JPS6196272A - 方向切換弁 - Google Patents
方向切換弁Info
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- JPS6196272A JPS6196272A JP59214744A JP21474484A JPS6196272A JP S6196272 A JPS6196272 A JP S6196272A JP 59214744 A JP59214744 A JP 59214744A JP 21474484 A JP21474484 A JP 21474484A JP S6196272 A JPS6196272 A JP S6196272A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- valve seat
- poppet
- hole
- exhaust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
Landscapes
- Multiple-Way Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、電磁操作力、機械的操作力あるいは１体圧力
の操作力により流体の流れを制御する方向切換弁に関す
る。
の操作力により流体の流れを制御する方向切換弁に関す
る。
（従来技術と問題点）
従来、このような方向切換弁には、例えば実開昭５４−
８７４３４号のようなポペット弁が知られている。とこ
ろがこの構造においては、シール作用をなすポペット２
１を円錐面２０に形成しているため、このようなポペッ
ト弁のみで４方弁などの多方弁を構成しようとすると、
複数の円錐面が同時シールしなければならず、そのため
複数の円錐面２０間の寸法を正確に構成する必要があり
、実質的に製作が困難であり、そのためこの実開昭５４
−８７４３４号に示すように一方の弁部を円筒面２２を
有するスプール２３とし、バルブシート９とでシールさ
せるスプール弁としてポペット弁との複合構造にして多
方弁を達成している。
８７４３４号のようなポペット弁が知られている。とこ
ろがこの構造においては、シール作用をなすポペット２
１を円錐面２０に形成しているため、このようなポペッ
ト弁のみで４方弁などの多方弁を構成しようとすると、
複数の円錐面が同時シールしなければならず、そのため
複数の円錐面２０間の寸法を正確に構成する必要があり
、実質的に製作が困難であり、そのためこの実開昭５４
−８７４３４号に示すように一方の弁部を円筒面２２を
有するスプール２３とし、バルブシート９とでシールさ
せるスプール弁としてポペット弁との複合構造にして多
方弁を達成している。
また、こういった方向切換弁は、最近特に小型化の一途
をたどっており、ハイテク産業と呼ばれている半導体分
野での利用が増大してきている。このため、半導体製造
装置用小型方向切換弁として■無潤滑による長期使用■
排気処理の容易さ■より大流量を流せて大きなアクチュ
エータを作動可能なことなどが条件として要求されてい
る。
をたどっており、ハイテク産業と呼ばれている半導体分
野での利用が増大してきている。このため、半導体製造
装置用小型方向切換弁として■無潤滑による長期使用■
排気処理の容易さ■より大流量を流せて大きなアクチュ
エータを作動可能なことなどが条件として要求されてい
る。
この点で実開昭５４−８７４３４号においては、スプー
ル弁としての摺動部分を有すると共に、両端側にパツキ
ン１９を設けた摺動軸１６が押さえ金具１３内を摺動す
るよう構成している。即ち摺動部があり、しかもパツキ
ンを用いているので無潤滑状態での使用が不可能であり
、仮に無潤滑状態で使用したとしても、その耐久寿命は
極度に低下するものであり、更に、排気中に含まれる油
分、水分などが環境の点で問題となるため、排気を１つ
にまとめて集中排気をしようとするには、多方弁として
の排気口となる４と６を連通ずる通路を基台１内へ設け
なければならず、小型弁では形状の上で余裕が無いと共
に、連通ずる通路を基台１内へ設けたとしても、逆に排
気圧力による圧力バランスがとれず弁作動が安定しない
ものだった。また、摺動部分をなくした多方弁としては
、実開昭５６−５８７４号のような２つの独立したポペ
ット弁で構成された４方弁が知られているが、この構造
においては、摺動部分がないので無潤滑状態での使用が
可能であり、しかもスプール弁とポペット弁との複合構
造である前記実開昭５４−８７４３４号に示されている
多方弁と比較して長手方向に小型化することが可能であ
る半面、可動鉄心の作動によって第１の弁体が切り換え
られたときの圧力を、パイロット圧として第２の弁体の
押圧機構へ加えて第２の弁体を切り換えているため、２
つの弁体の切り、換え動作にズレが生じてしまう。即ち
、ソレノイドをＯＮさせてから第２の弁体が切り換わる
までに第１の弁体に比較して余分に時間がかかるので、
アクチュエータを接続して作動させた場合にそれだけ動
作が遅れる。これはアクチュエータの容量が大きくなれ
ばなる程顕著になるものであって、そのためサイクルタ
イムが長くなるなどの欠点があった。このことは半導体
製造装置など大量生産する場合には、時に致命的な欠点
になる恐れがあるものである。
ル弁としての摺動部分を有すると共に、両端側にパツキ
ン１９を設けた摺動軸１６が押さえ金具１３内を摺動す
るよう構成している。即ち摺動部があり、しかもパツキ
ンを用いているので無潤滑状態での使用が不可能であり
、仮に無潤滑状態で使用したとしても、その耐久寿命は
極度に低下するものであり、更に、排気中に含まれる油
分、水分などが環境の点で問題となるため、排気を１つ
にまとめて集中排気をしようとするには、多方弁として
の排気口となる４と６を連通ずる通路を基台１内へ設け
なければならず、小型弁では形状の上で余裕が無いと共
に、連通ずる通路を基台１内へ設けたとしても、逆に排
気圧力による圧力バランスがとれず弁作動が安定しない
ものだった。また、摺動部分をなくした多方弁としては
、実開昭５６−５８７４号のような２つの独立したポペ
ット弁で構成された４方弁が知られているが、この構造
においては、摺動部分がないので無潤滑状態での使用が
可能であり、しかもスプール弁とポペット弁との複合構
造である前記実開昭５４−８７４３４号に示されている
多方弁と比較して長手方向に小型化することが可能であ
る半面、可動鉄心の作動によって第１の弁体が切り換え
られたときの圧力を、パイロット圧として第２の弁体の
押圧機構へ加えて第２の弁体を切り換えているため、２
つの弁体の切り、換え動作にズレが生じてしまう。即ち
、ソレノイドをＯＮさせてから第２の弁体が切り換わる
までに第１の弁体に比較して余分に時間がかかるので、
アクチュエータを接続して作動させた場合にそれだけ動
作が遅れる。これはアクチュエータの容量が大きくなれ
ばなる程顕著になるものであって、そのためサイクルタ
イムが長くなるなどの欠点があった。このことは半導体
製造装置など大量生産する場合には、時に致命的な欠点
になる恐れがあるものである。
（解決しようとする技術的課題）
本発明の課題は、無潤滑による長期使用が可能で排気処
理が容易で且つ弁作動の安定した小型方向切換弁を得る
ことにある。
理が容易で且つ弁作動の安定した小型方向切換弁を得る
ことにある。
（発明の構成）
上記技術的課題を解決するために講じた技術的手段は、
ポペット弁のみで多方弁を構成すると共に、更にポペッ
ト弁を構成する可動部材内へ連通路を設けて排気通路を
連通構成したことである。
ポペット弁のみで多方弁を構成すると共に、更にポペッ
ト弁を構成する可動部材内へ連通路を設けて排気通路を
連通構成したことである。
（発明の実施例）
以下、この発明を電磁方向切換弁に適用した場合の実施
例を第１図〜第３図について説明していく。
例を第１図〜第３図について説明していく。
第１図に示すように本発明の方向切換弁は、主弁部Ｖと
電磁石部Ｍとから構成されており、主弁部Ｖは弁本体１
とこの弁本体１内へ内蔵した弁部２とこの弁本体１下部
へ装着される基台３とを有している。弁本体１は長手方
向中央を貫通した案内孔１１とその両端面から同心で大
径の座ぐり孔１２．１３とを有しており、その底面にそ
れぞれ該案内孔１１の直径より大きい直径で環状弁座１
４．１５が突出形成されている。そしてこの弁本体１の
下部面から複数の通口即ち供給口Ｐと２つの接続口Ａ、
Ｂと２つの排気口Ｒ１、Ｒ２が前記案内孔１１および座
ぐり孔１２．１３内へ貫通形成してあり、４方弁の通口
をなしている。以上の構造を有する弁本体へ内蔵する弁
部２は、前記弁゛ 本体１の案内孔１１へ滑合すると
共に内部軸心へ貫通孔２１ａを有する軸部２１と、軸部
２１の両側へ圧入してなるポペット２２．２３と、更に
弁本体１の座ぐり孔１２．１３内へねじ込まれて所定位
置で固定される弁座体２４および２５とを有しており、
このポペット２２．２３は弁本体１の座ぐり孔１２．１
３内に配置されると共に、両端面の環状溝内ヘゴムなど
のシール材が焼付けなどにより装着した弁シート２２ａ
、２２ｂおよび２３ａ、２３ｂを有している。弁座体２
４および２５は、前端面へ環状弁座２４ａ、２５ａを突
出形成しておりポペット２２．２３の弁シートとの間で
弁作用をする。更に弁部２を構成する軸部２１の外周は
、第２図に示すように軸方向に４つの溝２１ｂが等間隔
で形成されて流体通路を構成している。この弁座体２４
および２５は外周１ケ所へ各々０リング４．５を装着し
ており、環状弁座側から外周側へ通じる孔２４ｂおよび
２５ｂを有しそれぞれ排気口Ｒ１，Ｒ２と接続されてい
る。また、ポペット２２の弁シート２２ａ側端面と弁座
体２４との間には圧縮ばね６が張設され、弁部２を一方
へ押圧している。以上の構造上、ポペット２２側で第１
の弁、ポペット２３側で第２の弁を構成しているもので
ある。基台３は上面に弁本体■の各通口Ｐ、Ａ、Ｂ、Ｒ
１およびＲ２に接続する通口をそれぞれ形成しており、
側面へ１ケあて開口している。なお、Ｒ１およびＲ２に
ついては取付状態に応じてどちらか一方のみ開口形成さ
れるものであり、この基台３は弁本体１に対してパツキ
ン７を介してねじなど（図示せず）により固定される。
電磁石部Ｍとから構成されており、主弁部Ｖは弁本体１
とこの弁本体１内へ内蔵した弁部２とこの弁本体１下部
へ装着される基台３とを有している。弁本体１は長手方
向中央を貫通した案内孔１１とその両端面から同心で大
径の座ぐり孔１２．１３とを有しており、その底面にそ
れぞれ該案内孔１１の直径より大きい直径で環状弁座１
４．１５が突出形成されている。そしてこの弁本体１の
下部面から複数の通口即ち供給口Ｐと２つの接続口Ａ、
Ｂと２つの排気口Ｒ１、Ｒ２が前記案内孔１１および座
ぐり孔１２．１３内へ貫通形成してあり、４方弁の通口
をなしている。以上の構造を有する弁本体へ内蔵する弁
部２は、前記弁゛ 本体１の案内孔１１へ滑合すると
共に内部軸心へ貫通孔２１ａを有する軸部２１と、軸部
２１の両側へ圧入してなるポペット２２．２３と、更に
弁本体１の座ぐり孔１２．１３内へねじ込まれて所定位
置で固定される弁座体２４および２５とを有しており、
このポペット２２．２３は弁本体１の座ぐり孔１２．１
３内に配置されると共に、両端面の環状溝内ヘゴムなど
のシール材が焼付けなどにより装着した弁シート２２ａ
、２２ｂおよび２３ａ、２３ｂを有している。弁座体２
４および２５は、前端面へ環状弁座２４ａ、２５ａを突
出形成しておりポペット２２．２３の弁シートとの間で
弁作用をする。更に弁部２を構成する軸部２１の外周は
、第２図に示すように軸方向に４つの溝２１ｂが等間隔
で形成されて流体通路を構成している。この弁座体２４
および２５は外周１ケ所へ各々０リング４．５を装着し
ており、環状弁座側から外周側へ通じる孔２４ｂおよび
２５ｂを有しそれぞれ排気口Ｒ１，Ｒ２と接続されてい
る。また、ポペット２２の弁シート２２ａ側端面と弁座
体２４との間には圧縮ばね６が張設され、弁部２を一方
へ押圧している。以上の構造上、ポペット２２側で第１
の弁、ポペット２３側で第２の弁を構成しているもので
ある。基台３は上面に弁本体■の各通口Ｐ、Ａ、Ｂ、Ｒ
１およびＲ２に接続する通口をそれぞれ形成しており、
側面へ１ケあて開口している。なお、Ｒ１およびＲ２に
ついては取付状態に応じてどちらか一方のみ開口形成さ
れるものであり、この基台３は弁本体１に対してパツキ
ン７を介してねじなど（図示せず）により固定される。
前述した軸部２１の貫通孔２１ａは、２つの排気口を連
通して共通化するためだけでなく、後述するように弁部
の圧力バランスをとるために有効である。
通して共通化するためだけでなく、後述するように弁部
の圧力バランスをとるために有効である。
以上において、ポペット２２の弁シート２２ａ、２２ｂ
と、弁座体２４の環状弁座２４ａおよび弁本体１の環状
弁座１４とで第１の弁部を構成しでおり、且つポペット
２３の弁シート２３ａ、２３ｂと・弁座体２５″環状弁
座２５′°および弁部 ５体１の環状弁
座１５とで第２の弁部を構成する。
と、弁座体２４の環状弁座２４ａおよび弁本体１の環状
弁座１４とで第１の弁部を構成しでおり、且つポペット
２３の弁シート２３ａ、２３ｂと・弁座体２５″環状弁
座２５′°および弁部 ５体１の環状弁
座１５とで第２の弁部を構成する。
次に、電磁石部Ｍについて説明すると、この電磁石部Ｍ
は直流ソレノイドを示しており、弁本体ｌの一端面へ取
りつけられた下側ヨーク１００および内部へコイル１０
１を保持した外筒ヨーク１０２と、端部に位置する上側
田−り１０３と、更に該コイル内へ挿入した可動鉄心１
０４および上側ヨーク１０３へ調整可能に装着され可動
鉄心１０４が衝接する固定鉄心１０５とを有しているも
のである。該可動鉄心１０４は先端が前記弁部２のポペ
ット２３の弁シート２３ｂ側端面へ圧縮ばね８により押
圧されている。そして圧縮ばね８力を圧縮ばね６カより
大きく設定しである。従って弁部２は第１図で左方位置
にあり、供給口Ｐは流体通路２１ｂから接続口Ａに接続
し、一方接読口Ｂは排気口Ｒ１へ連通し更に貫通孔２１
ａを介して排気口Ｒ２とも連通している。固定鉄心１０
５は上側ヨーク１０３へ直接ねじ結合しており、固定鉄
心１０５をスパナなどで回すことによってソレノイドス
トロークを調整することができるものである。図中番号
９ａ、９ｂは０リングである。
は直流ソレノイドを示しており、弁本体ｌの一端面へ取
りつけられた下側ヨーク１００および内部へコイル１０
１を保持した外筒ヨーク１０２と、端部に位置する上側
田−り１０３と、更に該コイル内へ挿入した可動鉄心１
０４および上側ヨーク１０３へ調整可能に装着され可動
鉄心１０４が衝接する固定鉄心１０５とを有しているも
のである。該可動鉄心１０４は先端が前記弁部２のポペ
ット２３の弁シート２３ｂ側端面へ圧縮ばね８により押
圧されている。そして圧縮ばね８力を圧縮ばね６カより
大きく設定しである。従って弁部２は第１図で左方位置
にあり、供給口Ｐは流体通路２１ｂから接続口Ａに接続
し、一方接読口Ｂは排気口Ｒ１へ連通し更に貫通孔２１
ａを介して排気口Ｒ２とも連通している。固定鉄心１０
５は上側ヨーク１０３へ直接ねじ結合しており、固定鉄
心１０５をスパナなどで回すことによってソレノイドス
トロークを調整することができるものである。図中番号
９ａ、９ｂは０リングである。
以上のように構成した本実施例の動作について説明する
。
。
第１図は、非励磁状態を示しており、前述したように圧
縮ばね８力により弁部２は左方位置にあり、ポペット２
２の弁シート２２ａが弁座体２４の環状弁座２４ａと当
接し、且つポペット２３の弁シート２３ａが弁本体１の
環状弁座１５と当接して、供給口Ｐは流体通路２１ｂか
ら接続口Ａに連通し、一方接読口Ｂは排気口Ｒ１へ連通
し更に貫通孔２１ａを介して排気口Ｒ２とも連通状態に
ある。従って供給口Ｐからの圧力流体は接続口Ａからシ
リンダなどのアクチュエータ（図示せず）へ流入し、ア
クチュエータからの排気は接続口Ｂから弁本体１の座ぐ
り孔１３内へ流入すると共に軸部２１の貫通孔２１ａを
通って反対側の座ぐり孔１２内へも流入してから排気口
Ｒ１あるいはＲ２へ流出する。
縮ばね８力により弁部２は左方位置にあり、ポペット２
２の弁シート２２ａが弁座体２４の環状弁座２４ａと当
接し、且つポペット２３の弁シート２３ａが弁本体１の
環状弁座１５と当接して、供給口Ｐは流体通路２１ｂか
ら接続口Ａに連通し、一方接読口Ｂは排気口Ｒ１へ連通
し更に貫通孔２１ａを介して排気口Ｒ２とも連通状態に
ある。従って供給口Ｐからの圧力流体は接続口Ａからシ
リンダなどのアクチュエータ（図示せず）へ流入し、ア
クチュエータからの排気は接続口Ｂから弁本体１の座ぐ
り孔１３内へ流入すると共に軸部２１の貫通孔２１ａを
通って反対側の座ぐり孔１２内へも流入してから排気口
Ｒ１あるいはＲ２へ流出する。
次に、ソレノイドコイル１０１へ通電すると電磁力によ
り可動鉄心１０４が圧縮ばね８に抗して固定鉄心側へ吸
引される。そのため今度は弁部２は圧縮ばね６カにより
図で右側へ移動し、ポペット２２の弁シート２２ｂが弁
本体１の環状弁座１４と当接し、且つポペット２３の弁
シート２３ｂが弁座体２５の環状弁座２５ａと当接して
、供給口Ｐは流体通路２１ｂから接続口Ｂに連通し、一
方接読口Ａは排気口Ｒ２へ連通状態になる。従って供給
口Ｐからの圧力流体は逆に接続口Ｂからシリンダなどの
アクチュエータ（図示せず）へ流入し、アクチュエータ
からの排気は前述したように接続口Ａから弁本体１の座
ぐり孔１２内へ流入すると共に軸部２１の貫通孔２１ａ
を通って反対側の座ぐり孔１３内へも流入してから排気
口Ｒ２あるいはＲ１へ流出することとなる。このため、
アクチュエータからの排気は弁室としての座ぐり孔（１
２，１３）の両方へ流入してポペット弁部へ作用するの
で、ポペット弁部に軸方向即ち切り換え方向への力は発
生せず、圧力バランス状態を呈する。
り可動鉄心１０４が圧縮ばね８に抗して固定鉄心側へ吸
引される。そのため今度は弁部２は圧縮ばね６カにより
図で右側へ移動し、ポペット２２の弁シート２２ｂが弁
本体１の環状弁座１４と当接し、且つポペット２３の弁
シート２３ｂが弁座体２５の環状弁座２５ａと当接して
、供給口Ｐは流体通路２１ｂから接続口Ｂに連通し、一
方接読口Ａは排気口Ｒ２へ連通状態になる。従って供給
口Ｐからの圧力流体は逆に接続口Ｂからシリンダなどの
アクチュエータ（図示せず）へ流入し、アクチュエータ
からの排気は前述したように接続口Ａから弁本体１の座
ぐり孔１２内へ流入すると共に軸部２１の貫通孔２１ａ
を通って反対側の座ぐり孔１３内へも流入してから排気
口Ｒ２あるいはＲ１へ流出することとなる。このため、
アクチュエータからの排気は弁室としての座ぐり孔（１
２，１３）の両方へ流入してポペット弁部へ作用するの
で、ポペット弁部に軸方向即ち切り換え方向への力は発
生せず、圧力バランス状態を呈する。
図において、流体通路２１ｂは軸部へ形成したが、弁本
体側へ形成しても同様に実施できる。
体側へ形成しても同様に実施できる。
また、実施例では、基台３側で２つの排気通口の選択を
するよう構成しているが、弁座体２４および２５へ形成
しである孔２４ｂおよび２５ｂをどちらか選択的に形成
することにより２つの排気通口の選択をするよう構成し
ても同様に実施できるものである。
するよう構成しているが、弁座体２４および２５へ形成
しである孔２４ｂおよび２５ｂをどちらか選択的に形成
することにより２つの排気通口の選択をするよう構成し
ても同様に実施できるものである。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明はポペット弁のみで多方弁
を構成したので、弁作動時のパツキンによる摺動部分を
皆無となり、従って潤滑油などを必要とせず無潤滑によ
る長期使用を可能にすると共に、更にポペット弁を構成
する可動部材内へ貫通孔を設けて排気通路を連通構成し
たので、１ケ所にまとめられるため排気処理が容易とな
る他、第１の弁部、第２の弁部とを圧力バランスさせた
のでより弁の作動が滑らかとなり、更に小さな操作力で
弁切り換えが可能となるなど本発明の特有の優れた効果
が期待できる。それと共に小型でありながら通口に比べ
て弁座の直径をより大きく形 １成したの
で、より大流量を小さいストロークで流せて大きなアク
チュエータを作動できるなどの副効果も得られる゛もの
である。更に第１の弁部および第２の弁部は軸部で一体
になっているため、動作上の遅れはなく、従来例の欠点
を解消した切換弁を提供できる。
を構成したので、弁作動時のパツキンによる摺動部分を
皆無となり、従って潤滑油などを必要とせず無潤滑によ
る長期使用を可能にすると共に、更にポペット弁を構成
する可動部材内へ貫通孔を設けて排気通路を連通構成し
たので、１ケ所にまとめられるため排気処理が容易とな
る他、第１の弁部、第２の弁部とを圧力バランスさせた
のでより弁の作動が滑らかとなり、更に小さな操作力で
弁切り換えが可能となるなど本発明の特有の優れた効果
が期待できる。それと共に小型でありながら通口に比べ
て弁座の直径をより大きく形 １成したの
で、より大流量を小さいストロークで流せて大きなアク
チュエータを作動できるなどの副効果も得られる゛もの
である。更に第１の弁部および第２の弁部は軸部で一体
になっているため、動作上の遅れはなく、従来例の欠点
を解消した切換弁を提供できる。
第１図はこの発明による方向切換弁の一例を示す正面断
面図、第２図は第１図におけるＸ−Ｘ断面図を示す。
− （符号の説明 ） ■ ・・・主弁部 Ｍ ・・・電磁石部１
・・・弁本体 １１・・・案内孔１２．１３
・・・座ぐり孔 １４．１５・・・環状弁座２ ・・
・弁部 ２１・・・軸部２１ａ・・・貫通孔
２′２．２３・・・ポペット２２ａ、２２ｂ、２３
ａ、２３ｂ−−・弁シート２４．２５・・・弁座体 ２４ａ、２５ａ・・・環状弁座
面図、第２図は第１図におけるＸ−Ｘ断面図を示す。
− （符号の説明 ） ■ ・・・主弁部 Ｍ ・・・電磁石部１
・・・弁本体 １１・・・案内孔１２．１３
・・・座ぐり孔 １４．１５・・・環状弁座２ ・・
・弁部 ２１・・・軸部２１ａ・・・貫通孔
２′２．２３・・・ポペット２２ａ、２２ｂ、２３
ａ、２３ｂ−−・弁シート２４．２５・・・弁座体 ２４ａ、２５ａ・・・環状弁座
Claims (4)
- （１）、電磁操作力、機械的操作力あるい流体圧力の操
作力により流体の流れを制御する方向切換弁において、
貫通した案内孔を有する両面側から穿設した大径の座ぐ
り孔底面へ環状弁座を形成すると共に外側一面から該案
内孔および座ぐり孔へ貫通する供給口と複数の接続口お
よび排気口を設けた弁本体と、該案内孔へ滑合すると共
に内部へ貫通孔を形成した軸部の両側へ、弁シートを両
端面に固着したポペットを固定した可動部材と、前記２
つの座ぐり孔内へ軸方向に調整可能に固定すると共に前
端面へ環状弁座を形成し該環状弁座と弁本体および弁シ
ートとの間でそれぞれ第１の弁部、第２の弁部を構成す
る弁座体とから多方ポペット弁を構成すると共に、前記
軸部の貫通孔により排気通路を連通して、第１の弁部、
第２の弁部とを圧力バランスさせたことを特徴とするポ
ペット形方向切換弁。 - （２）、案内孔へ滑合する軸部の外周へ、複数の軸線方
向の流体通過溝を形成してなる特許請求の範囲第１項記
載の方向切換弁。 - （３）、軸部が滑合する案内孔の内周へ、複数の軸線方
向の流体通過溝を形成してなる特許請求の範囲第１項記
載の方向切換弁。 - （４）、弁本体へ形成した複数の排気口のうち、一方の
みを弁座体を介して可動部材の軸部貫通孔へ連通させて
なる特許請求の範囲第１項記載の方向切換弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59214744A JPS6196272A (ja) | 1984-10-13 | 1984-10-13 | 方向切換弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59214744A JPS6196272A (ja) | 1984-10-13 | 1984-10-13 | 方向切換弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6196272A true JPS6196272A (ja) | 1986-05-14 |
| JPH0535313B2 JPH0535313B2 (ja) | 1993-05-26 |
Family
ID=16660869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59214744A Granted JPS6196272A (ja) | 1984-10-13 | 1984-10-13 | 方向切換弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6196272A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013161114A1 (ja) * | 2012-04-26 | 2013-10-31 | 株式会社コガネイ | 方向制御弁 |
| KR101429577B1 (ko) * | 2010-03-31 | 2014-08-12 | 시케이디 가부시키가이샤 | 밸런스 포핏식 전자 밸브 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006258183A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Kuroda Pneumatics Ltd | ポペット式方向制御弁 |
| JP4597799B2 (ja) * | 2005-07-15 | 2010-12-15 | クロダニューマティクス株式会社 | 電磁切換弁 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4417867Y1 (ja) * | 1966-01-07 | 1969-08-02 | ||
| JPS4723705U (ja) * | 1971-03-18 | 1972-11-16 | ||
| JPS5235541U (ja) * | 1975-09-03 | 1977-03-12 | ||
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| JPS5631571A (en) * | 1979-08-17 | 1981-03-30 | Keihin Seiki Mfg Co Ltd | 3-way solenoid valve |
-
1984
- 1984-10-13 JP JP59214744A patent/JPS6196272A/ja active Granted
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4417867Y1 (ja) * | 1966-01-07 | 1969-08-02 | ||
| JPS4723705U (ja) * | 1971-03-18 | 1972-11-16 | ||
| JPS5235541U (ja) * | 1975-09-03 | 1977-03-12 | ||
| JPS5590866U (ja) * | 1978-12-16 | 1980-06-23 | ||
| JPS5631571A (en) * | 1979-08-17 | 1981-03-30 | Keihin Seiki Mfg Co Ltd | 3-way solenoid valve |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101429577B1 (ko) * | 2010-03-31 | 2014-08-12 | 시케이디 가부시키가이샤 | 밸런스 포핏식 전자 밸브 |
| WO2013161114A1 (ja) * | 2012-04-26 | 2013-10-31 | 株式会社コガネイ | 方向制御弁 |
| KR20140137008A (ko) | 2012-04-26 | 2014-12-01 | 코가네이 코포레이션 | 방향 제어 밸브 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0535313B2 (ja) | 1993-05-26 |
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