JP2001124807A - 静電容量−電圧変換装置及び変換方法 - Google Patents
静電容量−電圧変換装置及び変換方法Info
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- JP2001124807A JP2001124807A JP2000260622A JP2000260622A JP2001124807A JP 2001124807 A JP2001124807 A JP 2001124807A JP 2000260622 A JP2000260622 A JP 2000260622A JP 2000260622 A JP2000260622 A JP 2000260622A JP 2001124807 A JP2001124807 A JP 2001124807A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 イマジナリ・ショートの状態の演算増幅器
を利用して高精度に静電容量を電圧へ変換すること。 【解決手段】 反転入力端子（＋）、非反転入力端子
（−）及び出力端子２２を有する演算増幅器２１は、出
力端子２２と前記反転有力端子との間が帰還抵抗２３に
よって接続され、前記反転入力端子と前記非反転入力端
子との間はイマジナリ・ショートの状態である。前記反
転入力端子に信号線２５の一端が接続され、信号線２５
の他端には静電容量素子２６を接続することができる。
前記非反転入力端子に接続されたシールド線２７が信号
線２５の少なくとも一部を包囲する。前記非反転入力端
子に交流電圧を印加したとき、静電容量素子２６に対応
する交流電圧が演算増幅器２１の出力端子２２から出力
される。
を利用して高精度に静電容量を電圧へ変換すること。 【解決手段】 反転入力端子（＋）、非反転入力端子
（−）及び出力端子２２を有する演算増幅器２１は、出
力端子２２と前記反転有力端子との間が帰還抵抗２３に
よって接続され、前記反転入力端子と前記非反転入力端
子との間はイマジナリ・ショートの状態である。前記反
転入力端子に信号線２５の一端が接続され、信号線２５
の他端には静電容量素子２６を接続することができる。
前記非反転入力端子に接続されたシールド線２７が信号
線２５の少なくとも一部を包囲する。前記非反転入力端
子に交流電圧を印加したとき、静電容量素子２６に対応
する交流電圧が演算増幅器２１の出力端子２２から出力
される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、静電容量を演算
増幅器に接続するための信号線に生じる浮遊容量による
影響を除去して、該静電容量を対応の電圧へ高精度に変
換することができる静電容量−電圧変換装置及び変換方
法に関する。
増幅器に接続するための信号線に生じる浮遊容量による
影響を除去して、該静電容量を対応の電圧へ高精度に変
換することができる静電容量−電圧変換装置及び変換方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は、特開昭６１−１４５７８号公報
に記載された静電容量−電圧変換装置の構成を概略的に
示す図である。この静電容量変換装置は、未知の静電容
量に該静電容量の接続に用いるケーブルの浮遊容量が重
畳されること、及び、こうした静電容量がケーブルの移
動や折り曲げ等により変化すること等によって正確な電
圧変換ができないという課題を解決するために提案され
たものである。図２に示すように、交流（ＡＣ）信号発
生器ＯＳと演算増幅器ＯＰとの間に、未知の容量Ｃｘを
接続し、接続ケーブルをシールド線ｓで覆って、浮遊容
量Ｃｓ１、Ｃｓ２、Ｃｓ３の影響を低減するものであ
る。具体的には、演算増幅器ＯＰの出力と反転入力との
間を抵抗ＲｆとコンデンサＣｆとの並列回路からなる帰
還回路により接続し、反転入力にシールド線ｓを介し
て、未知の容量Ｃｘの一端を接続し、その他端をシール
ド線ｓを介して交流信号発生器ＯＳに接続する。両方の
シールド線及び演算増幅器ＯＰの非反転入力は接地され
る。
に記載された静電容量−電圧変換装置の構成を概略的に
示す図である。この静電容量変換装置は、未知の静電容
量に該静電容量の接続に用いるケーブルの浮遊容量が重
畳されること、及び、こうした静電容量がケーブルの移
動や折り曲げ等により変化すること等によって正確な電
圧変換ができないという課題を解決するために提案され
たものである。図２に示すように、交流（ＡＣ）信号発
生器ＯＳと演算増幅器ＯＰとの間に、未知の容量Ｃｘを
接続し、接続ケーブルをシールド線ｓで覆って、浮遊容
量Ｃｓ１、Ｃｓ２、Ｃｓ３の影響を低減するものであ
る。具体的には、演算増幅器ＯＰの出力と反転入力との
間を抵抗ＲｆとコンデンサＣｆとの並列回路からなる帰
還回路により接続し、反転入力にシールド線ｓを介し
て、未知の容量Ｃｘの一端を接続し、その他端をシール
ド線ｓを介して交流信号発生器ＯＳに接続する。両方の
シールド線及び演算増幅器ＯＰの非反転入力は接地され
る。
【０００３】上記の構成により、未知の容量Ｃｘの両端
間にはほとんど電位差がないため、浮遊容量Ｃs2は充電
されない。また、浮遊容量Ｃs3は両シールド線の結合容
量と考えられるので、シールド線を接地することでゼロ
とすることができる。こうして、未知の静電容量Ｃｘを
接続するケーブルの浮遊容量による影響は、シールド線
ｓを用いることによって低減されるので、未知の静電容
量Ｃｘに誘導されるのと等しい電荷が帰還回路のコンデ
ンサＣｆに誘導され、未知の静電容量Ｃｘに比例する出
力が演算増幅器ＯＰから求まる。すなわち、交流信号発
生器ＯＳの出力電圧をＶｉとすると、演算増幅器ＯＰの
出力電圧Ｖｏは−（Ｃｘ／Ｃｆ）Ｖｉとして表されるの
で、図２の変換装置を用いることにより、未知の静電容
量Ｃｘは電圧Ｖｏに変換され、この電圧Ｖｏと既知の値
Ｃｆ及びＶｉから、未知の静電容量Ｃｘを求めることが
できる。
間にはほとんど電位差がないため、浮遊容量Ｃs2は充電
されない。また、浮遊容量Ｃs3は両シールド線の結合容
量と考えられるので、シールド線を接地することでゼロ
とすることができる。こうして、未知の静電容量Ｃｘを
接続するケーブルの浮遊容量による影響は、シールド線
ｓを用いることによって低減されるので、未知の静電容
量Ｃｘに誘導されるのと等しい電荷が帰還回路のコンデ
ンサＣｆに誘導され、未知の静電容量Ｃｘに比例する出
力が演算増幅器ＯＰから求まる。すなわち、交流信号発
生器ＯＳの出力電圧をＶｉとすると、演算増幅器ＯＰの
出力電圧Ｖｏは−（Ｃｘ／Ｃｆ）Ｖｉとして表されるの
で、図２の変換装置を用いることにより、未知の静電容
量Ｃｘは電圧Ｖｏに変換され、この電圧Ｖｏと既知の値
Ｃｆ及びＶｉから、未知の静電容量Ｃｘを求めることが
できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図２に
示す静電容量−電圧変換装置においては、未知の静電容
量Ｃｘが小さくなると、浮遊容量の影響が顕在化し、静
電容量Ｃｘを電圧へ正確に変換することができないとい
う問題がある。また、演算増幅器ＯＰの帰還回路を抵抗
ＲｆとコンデンサＣｆの並列回路で構成しているため、
所要のコンポーネントを実際に集積化して１チップの変
換装置とするため、抵抗とコンデンサを形成する個別の
プロセスが必要であり、製造プロセスが複雑化するう
え、チップ・サイズが増大するという欠点がある。更
に、静電容量Ｃｘの一方の電極が或る電位にバイアスさ
れているときには、該コンデンサに交流信号を印加する
ことができないため、静電容量の電圧への変換が不可能
であるという課題もある。
示す静電容量−電圧変換装置においては、未知の静電容
量Ｃｘが小さくなると、浮遊容量の影響が顕在化し、静
電容量Ｃｘを電圧へ正確に変換することができないとい
う問題がある。また、演算増幅器ＯＰの帰還回路を抵抗
ＲｆとコンデンサＣｆの並列回路で構成しているため、
所要のコンポーネントを実際に集積化して１チップの変
換装置とするため、抵抗とコンデンサを形成する個別の
プロセスが必要であり、製造プロセスが複雑化するう
え、チップ・サイズが増大するという欠点がある。更
に、静電容量Ｃｘの一方の電極が或る電位にバイアスさ
れているときには、該コンデンサに交流信号を印加する
ことができないため、静電容量の電圧への変換が不可能
であるという課題もある。
【０００５】この発明は、上記の課題を解決するために
提案されたものであって、イマジナリ・ショートの状態
の演算増幅器を利用して、信号線とシールド線との間の
浮遊容量に影響されずに且つ高精度に、静電容量を電圧
へ変換することができる静電容量−電圧変換装置及び変
換方法を提供することを目的とする。
提案されたものであって、イマジナリ・ショートの状態
の演算増幅器を利用して、信号線とシールド線との間の
浮遊容量に影響されずに且つ高精度に、静電容量を電圧
へ変換することができる静電容量−電圧変換装置及び変
換方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１の発明は、反転入力端子、非反転入力端
子及び出力端子を有する演算増幅器であって、前記反転
入力端子と前記非反転入力端子との間がイマジナリ・シ
ョートの状態である演算増幅器と、前記反転入力端子に
一端が接続され、静電容量を有する静電容量素子を他端
に接続することができる信号線と、前記信号線の少なく
とも一部を包囲し且つ前記非反転入力端子に接続された
シールド線と、を具備し、前記非反転入力端子に交流電
圧を印加したとき、前記静電容量に対応する交流電圧を
前記演算増幅器の前記出力端子から出力することを特徴
とする静電容量−電圧変換装置、を提供する。
めに、請求項１の発明は、反転入力端子、非反転入力端
子及び出力端子を有する演算増幅器であって、前記反転
入力端子と前記非反転入力端子との間がイマジナリ・シ
ョートの状態である演算増幅器と、前記反転入力端子に
一端が接続され、静電容量を有する静電容量素子を他端
に接続することができる信号線と、前記信号線の少なく
とも一部を包囲し且つ前記非反転入力端子に接続された
シールド線と、を具備し、前記非反転入力端子に交流電
圧を印加したとき、前記静電容量に対応する交流電圧を
前記演算増幅器の前記出力端子から出力することを特徴
とする静電容量−電圧変換装置、を提供する。
【０００７】また、請求項６の発明は、演算増幅器の反
転入力端子と非反転入力端子との間をイマジナリ・ショ
ートの状態とし、信号線を介して前記反転入力端子に静
電容量素子を接続し、前記信号線をシールドするシール
ド手段を設け、前記シールド手段を前記非反転入力端子
と同電位とし、前記非反転入力端子に交流電圧を印加
し、もって、前記演算増幅器から、前記静電容量素子の
静電容量に対応した交流電圧を取り出すことを特徴とす
る静電容量−電圧変換方法、を提供する。
転入力端子と非反転入力端子との間をイマジナリ・ショ
ートの状態とし、信号線を介して前記反転入力端子に静
電容量素子を接続し、前記信号線をシールドするシール
ド手段を設け、前記シールド手段を前記非反転入力端子
と同電位とし、前記非反転入力端子に交流電圧を印加
し、もって、前記演算増幅器から、前記静電容量素子の
静電容量に対応した交流電圧を取り出すことを特徴とす
る静電容量−電圧変換方法、を提供する。
【０００８】これらの発明において、前記シールド手段
は、前記信号線の全長を包囲するシールド線であること
が望ましい。前記静電容量素子は例えば容量型センサで
ある。また、前記静電容量素子は、被測定対象との間に
静電容量を形成する測定電極を備えることができる。更
に、前記演算増幅器から出力される前記交流電圧を積分
して前記静電容量を表す直流電圧を出力する回路を設け
ることもできる。
は、前記信号線の全長を包囲するシールド線であること
が望ましい。前記静電容量素子は例えば容量型センサで
ある。また、前記静電容量素子は、被測定対象との間に
静電容量を形成する測定電極を備えることができる。更
に、前記演算増幅器から出力される前記交流電圧を積分
して前記静電容量を表す直流電圧を出力する回路を設け
ることもできる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、この発明に係る静電容量−
電圧変換装置の一つに実施の形態を図１を参照しながら
説明する。同図において、演算増幅器２１は閉ループ利
得よりも極めて大きい電圧利得を有しており、利得はほ
ぼ無限大である。演算増幅器２１の出力端子２２と反転
入力端子（−）との間に帰還抵抗２３が接続されていて
演算増幅器２１に負帰還がかかっている。演算増幅器２
１の非反転入力端子（＋）には交流（ＡＣ）信号発生器
２４が接続され、演算増幅器２１の反転入力端子（−）
には、信号線２５の一端が接続される。信号線２５の他
端には、未知又は既知の静電容量を持つコンデンサ２６
の一方の電極２６1が接続される。コンデンサ２６の他
方の電極２６2は接地されるか、直流（ＤＣ）の一定の
バイアス電位に固定されるか、あるいは非接地である。
なお、他方の電極２６2に交流バイアスを加えることも
できる。この場合、交流バイアスの周波数は交流信号発
生器２４から出力される交流信号の周波数とは同じで
も、異なってもよい。
電圧変換装置の一つに実施の形態を図１を参照しながら
説明する。同図において、演算増幅器２１は閉ループ利
得よりも極めて大きい電圧利得を有しており、利得はほ
ぼ無限大である。演算増幅器２１の出力端子２２と反転
入力端子（−）との間に帰還抵抗２３が接続されていて
演算増幅器２１に負帰還がかかっている。演算増幅器２
１の非反転入力端子（＋）には交流（ＡＣ）信号発生器
２４が接続され、演算増幅器２１の反転入力端子（−）
には、信号線２５の一端が接続される。信号線２５の他
端には、未知又は既知の静電容量を持つコンデンサ２６
の一方の電極２６1が接続される。コンデンサ２６の他
方の電極２６2は接地されるか、直流（ＤＣ）の一定の
バイアス電位に固定されるか、あるいは非接地である。
なお、他方の電極２６2に交流バイアスを加えることも
できる。この場合、交流バイアスの周波数は交流信号発
生器２４から出力される交流信号の周波数とは同じで
も、異なってもよい。
【００１０】外部からのノイズ等の不要信号が信号線２
５に誘導されるのを防止するために、信号線２５はシー
ルド線２７によって包囲される。このシールド線２７は
アースされず、演算増幅器２１の非反転入力端子（＋）
と接続される。
５に誘導されるのを防止するために、信号線２５はシー
ルド線２７によって包囲される。このシールド線２７は
アースされず、演算増幅器２１の非反転入力端子（＋）
と接続される。
【００１１】演算増幅器２１には帰還抵抗２３を介して
負帰還がかかっており、しかも、演算増幅器２１は閉ル
ープ利得よりも極めて大きい電圧利得を有するので、演
算増幅器２１はイマジナリ・ショートの状態にあり、利
得はほぼ無限大である。すなわち、演算増幅器２１の反
転入力端子（−）と非反転入力端子（＋）との間の電圧
差は実質的にゼロである。したがって、信号線２５とシ
ールド線２７とは同電位にあるので、信号線２５とシー
ルド線２７との間に生じる浮遊容量をキャンセルするこ
とができる。このことは、信号線２５の長さに無関係に
成立するし、信号線２５の移動や折り曲げ、折り返し等
に関係なく成立する。
負帰還がかかっており、しかも、演算増幅器２１は閉ル
ープ利得よりも極めて大きい電圧利得を有するので、演
算増幅器２１はイマジナリ・ショートの状態にあり、利
得はほぼ無限大である。すなわち、演算増幅器２１の反
転入力端子（−）と非反転入力端子（＋）との間の電圧
差は実質的にゼロである。したがって、信号線２５とシ
ールド線２７とは同電位にあるので、信号線２５とシー
ルド線２７との間に生じる浮遊容量をキャンセルするこ
とができる。このことは、信号線２５の長さに無関係に
成立するし、信号線２５の移動や折り曲げ、折り返し等
に関係なく成立する。
【００１２】いま、交流信号発生器２４の交流出力電圧
をＶｉとし、その角周波数をωとする。また、コンデン
サ２６の静電容量をＣｘ、コンデンサ２６を流れる電流
をｉ 1、帰還抵抗２３の抵抗値をＲｆ、帰還抵抗２３を
流れる電流をｉ2とし、演算増幅器２１の反転入力端子
における電圧をＶｍ、演算増幅器２１の出力電圧をＶと
すると、演算増幅器２１は前述のとおりイマジナリ・シ
ョートの状態にあるので、反転入力端子（−）における
電圧Ｖｍは交流信号発生器２４の交流信号出力電圧Ｖｉ
と同電圧である。すなわち、下記の式が満足される。
をＶｉとし、その角周波数をωとする。また、コンデン
サ２６の静電容量をＣｘ、コンデンサ２６を流れる電流
をｉ 1、帰還抵抗２３の抵抗値をＲｆ、帰還抵抗２３を
流れる電流をｉ2とし、演算増幅器２１の反転入力端子
における電圧をＶｍ、演算増幅器２１の出力電圧をＶと
すると、演算増幅器２１は前述のとおりイマジナリ・シ
ョートの状態にあるので、反転入力端子（−）における
電圧Ｖｍは交流信号発生器２４の交流信号出力電圧Ｖｉ
と同電圧である。すなわち、下記の式が満足される。
【００１３】
【数１】Ｖｉ＝Ｖｍ しかも、下記の式も満足される。
【００１４】
【数２】ｉ1＝−Ｖｍ／（１／ｊωＣｘ）＝−Ｖｉ／
（１／ｊωＣｘ） ｉ2＝（Ｖｍ−Ｖ）／Ｒｆ＝（Ｖｉ−Ｖ）／Ｒｆ ｉ1＝ｉ2であるから、演算増幅器２１の出力電圧Ｖは下
式で表される。
（１／ｊωＣｘ） ｉ2＝（Ｖｍ−Ｖ）／Ｒｆ＝（Ｖｉ−Ｖ）／Ｒｆ ｉ1＝ｉ2であるから、演算増幅器２１の出力電圧Ｖは下
式で表される。
【００１５】
【数３】Ｖ＝Ｖｉ（１＋ｊωＲｆ・Ｃｘ） この式は、演算増幅器２１の出力電圧Ｖが静電容量Ｃｘ
に比例する交流成分を含むことを示している。そこで、
出力電圧Ｖを適宜処理することにより、静電容量Ｃｘに
比例した直流電圧を得ることができる。
に比例する交流成分を含むことを示している。そこで、
出力電圧Ｖを適宜処理することにより、静電容量Ｃｘに
比例した直流電圧を得ることができる。
【００１６】上記のように、演算増幅器２１はイマジナ
リ・ショートの状態にあり、信号線２５とシールド線２
７の間に生じる浮遊容量が演算増幅器２１の反転入力端
子（−）と非反転入力端子（＋）の間に現れることはな
いので、演算増幅器２１の出力電圧Ｖを表す式には、信
号線２５とシールド線２７との間に生じる浮遊容量に関
係する項が含まれない。このため、微小な静電容量Ｃｘ
の電圧への変換が可能になる。また、交流出力電圧Ｖｉ
の角周波数ωが低くても、静電容量Ｃｘに正確に対応し
た電圧Ｖを出力することができる。
リ・ショートの状態にあり、信号線２５とシールド線２
７の間に生じる浮遊容量が演算増幅器２１の反転入力端
子（−）と非反転入力端子（＋）の間に現れることはな
いので、演算増幅器２１の出力電圧Ｖを表す式には、信
号線２５とシールド線２７との間に生じる浮遊容量に関
係する項が含まれない。このため、微小な静電容量Ｃｘ
の電圧への変換が可能になる。また、交流出力電圧Ｖｉ
の角周波数ωが低くても、静電容量Ｃｘに正確に対応し
た電圧Ｖを出力することができる。
【００１７】
【発明の効果】以上、この発明の実施の形態を参照しな
がら説明したところから明らかなとおり、この発明は以
下の効果を奏する。 （１）信号線とそれを包囲するシールド線との間に形成
される浮遊容量に影響されることなく、信号線に接続さ
れた静電容量素子の静電容量を電圧へ変換することがで
き、該静電容量に正確に対応した電圧を求めることがで
きるので、静電容量素子の静電容量が例えばフェムトフ
ァラッド（ピコファラッドの１０００分の１）のオーダ
ーの微小なものであっても、該静電容量を電圧へ高精度
に変換し、検出することが可能になる。 （２）静電容量素子の静電容量を該静電容量と交流信号
の周波数とを含む信号へ変換することができるので、交
流信号の周波数が約１０ＭＨｚよりも低くても、静電容
量の電圧への変換や検出が可能である。
がら説明したところから明らかなとおり、この発明は以
下の効果を奏する。 （１）信号線とそれを包囲するシールド線との間に形成
される浮遊容量に影響されることなく、信号線に接続さ
れた静電容量素子の静電容量を電圧へ変換することがで
き、該静電容量に正確に対応した電圧を求めることがで
きるので、静電容量素子の静電容量が例えばフェムトフ
ァラッド（ピコファラッドの１０００分の１）のオーダ
ーの微小なものであっても、該静電容量を電圧へ高精度
に変換し、検出することが可能になる。 （２）静電容量素子の静電容量を該静電容量と交流信号
の周波数とを含む信号へ変換することができるので、交
流信号の周波数が約１０ＭＨｚよりも低くても、静電容
量の電圧への変換や検出が可能である。
【図１】この発明に係る静電容量−電圧変換装置の概略
回路図である。
回路図である。
【 図２】従来の静電容量−電圧変換装置の一例を示す
概略回路図である。
概略回路図である。
２１：演算増幅器、 ２２：出力端子、 ２３：帰還抵
抗、 ２４：交流信号発生器、 ２５：信号線、 ２
６：静電容量素子、 ２７：シールド線
抗、 ２４：交流信号発生器、 ２５：信号線、 ２
６：静電容量素子、 ２７：シールド線
フロントページの続き (72)発明者 原田 宗生 兵庫県西宮市津門宝津町２−19 (72)発明者 松本 俊行 兵庫県三田市つつじが丘南３−４−12 (72)発明者 廣田 良浩 京都府京都市左京区北白川仕伏町43
Claims (10)
- 【請求項１】 反転入力端子、非反転入力端子及び出力
端子を有する演算増幅器であって、前記反転入力端子と
前記非反転入力端子との間がイマジナリ・ショートの状
態である演算増幅器と、 前記反転入力端子に一端が接続され、静電容量を有する
静電容量素子を他端に接続することができる信号線と、 前記信号線の少なくとも一部を包囲し且つ前記非反転入
力端子に接続されたシールド線と、 を具備し、前記非反転入力端子に交流電圧を印加したと
き、前記静電容量に対応する交流電圧を前記演算増幅器
の前記出力端子から出力することを特徴とする静電容量
−電圧変換装置。 - 【請求項２】 前記シールド手段が、前記信号線の全長
を包囲するシールド線であることを特徴とする、請求項
１記載の静電容量−電圧変換装置。 - 【請求項３】 前記静電容量素子が容量型センサである
ことを特徴とする、請求項１又は２記載の静電容量−電
圧変換装置。 - 【請求項４】 前記静電容量素子が測定電極を備え、被
測定対象と前記測定電極との間に静電容量が形成される
ことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一つに記載
の静電容量−電圧変換装置。 - 【請求項５】 前記演算増幅器から出力される前記交流
電圧を積分して前記静電容量を表す直流電圧を出力する
回路を更に備えることを特徴とする、請求項１〜４のい
ずれか一つに記載の静電容量−電圧変換装置。 - 【請求項６】 演算増幅器の反転入力端子と非反転入力
端子との間をイマジナリ・ショートの状態とし、 信号線を介して前記反転入力端子に静電容量素子を接続
し、 前記信号線をシールドするシールド手段を設け、 前記シールド手段を前記非反転入力端子と同電位とし、 前記非反転入力端子に交流電圧を印加し、 もって、前記演算増幅器から、前記静電容量素子の静電
容量に対応した交流電圧を取り出すことを特徴とする静
電容量−電圧変換方法。 - 【請求項７】 前記シールド手段が、前記信号線の全長
を包囲するシールド線であることを特徴とする、請求項
６記載の静電容量−電圧変換方法。 - 【請求項８】 前記静電容量素子が容量型センサである
ことを特徴とする、請求項６又は７記載の静電容量−電
圧変換方法。 - 【請求項９】 前記静電容量素子が測定電極を備え、被
測定対象と前記測定電極との間に静電容量が形成される
ことを特徴とする、請求項６〜８のいずれか一つに記載
の静電容量−電圧変換方法。 - 【請求項１０】 前記演算増幅器から出力される前記交
流電圧を積分して前記静電容量を表す直流電圧を出力す
る回路を更に備えることを特徴とする、請求項６〜９の
いずれか一つに記載の静電容量−電圧変換方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000260622A JP2001124807A (ja) | 1998-01-23 | 2000-08-30 | 静電容量−電圧変換装置及び変換方法 |
Applications Claiming Priority (7)
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2000
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Cited By (4)
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| JP2007524841A (ja) * | 2003-07-01 | 2007-08-30 | タイアックス エルエルシー | 容量性位置センサー及び感知方法 |
| JP2015536093A (ja) * | 2012-09-27 | 2015-12-17 | ザイリンクス インコーポレイテッドＸｉｌｉｎｘ Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | アンプの入力における寄生不一致の影響の軽減 |
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