JPS62100180A - 超音波モ−タ - Google Patents
超音波モ−タInfo
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- JPS62100180A JPS62100180A JP60240281A JP24028185A JPS62100180A JP S62100180 A JPS62100180 A JP S62100180A JP 60240281 A JP60240281 A JP 60240281A JP 24028185 A JP24028185 A JP 24028185A JP S62100180 A JPS62100180 A JP S62100180A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0065—Friction interface
- H02N2/007—Materials
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
この発明は圧電振動子を利用した超音波モータに関する
。
。
［発明の技術的前頭とその問題点］
超音波モータは第９図に構成図を示すように圧電振動子
（１）によって弾性振動体（２）に振動を与えると、該
弾性振動体（２）には弾性波（３）が発生し矢印方向に
弾性振動体（２）表面上を伝搬してゆく。このとき、弾
性振動体（２）表面の質点における弾性波（３）は第１
０図に示すように縦振幅と横振幅を持つ楕円運動（４）
を行っており、−り記矢印へ方向に伝搬する場合は反時
計方向に回転している。この弾性波（３）は１波長毎に
頂点（５）を有しており弾性振動体（２）に摺動体（６
）を加圧接触させると、摺動体（６）は弾性波の頂点（
５）のみで弾性振動体（２）に接するから、楕円運動（
４）により摩擦力を得て矢印方向、すなわち弾性波（３
）の伝搬方向と逆方向に移動する。通常第１０図の原理
からなる直線型の超音波モータでは圧電振動子（１）
ハＢ ａ Ｔ ｉ ０３やＰＺＴなどの圧電ゼラミッり
、弾性振動体（２）は金属またはプラスデックなどから
なる。
（１）によって弾性振動体（２）に振動を与えると、該
弾性振動体（２）には弾性波（３）が発生し矢印方向に
弾性振動体（２）表面上を伝搬してゆく。このとき、弾
性振動体（２）表面の質点における弾性波（３）は第１
０図に示すように縦振幅と横振幅を持つ楕円運動（４）
を行っており、−り記矢印へ方向に伝搬する場合は反時
計方向に回転している。この弾性波（３）は１波長毎に
頂点（５）を有しており弾性振動体（２）に摺動体（６
）を加圧接触させると、摺動体（６）は弾性波の頂点（
５）のみで弾性振動体（２）に接するから、楕円運動（
４）により摩擦力を得て矢印方向、すなわち弾性波（３
）の伝搬方向と逆方向に移動する。通常第１０図の原理
からなる直線型の超音波モータでは圧電振動子（１）
ハＢ ａ Ｔ ｉ ０３やＰＺＴなどの圧電ゼラミッり
、弾性振動体（２）は金属またはプラスデックなどから
なる。
また第１１図に分解図、第１２図に正面図を示す超音波
モータは回転運動を行うもので、弾性振動体（１２）に
−波長の弾性波が乗るように圧電振動子（１１ａ）にｖ
１＝ｖ。ｓｉｎω【なる電圧を供給し、電圧振動子（１
１ｂ）にＶｌと９０°位相を変えたＶ２＝ＶｏＣＯ３ω
ｔ１圧電振動子（ＩＩＣ）にはさらに９０°位相を変え
たＶ３−−ｖｏＳｉｎω【、圧電振動子（１１ｄ）には
（１１ｃ）よりさらに９０°位相を変えたＶ４＝−Ｖｏ
ＣＯ３ω【なる電圧を加え、各圧′Ｆｉ娠動子を駆動す
ることにより前記弾性振動体（１２）に加圧接触させた
摺動体（１６）が、回転運動を行うことになる。
モータは回転運動を行うもので、弾性振動体（１２）に
−波長の弾性波が乗るように圧電振動子（１１ａ）にｖ
１＝ｖ。ｓｉｎω【なる電圧を供給し、電圧振動子（１
１ｂ）にＶｌと９０°位相を変えたＶ２＝ＶｏＣＯ３ω
ｔ１圧電振動子（ＩＩＣ）にはさらに９０°位相を変え
たＶ３−−ｖｏＳｉｎω【、圧電振動子（１１ｄ）には
（１１ｃ）よりさらに９０°位相を変えたＶ４＝−Ｖｏ
ＣＯ３ω【なる電圧を加え、各圧′Ｆｉ娠動子を駆動す
ることにより前記弾性振動体（１２）に加圧接触させた
摺動体（１６）が、回転運動を行うことになる。
このＪ：うな直線型や回転型の超音波モータにおいては
、弾性波の伝搬効率を高めるため、弾性振動体（２）（
１２）には高ヤング率を有する金属などが使用される場
合が多い。しかし、たとえば活動体（（ｉ）（１Ｇ）に
金属を使用し、弾性振動体（２）（１２）に直接接触さ
せて駆動力を得ようとすると、弾性波の振動や摩擦力が
騒き、熱などに変り実用的でなく、前記騒音などをなく
すために防振材を用いると、この防振材が弾性波の振１
ｆＪＪ ｉＪ３よび摩擦力を吸収してしまって十分な駆
動力を得ることができない問題点がある。
、弾性波の伝搬効率を高めるため、弾性振動体（２）（
１２）には高ヤング率を有する金属などが使用される場
合が多い。しかし、たとえば活動体（（ｉ）（１Ｇ）に
金属を使用し、弾性振動体（２）（１２）に直接接触さ
せて駆動力を得ようとすると、弾性波の振動や摩擦力が
騒き、熱などに変り実用的でなく、前記騒音などをなく
すために防振材を用いると、この防振材が弾性波の振１
ｆＪＪ ｉＪ３よび摩擦力を吸収してしまって十分な駆
動力を得ることができない問題点がある。
このように弾性振動体と該振動体に加圧させる物体との
接触部の材質は実際の使用に際し著しいるす約を受１ブ
るのが実状である。
接触部の材質は実際の使用に際し著しいるす約を受１ブ
るのが実状である。
［発明の目的］
この発明は適宜な硬度範囲を有するＪ？ ＩＩＩ Ｕを
用いることにより、トルクが大きく高速、しかも摩擦音
が小さく、耐久性に優れた超音波モータを提供すること
を目的としたものである。
用いることにより、トルクが大きく高速、しかも摩擦音
が小さく、耐久性に優れた超音波モータを提供すること
を目的としたものである。
［発明の概要］
この発明になる超音波モータは、圧電振動子を具備した
弾性振動体と、該弾性振動体に加圧接触させた物体とを
具備し、前記圧電振動子を駆動して前記弾性振動体上に
弾性波を誘起させて該弾性振動体に加圧接触させた物体
または弾性振動体自体を動作させる超音波モータにＪ５
いて、匍記弾性振動体に加圧接触させた物体の当接部を
ロックウェル硬度Ｒ形で４０〜１２０のゴムおよびこれ
らの共重合体から形成してあることを特徴とするもので
ある。
弾性振動体と、該弾性振動体に加圧接触させた物体とを
具備し、前記圧電振動子を駆動して前記弾性振動体上に
弾性波を誘起させて該弾性振動体に加圧接触させた物体
または弾性振動体自体を動作させる超音波モータにＪ５
いて、匍記弾性振動体に加圧接触させた物体の当接部を
ロックウェル硬度Ｒ形で４０〜１２０のゴムおよびこれ
らの共重合体から形成してあることを特徴とするもので
ある。
［１！明の実施例］
実施例１
回転型の超音波モータの実施例について述べる。
第１図に正断面図、第２図に分解図を示すように、駆動
力を外部に伝えるためのシャフト（２１）と一体の活動
体（２２）は、大きなトルクを要求されるものについて
は剛性、耐久性、加工性などを考慮し金属を用いるのが
一般的である。また該摺動体（２２）に取着して一体と
した摩擦材（２３）を介して接触した弾性振動体（２４
） （外径６０＃、内径５０ ＩＩａ）はジュラルミン
などの金属からなり、該弾性振動体（２４）には圧電振
動子（２５） （Ｐ ２丁を使用）を取付ける。前記摩
擦材（２３）は弾性振動体（２４）と該弾性振動体（２
４）に加圧接触させた物体、ずなわら摺動体（２２）と
の当接部を構成し、ロックウェル硬度Ｒ形で４０〜１２
０の硬度を有するゴム、たとえばＣＲからなる。そして
、前記圧電振動子（２５）に接して配されたアブソーバ
（２６）は、圧電振動子（２５）の振動をケース（２７
）、封口Ｗ （２８）などに伝えないためのものである
。なお、（２９）（３０）はベアリング、（３１）は取
付台、（３２）はさらばねである。摩擦材（２３）にＣ
Ｒを用いこれらを組立て第１図に示ずような超音波モー
タを作製し、Ｉ！ｊｒＭ材（２３）として用いたＣＲの
硬度（ロックウェル硬度Ｒ形）を変えたときの該超音波
モータの駆ｌ１ＩＪ電圧に対する活動体（２２）の回転
数を第３図に、駆動電圧に対するトルク特性を第４図に
示す。また第５図には超音波モータの駆動電圧が２０Ｖ
の場合のｅｔａ材（２３）硬度（Ｏツクウェル硬度Ｒ形
）に対するｒｆＡｅ体（２２）の回転数を摩擦材（２３
）として使用した材料別に示した。曲線（八）はＣＲ，
（Ｂ）はＥＰＰＭ、（Ｃ）はＳＢＲ，（Ｄ）はＳＢＲ＋
ＢＲからなるものである。
力を外部に伝えるためのシャフト（２１）と一体の活動
体（２２）は、大きなトルクを要求されるものについて
は剛性、耐久性、加工性などを考慮し金属を用いるのが
一般的である。また該摺動体（２２）に取着して一体と
した摩擦材（２３）を介して接触した弾性振動体（２４
） （外径６０＃、内径５０ ＩＩａ）はジュラルミン
などの金属からなり、該弾性振動体（２４）には圧電振
動子（２５） （Ｐ ２丁を使用）を取付ける。前記摩
擦材（２３）は弾性振動体（２４）と該弾性振動体（２
４）に加圧接触させた物体、ずなわら摺動体（２２）と
の当接部を構成し、ロックウェル硬度Ｒ形で４０〜１２
０の硬度を有するゴム、たとえばＣＲからなる。そして
、前記圧電振動子（２５）に接して配されたアブソーバ
（２６）は、圧電振動子（２５）の振動をケース（２７
）、封口Ｗ （２８）などに伝えないためのものである
。なお、（２９）（３０）はベアリング、（３１）は取
付台、（３２）はさらばねである。摩擦材（２３）にＣ
Ｒを用いこれらを組立て第１図に示ずような超音波モー
タを作製し、Ｉ！ｊｒＭ材（２３）として用いたＣＲの
硬度（ロックウェル硬度Ｒ形）を変えたときの該超音波
モータの駆ｌ１ＩＪ電圧に対する活動体（２２）の回転
数を第３図に、駆動電圧に対するトルク特性を第４図に
示す。また第５図には超音波モータの駆動電圧が２０Ｖ
の場合のｅｔａ材（２３）硬度（Ｏツクウェル硬度Ｒ形
）に対するｒｆＡｅ体（２２）の回転数を摩擦材（２３
）として使用した材料別に示した。曲線（八）はＣＲ，
（Ｂ）はＥＰＰＭ、（Ｃ）はＳＢＲ，（Ｄ）はＳＢＲ＋
ＢＲからなるものである。
第６図には、同様条件におけるトルク特性を示した。以
上述べたように回転数、トルクの両特性から超音波モー
タとして使用可能なのはロックウェル硬度Ｒ形で４０〜
１２０であり３０では回転数トルク特性とも低下する。
上述べたように回転数、トルクの両特性から超音波モー
タとして使用可能なのはロックウェル硬度Ｒ形で４０〜
１２０であり３０では回転数トルク特性とも低下する。
また１２０を超えるものは動作時に騒音を発し、１２５
ではトルク特性が低下する。この傾向は実施例に摩擦材
として使用したＣＲ，ＳＢＲ，ＥＰＰＭ、ＳＢＲとＢＲ
だ【ノでなく、これらの共重合体やこれらを２種以上混
合したものからなるものでも同様であることを確認した
。そして、構成として第１図、第２図に示した実施例で
は摩擦材（２３）を摺動体（２２）に取着して一体化し
た場合について述べたが、１駆動体（２２）と弾性振動
体（２４）との間に介挿したのみでもよく５、弾性振動
体に取ｆ＝Ｊけた構成でも同様の効果を１ｑることがで
きる。
ではトルク特性が低下する。この傾向は実施例に摩擦材
として使用したＣＲ，ＳＢＲ，ＥＰＰＭ、ＳＢＲとＢＲ
だ【ノでなく、これらの共重合体やこれらを２種以上混
合したものからなるものでも同様であることを確認した
。そして、構成として第１図、第２図に示した実施例で
は摩擦材（２３）を摺動体（２２）に取着して一体化し
た場合について述べたが、１駆動体（２２）と弾性振動
体（２４）との間に介挿したのみでもよく５、弾性振動
体に取ｆ＝Ｊけた構成でも同様の効果を１ｑることがで
きる。
実施例２
直線型の超音波モータの実施例について述べる。
第９図に示した構成において弾性振動体を５ｆＮＩ４０
黄銅とし、該弾性振動体の両端に２個のＰＺＴ圧電圧電
子動子着し、摺動体にアルミニウムを用い、該アルミニ
ウムに摩擦材を固定し、該摩擦材が前記ＰＺＴの取付方
向を両側から挟み込むように弾性振動体に取着する。こ
のような構成からなる直線型超音波モータの圧電振動子
に２００Ｖの電圧を印加したときの摺動体の硬度と移動
速度との関係を材料別に表したものを第７図に、また同
様に硬度と（りられる推力との関係を第８図に示す。な
Ｊ３、摩擦材の材料は前記実施例１に示したと同様のも
のを用いた。そして圧電蛋動子には２００Ｖの電圧を印
加した場合について述べたが、印加電圧を変えると、摺
動体の移動速度は印加された電圧にほぼ比例して変化す
る。第７図、第８図の結果から明らかなように直線型超
音波［−タにＪ５Ｇ八でも、回転型の場合と同様、ｒｉ
ｐ １０月どして使用した材料によって若干のばらつき
はあるもののロックウェル硬度Ｒ形で４０〜１２０１ｆ
ｉ摺動体の移動速度および推力が大きい良好な結果を示
す。なお、実施例１および実施例２に用いた摩ｉ！３！
材以外のＮＲ，ＢＲ，ＮＢＲ，ＥＰＭ、アクリルゴムな
どのジエンゴムまたはシリコーン系ゴム、フッ素系ゴム
、ウレタン系ゴムなどの非ジエンゴムなと、およびこれ
らの共重合体からなるものでも同様の効果を１ｑること
かできる。
黄銅とし、該弾性振動体の両端に２個のＰＺＴ圧電圧電
子動子着し、摺動体にアルミニウムを用い、該アルミニ
ウムに摩擦材を固定し、該摩擦材が前記ＰＺＴの取付方
向を両側から挟み込むように弾性振動体に取着する。こ
のような構成からなる直線型超音波モータの圧電振動子
に２００Ｖの電圧を印加したときの摺動体の硬度と移動
速度との関係を材料別に表したものを第７図に、また同
様に硬度と（りられる推力との関係を第８図に示す。な
Ｊ３、摩擦材の材料は前記実施例１に示したと同様のも
のを用いた。そして圧電蛋動子には２００Ｖの電圧を印
加した場合について述べたが、印加電圧を変えると、摺
動体の移動速度は印加された電圧にほぼ比例して変化す
る。第７図、第８図の結果から明らかなように直線型超
音波［−タにＪ５Ｇ八でも、回転型の場合と同様、ｒｉ
ｐ １０月どして使用した材料によって若干のばらつき
はあるもののロックウェル硬度Ｒ形で４０〜１２０１ｆ
ｉ摺動体の移動速度および推力が大きい良好な結果を示
す。なお、実施例１および実施例２に用いた摩ｉ！３！
材以外のＮＲ，ＢＲ，ＮＢＲ，ＥＰＭ、アクリルゴムな
どのジエンゴムまたはシリコーン系ゴム、フッ素系ゴム
、ウレタン系ゴムなどの非ジエンゴムなと、およびこれ
らの共重合体からなるものでも同様の効果を１ｑること
かできる。
［発明の効果］
この発明によればロックウェル硬度Ｒ形４０〜１２０の
硬度範囲を有するゴムを用いることによって、摩擦材の
物性の変化、騒音、耐久性を解決した超音波モータを１
９ることができる。
硬度範囲を有するゴムを用いることによって、摩擦材の
物性の変化、騒音、耐久性を解決した超音波モータを１
９ることができる。
第１図〜第６図は本発明になる回転型超音波モータの実
施例を示し、第１図は超音波モータの構成を示す正断面
図、第２図は第１図に示した超音波モータの分解図、第
３図は超音波モータの駆動電圧に対する摺動体の回転数
を示す曲線図、第４図は同じく駆動電圧に対する摺動体
のトルク特性を示す曲線図、第５図は摩擦材硬度と摺動
体の回転数との関係を示す曲線図、第６図は同じく摩擦
材硬度と摺動体のトルク特性との関係を示す曲線図、第
７図〜第８図は本考案になる直線型超音波モータの実施
例を示し、第７図は摩擦材硬度と摺動体の移動速度との
関係を示す曲線図、第８図は同じ＜Ｓ振材硬度と推力と
の関係を示ず曲線図、第９図は直線型超音波モータの構
成図、第１０図は超音波モータの動作原理を示す説明図
、第１１図は従来の回転型超音波モータを示す分解図、
第１２図は第１１図に示した超音波モータの正面図であ
る。 （２２）・・・・・・店初体 （２３）・・・・
・・ｆｆＪ擦材（２４）・・・・・・弾性振動体 （
２５）・・・・・・圧電振動子（２１）・・・・・・ケ
ース （２Ｂ）・・・・・・封口品持 許
出、 願 人 マルコン電子株式会社 胸音う友モータの正Ｊ咋面凹 第１図 超音波モータり分解回 第２図 第３図 第４図 第５図 第６Ｅ 第７図 第８図 直線Ｓ！超音う良モータの楕庭′ｌ 第９図 第１０図 第１２図 手 続 補 正 書 （自発）昭和６０
年１１月１９日 昭和６０年１０月２５日提出の特許前（２）２、発明の
名称 超音波モータ ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 山形県長井市幸町１番１号 電話 長井（０２３８）８４−２１３１ （大代表）郵
便番号 ９９３ 自発的 ６、補正の内容 （１）明細書１頁の特許請求の範囲を別紙のとおり補正
する。 （２）明細書６頁１５行「（Ｂ）はＥＰＰＭ、Ｊとある
を「（Ｂ）はＥＰＤＭ、Ｊと補正する。 （３）明細書７頁４行ｒＥＰＰＭ、ＪとあるをｒＥＰＤ
Ｍ、Ｊと補正する。 以 上 ２、特許請求の範囲 （１）圧電振動子を具備した弾性振動体と、該弾性振動
体に加圧接触させた物体とを具備し、前記圧電振動子を
駆動して前記弾性振動体上に弾性波を誘起させて該弾性
振動体に加圧接触させた物体または弾性振動体自体を動
作させる超音波モータにおいて、前記弾性振動体に加圧
接触させた物体の当接部をロックウェル硬度Ｒ形で４０
〜１２０のゴムおよびこれらの共重合体から形成してあ
ることを特徴とする超音波モータ。 （２）ゴムがＮＲ，ＳＢＲ，ＢＲ，ＣＲ，ＮＢＲ。 ＥＰＭ、ＥＰＤＭ、アクリルゴムなどのジエンゴム、ま
たはシリコーン系ゴム、フッ素系ゴム。 ウレタン系ゴムなどの非ジエンゴムからなることを特徴
とする特許請求の範囲第（１）項記載の超音波モータ。 手 続 補 正 書 （自発）昭和６０
年１１月２２日
施例を示し、第１図は超音波モータの構成を示す正断面
図、第２図は第１図に示した超音波モータの分解図、第
３図は超音波モータの駆動電圧に対する摺動体の回転数
を示す曲線図、第４図は同じく駆動電圧に対する摺動体
のトルク特性を示す曲線図、第５図は摩擦材硬度と摺動
体の回転数との関係を示す曲線図、第６図は同じく摩擦
材硬度と摺動体のトルク特性との関係を示す曲線図、第
７図〜第８図は本考案になる直線型超音波モータの実施
例を示し、第７図は摩擦材硬度と摺動体の移動速度との
関係を示す曲線図、第８図は同じ＜Ｓ振材硬度と推力と
の関係を示ず曲線図、第９図は直線型超音波モータの構
成図、第１０図は超音波モータの動作原理を示す説明図
、第１１図は従来の回転型超音波モータを示す分解図、
第１２図は第１１図に示した超音波モータの正面図であ
る。 （２２）・・・・・・店初体 （２３）・・・・
・・ｆｆＪ擦材（２４）・・・・・・弾性振動体 （
２５）・・・・・・圧電振動子（２１）・・・・・・ケ
ース （２Ｂ）・・・・・・封口品持 許
出、 願 人 マルコン電子株式会社 胸音う友モータの正Ｊ咋面凹 第１図 超音波モータり分解回 第２図 第３図 第４図 第５図 第６Ｅ 第７図 第８図 直線Ｓ！超音う良モータの楕庭′ｌ 第９図 第１０図 第１２図 手 続 補 正 書 （自発）昭和６０
年１１月１９日 昭和６０年１０月２５日提出の特許前（２）２、発明の
名称 超音波モータ ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 山形県長井市幸町１番１号 電話 長井（０２３８）８４−２１３１ （大代表）郵
便番号 ９９３ 自発的 ６、補正の内容 （１）明細書１頁の特許請求の範囲を別紙のとおり補正
する。 （２）明細書６頁１５行「（Ｂ）はＥＰＰＭ、Ｊとある
を「（Ｂ）はＥＰＤＭ、Ｊと補正する。 （３）明細書７頁４行ｒＥＰＰＭ、ＪとあるをｒＥＰＤ
Ｍ、Ｊと補正する。 以 上 ２、特許請求の範囲 （１）圧電振動子を具備した弾性振動体と、該弾性振動
体に加圧接触させた物体とを具備し、前記圧電振動子を
駆動して前記弾性振動体上に弾性波を誘起させて該弾性
振動体に加圧接触させた物体または弾性振動体自体を動
作させる超音波モータにおいて、前記弾性振動体に加圧
接触させた物体の当接部をロックウェル硬度Ｒ形で４０
〜１２０のゴムおよびこれらの共重合体から形成してあ
ることを特徴とする超音波モータ。 （２）ゴムがＮＲ，ＳＢＲ，ＢＲ，ＣＲ，ＮＢＲ。 ＥＰＭ、ＥＰＤＭ、アクリルゴムなどのジエンゴム、ま
たはシリコーン系ゴム、フッ素系ゴム。 ウレタン系ゴムなどの非ジエンゴムからなることを特徴
とする特許請求の範囲第（１）項記載の超音波モータ。 手 続 補 正 書 （自発）昭和６０
年１１月２２日
Claims (2)
- （１）圧電振動子を具備した弾性振動体と、該弾性振動
体に加圧接触させた物体とを具備し、前記圧電振動子を
駆動して前記弾性振動体上に弾性波を誘起させて該弾性
振動体に加圧接触させた物体または弾性振動体自体を動
作させる超音波モータにおいて、前記弾性振動体に加圧
接触させた物体の当接部をロックウェル硬度Ｒ形で４０
〜１２０のゴムおよびこれらの共重合体から形成してあ
ることを特徴とする超音波モータ。 - （２）ゴムがＮＲ、ＳＢＲ、ＢＲ、ＣＲ、ＮＢＲ、ＥＰ
Ｍ、ＥＰＰＭ、アクリルゴムなどのジエンゴム、または
シリコーン系ゴム、フッ素系ゴム、ウレタン系ゴムなど
の非ジエンゴムからなることを特徴とする特許請求の範
囲第（１）項記載の超音波モータ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60240281A JPS62100180A (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | 超音波モ−タ |
| US06/867,229 US4736129A (en) | 1985-05-30 | 1986-05-27 | Ultrasonic motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60240281A JPS62100180A (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | 超音波モ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62100180A true JPS62100180A (ja) | 1987-05-09 |
Family
ID=17057152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60240281A Pending JPS62100180A (ja) | 1985-05-30 | 1985-10-25 | 超音波モ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62100180A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62126877A (ja) * | 1985-11-27 | 1987-06-09 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59110388A (ja) * | 1982-12-15 | 1984-06-26 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
-
1985
- 1985-10-25 JP JP60240281A patent/JPS62100180A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59110388A (ja) * | 1982-12-15 | 1984-06-26 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62126877A (ja) * | 1985-11-27 | 1987-06-09 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
| JPH0516273B2 (ja) * | 1985-11-27 | 1993-03-03 | Canon Kk |
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