処理ユニツ）１５がスライド面４Ｌ及び４Ｒ
の各点についての浮上量を上述の（６）式に基づき演算
して検出する。そして、その検出データに基づき浮上時
におけるスライド面４Ｌ及び４Ｒの状態をモニタ５２上
に表示する。

従って、この実施例によれば単にスライド面上の特定点
の浮上量、浮上安定性を検出し得るだけでなく、ヘッド
部４全体の浮上状態、例えばローリング（横ゆれ）、ピ
ッチング（縦ゆれ）、浮上時の面の変形等を検出し得る
。かくするにつき、ヘッド部４の浮上状態を３次元表示
するようにしたので、オペレータはヘッド部４の浮上状
態を直観的、かつ容易に把握することができ、使い易い
構成となっている。

なお上述においては、透明ディスク３にヘッド部４を対
向させることによって光学的干渉縞を発生させるように
したが、これに代え、不透明ディスク３に対して透明材
料でなるヘッド部４を対向させることにより光学的干渉
縞を発生させるようにした場合にも、上述の場合と同様
の効果を得ろことができる。

また上述においては、スライダ４Ａとして、２つのスラ
イド面４Ｌ、４Ｒを有する構成のものを用いたが、その
数及び形状を必要に応じて変更しても、上述の場合と同
様の効果を得ることができる。

Ｈ発明の効果 以上のように本発明によれば、テレビジョンカメラによ
るラスク映像信号（干渉光量情報）を多数のエレメント
に分割して一旦フレームメモリに記憶し、各エレメント
ごとに浮上量を演算してヘッド部のスライド面全面にお
ける浮上量を得るようにしたので、スライド面上の特定
点における浮上量の評価だけでなく、ヘッド部の浮上姿
勢、浮上状態等の全体的な評価を行い得るヘッド浮上量
測定装置を容易に得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるヘッド浮上量測定装置の一実施例
を示すブロック図、第２図はそのヘッド部４の浮上原理
及び光学的干渉縞の発生の説明に供する路線図、第３図
はヘッド部４の詳細構成を示す路線的斜視図、第４図は
ヘッド部４のスライド面４Ｌ及び４Ｒ上に発生する光学
的干渉縞の説明に供する路線図、第５図はヘッド浮上量
と光学的干渉縞との関係を示す特性曲線図、第６図はヘ
ッド部浮上状態検出モードにおける中央処理ユニット１
５の処理手順を示すフローチャート、第７図はヘッド部
浮上状態検出モードの動作の説明に供する路線図である
。 ｌ・・・・・・ヘッド浮上量測定装置、２・・・・・・
モータ、３・・・・・・透明ディスク、４・・・・・・
ヘッド部、５・・・・・・ヘッド支持板、６・・・・・
・弾性部材、１５・・・・・・中央処理ユニット、２１
・・・・・・顕微鏡、２２・・・・・・光源、２３・・
・・・・色フィルタ、２４・・・・・・テレビジョンカ
メラ、３０．５２・・・・・・モニタ、３１・・・・・
・ＩＨ切取り回路、３２・・・・・・アナログ／ディジ
タル変換回路、３５・・・・・・ハードディスク、３６
・・・・・・プリンタ、５０・・・・・・画像処理回路
（フレームメモリを含む）、５１・・・・・・キーボー
ド入力装置。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）回転するディスクと、このディスクの表面に生ず
   る空気流を利用して浮上するように配設されたヘッド部
   との間に生ずる光学的干渉縞によつて、上記ヘッド部の
   浮上量を測定するヘッド浮上量測定装置において、 上記光学的干渉縞を撮像する撮像装置と、 上記撮像装置による干渉光量情報を多数のエレメントに
   分割して上記各エレメントごとに記憶するメモリと、 記憶されている上記各エレメントの上記干渉光量情報ご
   とに浮上量を演算する浮上量演算手段と上記ヘッド部の
   スライド面全面における演算された上記浮上量を出力す
   る出力手段と を具えたことを特徴とするヘッド浮上量測定装置。
2. （２）上記出力手段が、上記ヘッド部のスライド面全面
   における演算された上記浮上量を３次元表示する表示装
   置であることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
   のヘッド浮上量測定装置。