JPS6211246A - ウエハチヤツクの上下駆動装置

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(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

【発明の詳細な説明】〔発明の利用分野〕本発明は、半導体ウェハを真空吸着するチャックを設け
たテーブルを上下に駆動する装置に関するものである。

〔発明の背景〕

第２図は真空吸着チャックを設けたテーブルを上下動可
能なように支承し、上記の吸着チャックにウェハを吸着
保持した状態で前記のテーブルを上下に駆動してウェハ
チャックを上下に移動せしめる装置の１例として示した
ウェハ露光装置の模式図である。

マスク１が水平に支承されていて、その下方にテーブル
２が配設されている。

上記のテーブル２の上面に多数の小穴３が設けられ、真
空ホース４に接続されて真空吸着チャックが形成されて
いる。

ウェハ５はテーブル２の上面に設けられた真空吸着チャ
ックに吸着把持された状態でマスク１に当接せしめられ
て露光操作を施される。

上に述べた如く、ウェハ５をマスク１に当接せしめるに
は、前記のテーブル２を矢印ＡＢのように上下に駆動し
なければならない。

この上下駆動に関する従来装置は、一般に、テーブル２
をリーフスプリング（図示省略）によって水平に、上下
動自在に支承すると共に１Ｍテープル２をエアー圧で上
下に１駆動する構造が用いられている。

上に述へたようにエアー圧によってリーフスプリングを
撓ませてテーブル２を上下に駆動する装置においては、（ｉ−）操作弁を作動させてからエアー圧が変化してテ
ーブル２を動かす迄の間に時間的遅れを生じる。

（ｉｉ）エアーの圧縮弾性に起因する振動を生じる虞れ
が有る。

といった不具合が有る。

〔発明の目的〕

本発明は上述の事情に鑑みて為されたもので。

時間的遅れを伴わずにテーブルを迅速かつ正確に上下に
駆動することができ、しかも振動を生じる虞れの無い、
ウェハチャックの上下駆動装置を提供しようとするもの
である。

〔発明の概要〕

上記の目的を達成するため、本発明のウェハチャック上
下駆動装置は、テーブルにボイスコイルを取り付けると
ともに、該ボイスコイルを磁界内に位置せしめるごとく
永久磁石を設置し、前記のボイスコイルに通電してウェ
ハチャックを上下に駆動するように構成したことを特徴
とする。

〔発明の実施例〕

第１図は本発明の上■駆動装置の１実施例を示す模式図
である。この実施例は前記の従来例（第２図）に本発明
を適用して改良した１例で、第２図と同一の図面参照番
号を付したマスク１．テーブル２．小穴３．真空ホース
４は従来装置におけると同様乃至は類似の構成部材であ
る。

上記のテーブル２の下面に、ボイルコイル６を垂直姿勢
に固着する。

本発明においてボイスコイルとは、はぼ均一な放射状の
磁界の中に、軸心方向の移動可能な如く弾力的に、かつ
軸心を磁界に直交せしめて支承したソレノイドコイルの
意である。

７は磁界を形成する為の永久磁石、８は磁力線を導くた
めのヨークである。

以上のように構成した上下駆動装置を使用するには、テ
ーブル２の上に形成されている真空吸着チャックによっ
てウェハ５を吸着し、ボイスコイル６に通電する。

上記の通電によってボイスコイル６は上下方向の駆動力
を受ける。上記の駆動力は通電の方向を切り替えること
によって任意に上向、下向に操作することができ、かつ
、該駆動力の大きさは通電の電流値と正確に比例する。

しかも、電流の変化に対して駆動力の変化が敏速に応答
し、実用上の精度において時間的遅れは零である。

〔発明の効果〕

以上詳述したように、本発明の駆動装置によれば時間的
遅れを伴わずにテーブルを迅速かつ正確に上下に駆動す
ることができ、しかも振動を生じる虞れの無い、ウェハ
チャックの上下駆動装置を提供することができるという
優れた実用的効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の上下駆動装置の１実施例を備えたウェ
ハ露光装置の模式図、第２図は従来のウェハ露光装置の
１例の模式図である。１・・・マスク、２・・・テーブル、３・・・小穴、４
・・・真空ホース、５・・・ウェハ、６・・・ボイスコ
イル、７・・・永久磁石、８・・・ヨーク。

【特許請求の範囲】