JPS62113072A - 表面電位検出装置 - Google Patents

表面電位検出装置

Info

Publication number
JPS62113072A
JPS62113072A JP25441185A JP25441185A JPS62113072A JP S62113072 A JPS62113072 A JP S62113072A JP 25441185 A JP25441185 A JP 25441185A JP 25441185 A JP25441185 A JP 25441185A JP S62113072 A JPS62113072 A JP S62113072A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
output
measured
circuit
electrodes
surface potential
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP25441185A
Other languages
English (en)
Inventor
Akira Kumada
明 久万田
Mitsuhiro Murata
充弘 村田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP25441185A priority Critical patent/JPS62113072A/ja
Priority to US06/929,410 priority patent/US4724393A/en
Publication of JPS62113072A publication Critical patent/JPS62113072A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、被測定表面と検知電極間の距離の変動に基
づく出力変動を低減し得る手段を備えた表面電位検出装
置に関り′る。
[従来の技術] 非接触に被測定表面の電位を検出する装置としては、チ
ョッパ式のものあるいG、を振動室吊型のものなどが周
知である。しかしながら、いずれの形式の検出装置にお
いても、被測定表面と検知電極との間の距離の変動によ
り、出力が変化することを避けることはできなかった。
これは、いずれも被測定表面と検知電極との間の容量結
合により検知電極上に誘起される電荷の変動に基づき、
その表面電位を検出するものだからである。
そこで、従来より、検知電極の近傍に補正用の電極を設
け、補止用電極から得られる出力をフィードバックし距
離依存性を減少させ8試みや、あるいは特開[156−
4062号に開示されているようにチ日ツバ型の表面電
位検出装dのチ」ツバに検知電極の出力をフィードバッ
クし、距離依存性を減少させるものが提案されている。
[発明が解決しようとする問題点] しかしながら、上述の距離依存性を減少させる構成′C
″【よ、補1「回路の構成が複雑となっており、また高
電圧の信号を帰還させるため絶縁が回動であるとい゛う
問題があった。のみならず、表面電位検出装置自体も大
型となり、したがって組み込む1j31 :’AjにI
R付ススペースさほどない場合、たとえば複写機の感光
ドラム周辺に実装する場合などで(ま、現実に(5L取
付けが困難であるという問題もあった。
J、−)で、この発明の目的は、比較的簡単な構成で、
検知電極と被測定表面との間の距離の変動に基づく出力
変動を効果的に低減し得る4M造を備えts表面電位検
出装置を提供することにある。
E問題点を解決するだめの手段」 この発明の表面電位検出波dでは、検知電極として第1
および第2の検知電極を備え、この第1および第2の検
知電極は、測定表面との間の距離がyIiなるようにず
らされて設けられている。そして、この第1および第2
の検知電極上に誘起された電荷に基づく出力の比をとり
、該比に基づきいずれかの検知電極に基づく出力を補正
することにより、検知電極と被測定表面との間の距離の
変IJ+に基づく出力変動分を補正するものC゛ある。
このように、第1および第2の検知電極に基づく出力の
比を利用することにより被測定表面と検知電極との間の
距離依存性を低減し冑るの1よ、侵)ホづる式(7)お
よび(8)で示すように、該出力比が被測定表面と検知
電極との間の距離のみの関数となるからである。
一1二述の補正を行なうために、この発明の表面電位検
出装置は、第1および第2の検知@極トに誘起された電
荷を電圧信号として取出す第1および第2の検出手段と
、この第1および第2の検出手段の出力の比をとり、該
比に基づき第1または第2の検出手段の出力を補iE?
lる補11冊手段とを備える。
[この発明の表面電位検出装置におt−jる補正原理]
今、第2図に示す撮動容量型の表面電位検出装置を例に
とり、その出力を考えてみることにすると、被測定表面
1と検知電極2との間の距離がdO1検知電極2の振幅
が2Δd1被測定表面1ど検知電極2どの間の距離がd
oの場合の両者間の古川がCoであり、被測定表面1の
電位がぬい、Δdstnω1により抵抗3の両端に発生
する電圧VOUT1式(1)で表わされる。
VOUT=CO会Vzy−R”α−ω−cosωt/(
1+αsinωt)2 ・−11)他h1この発明の表
面電位検出装置では、第3図に示1゛ように、第1およ
び第2の検知電極11゜12が、距INfoだけずらさ
れて配置されており、したがつ゛C被測定表面13と、
それぞれ、d、。
d2ど異なる距離を隔てるように配置されることになる
。よって、第1の検知電極11と第2の検 ・短電極1
2とが、同位相で駆動される場合、各検知電ViA11
.12に基づく出力は、式(2)および(3) F表わ
される。
Vo   ut   I  −C+   o   −V
zy  ・  R、・  α 1  ・ ω ・cos
 ut / (1+a、 sin (I)t ) 2・
・・(2) VOUT2=   (Czo  V&v  −R2・ 
α2 ・ ω ・cos  ut  /  (1+cx
2sin  ut  )  2・・・ (3) 上記VQUTIおよびV。lJ丁2を整流すると、交流
から直流への変換率をβとすれば、整流出力IvoUT
1は、式(4)および(5)で表わされる。
l Vo U T +  l =CI o VLcvR
+ α、ωβ。
・・・(4) l Vo u T 2 1 =G2o VにyR2α2
ωβ2・・・(5) IVOUTl 1および1VOU丁21の比γをとると
、該γは式(6)で表わされる。
= C,p、R,btl、(d−/〆t )    −
(6)但し、Cy −C+ o /C2o 、 Ry 
−R+ /R2By −B +  / B 2 、Δd
1−Δd+/Δd2静電容吊と検知電極の表面積との間
には、C=εS/〆の関係があるので、式(6)におI
jるC1はS、・−8+ / S 2に変換覆ることが
できる。
また、(1,−・(1、十gであるから、式(6)は、
次の式(7)で表わすことができる。
・・・(7) 式(7)から明らかなように、γずなわら第1の検知電
極11および第2の検知電極12の出力の11;(よ、
検知電極11と検知電極12が同一振動手段−1に形成
され−Cいる場合は、Δd、が常に一定どなるので、’
lのみの関数となり、したがってd、の弯v)によるγ
の変化は次の式(8)で表わすことがeきる。
・・・(8) 1=3ホの式(7)および〈8)から明らかなように、
比γは、各検知電極11.12の振幅や被測定表面3の
電位の変化に影響されずに求めることができ、かつ被測
定表面3と検知電極11.12間の距離(上述の式(7
)で番よ第1の検知電極11どの間の距1)の関数とな
ることがわかる。したがって、被測定表面との距離にの
み依存するγを用いれば、検知電極と被測定表面との間
の距離に依存しない検出出力の得られることがわかる。
[実施例の説明] 第1図は、上述した補正原理に基づいて構成したこの発
明の一実施例の表面電位検出装置を示す概略ブロック図
である。
第1の検知電極11および第2の検知電極12は、第1
図では同列に図示されているが、実際には、第2図に示
したように、距111(+ずらされて配置されている。
各検知電極11.12には、それぞれ、M準電位(この
実施例ではグラウンド電位)との間に電流−電圧変換用
抵抗21.22が接続されている。この抵抗21.22
は、 検知電極11.12の表面上に誘起される電荷を
電圧として取出すための第1および第2の検出手段の一
部を構成している。この検出手段は、第1検知電極11
側においては、抵抗21のほか、その後段に接続される
インピーダンス変換回路23.バンドパスフィルタ/増
幅回路25および整流・平滑・増幅回+M27を含む。
同様に、第2の検知電極12側においても、抵抗22の
後段に、順次、インピーダンス変換回路24.バンドパ
スフィルタ/増幅回路26および整流・平滑・増幅回路
28が接続されている。
ここまでの構成は、各検知電極11.12の個々につい
てみれば、従来の振動容w型の表面電位検出装置と同様
のものである。
この実施例の表面電位検出装置では、第1の検知N極1
1に基づく出力を測定出力とするために、一方の整流・
平滑・増幅回路27の出力側に増幅回路2く)が接続さ
れている。また、上述した補正原理に基づき補正を行な
うための補正手段として、割算/ In n回路31お
よび減算・増幅回路32が各整流・平滑・増幅回路27
.28の後段に接続されている。すなわち、一方の整流
・平滑・増幅回路270出力V1は、分割され、増幅回
路29のほか割算/掛粋回路31にも与えられる。また
割算/掛算回路31には他方の整流・平滑・増幅回路2
8の出力V2すなわち第2の検知電極12に由来する出
力が与えられる。υ1粋/掛紳回路331は、この両整
流・平滑・増幅回路27.28より与えられた出力Vl
、V2の比をとり、かつ増幅回路29より与えられた出
力V、を掛は合わせ、V4””V+ /V2 xVaを
出力する。そして、この補正出力v4が減算・増幅回路
32に与えられる。減算・増幅回路32には、増幅回路
29の出力V、も与えられる。減算・増幅回路32は、
測定出力V、から、補正出力v4を減算し、かつ増幅し
、出力端子33に距離変動分に依存しない測定出力を与
える。
なお、第1の検知電極11および第2の検知電極12は
、たとえば圧電音叉等の振動体に固定的に設けられるも
のであり、第1図の圧電音叉発振回路41は、この圧電
音叉を励振するための回路である。
また、各検知電極11.12は、同一の圧電振動体に固
定的に設けられていてもよく、あるいは別体の振動体上
に固定されていてもよい。この場合、前)ホの式(8)
に表われるΔd1を一定とイ【るために2つの振動体の
振幅の安定化を図る必要がある。
第1図に示した実施例の表面電位検出装置では、第1の
検知電極11に由来する検出出力v1は、一方では増幅
回路29に測定出力として与えられ、また分割されて割
算/li′)算回路31に与えられる。
同様に、他方の検知電極12に由来する検出出力Vzl
;i補正川力を調用するために割算/掛算回路31にり
えられる。よって、割算7m8回路では、まずV、/V
2すなわら航速した式(7)のγが求められる。そして
、増幅回路29により与えられる出力v3とl卦は合わ
せ、補正出力v4−γ×V、が演算される。この補正出
力V4と、検知電極−被測定表面間の距離の関係を第4
図に示す。
また、滅粋・増幅回路32に増幅回路29より与えられ
る測定出力v11と検知N極−被測定表面間の距−1と
の関係も第4図に併せで示す。
第4図のV、およびv4の距@dとの関係から明らか<
’にように、減算・増幅回路32においで、V=  V
4の演算を行なえば、検知電極と比測定表面との間の距
離の変動にかかわらず一定の出力VOUTを得られるこ
とがわかる。
なお、I−記実施例では、振勅容吊型の表面電位検出装
置についての例を示したが、この発明(ま、検知電極が
固定的に設けられているヂョツパを利用した表面電位検
出装置にも同様に適用し得るものであることを指摘して
おく。
[発明の効果] この発明では、被測定表面との間の距離が異なるように
配置される第1および第2の検知電極が設けられでおり
、かつ被測定表面と検知′ci極との間の距離に逆比例
する各検知電極の出力化を求め、それによって測定出力
を補正する補正手段が設けられているので、検知電極と
比測定表面との間の距離の変動に影響されない表面電位
検出装置を得ることができる。したがって、表面電位検
出装置使用時に、検知電極部分の比測定表面に対する煩
雑な位置決めを解消することができる。のみならず、こ
の発明の表面電位検出装置rは、検知電極に接続される
複雑な補正回路を要しないので、表面電位検出装置の大
きさ、特に検知電極部分の大きざを人ぎくすることもな
い。それゆえに、たとえば複写機の感光ドラム近傍等の
狭いスペースにも筒中に取付Iフることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明の一実施例の表面電位検出装置の概
略ブロック図である。第2図は、振動容憤型表向電位検
出装置における検出原理を説明するための図である。第
3図は、この発明の補正原理を説明するための図であり
、第1および第2の検知電極と被測定表面との位置関係
を示す図である。第4図は、測定出力と補正出力の距離
依存性を説明づるための図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 被測定表面と所定距離を隔てて配置され、被測定表面の
    電位に応じて電荷が表面に誘起されるように構成された
    第1および第2の検知電極を備え、第1および第2の検
    知電極と被測定表面との間の距離が異なるように、該第
    1および第2の検知電極はずらされて配置されており、 第1および第2の検知電極上に誘起された電荷を電圧信
    号として取出す第1および第2の検出手段と、 前記第1および第2の検出手段の出力の比をとり、該比
    に基づき第1または第2の検出手段の出力を補正する補
    正手段とを備える、表面電位検出装置。
JP25441185A 1985-11-12 1985-11-12 表面電位検出装置 Pending JPS62113072A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25441185A JPS62113072A (ja) 1985-11-12 1985-11-12 表面電位検出装置
US06/929,410 US4724393A (en) 1985-11-12 1986-11-10 Surface potential detector

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25441185A JPS62113072A (ja) 1985-11-12 1985-11-12 表面電位検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62113072A true JPS62113072A (ja) 1987-05-23

Family

ID=17264599

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25441185A Pending JPS62113072A (ja) 1985-11-12 1985-11-12 表面電位検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62113072A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002318255A (ja) * 2001-04-24 2002-10-31 Tdk Corp 表面電位検出装置
WO2008093852A2 (en) * 2007-01-29 2008-08-07 Canon Kabushiki Kaisha Potential measurement apparatus and image forming apparatus
JP2014514557A (ja) * 2011-04-14 2014-06-19 シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト 電束に関する異なる二つの値によって対象物の電位を非接触式に検出するための方法並びに装置
WO2017168608A1 (ja) * 2016-03-30 2017-10-05 株式会社日立システムズ 非接触電圧測定装置および非接触電圧測定方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002318255A (ja) * 2001-04-24 2002-10-31 Tdk Corp 表面電位検出装置
WO2008093852A2 (en) * 2007-01-29 2008-08-07 Canon Kabushiki Kaisha Potential measurement apparatus and image forming apparatus
WO2008093852A3 (en) * 2007-01-29 2008-10-23 Canon Kk Potential measurement apparatus and image forming apparatus
JP2014514557A (ja) * 2011-04-14 2014-06-19 シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト 電束に関する異なる二つの値によって対象物の電位を非接触式に検出するための方法並びに装置
US9562930B2 (en) 2011-04-14 2017-02-07 Siemens Aktiengesellschaft Method for the contactless determination of an electrical potential of an object using two different values for the electric flux, and device
WO2017168608A1 (ja) * 2016-03-30 2017-10-05 株式会社日立システムズ 非接触電圧測定装置および非接触電圧測定方法
JPWO2017168608A1 (ja) * 2016-03-30 2018-12-27 株式会社日立システムズ 非接触電圧測定装置および非接触電圧測定方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4724393A (en) Surface potential detector
US7107841B2 (en) Capacitance-sensing vibratory gyro and method for detecting change in capacitance
US7466119B2 (en) Sensor circuit for detection of an abnormal offset voltage
JPS5921509B2 (ja) 静電位計
JPS62113072A (ja) 表面電位検出装置
EP0070301A1 (en) MEASURING CIRCUIT FOR REACTANCE.
US6467347B1 (en) Angular velocity detection circuit, method of detecting angular velocity and vibrating gyroscope
US6508123B2 (en) Angular velocity sensor
JP3218448B2 (ja) 静電容量型圧力センサ
US3714593A (en) Synchronous demodulator having an improved driving circuit
JPH0445108B2 (ja)
JPS6290564A (ja) 表面電位検出装置
JPS6152945B2 (ja)
JP3208429B2 (ja) 復調器およびそれを用いた変位測定器
JPH06258127A (ja) 静電容量式レベル計
JP2001124807A (ja) 静電容量−電圧変換装置及び変換方法
JPH0420826A (ja) トルクセンサの温度特性補償回路
JP4051724B2 (ja) 表面電位検出装置
RU2093842C1 (ru) Измерительный преобразователь переменного тока в постоянный (варианты)
JPS625550A (ja) 四重極型質量分析計
JP2598645B2 (ja) キャパシタンス測定方法
JPS61215916A (ja) 角速度センサ
JPS62163979A (ja) 表面電位検出装置
JP2583704B2 (ja) 発振回路
JPH0545537U (ja) 磁歪式トルクセンサ